白光干涉輪廓儀推薦產(chǎn)品

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2023-08-11

    輪廓儀的物鏡知多少?白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,以三維非接觸時(shí)方法測(cè)量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,典型結(jié)果包括:表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺(tái)階高度,錐角等)幾何特征(關(guān)鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和集體,特征圖形的位置和數(shù)量等)白光干涉系統(tǒng)基于無(wú)限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),通過(guò)干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。因此物鏡是輪廓儀*重要部件,物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測(cè)的精度提出需求,為了滿(mǎn)足各種精度的需求,需要提供各種物鏡,例如標(biāo)配的10×,還有×,5×,20×,50×,100×,可選。不同的鏡頭價(jià)格有很大的差別,因此需要量力根據(jù)需求選配對(duì)應(yīng)的鏡頭哦。 200到400個(gè)共焦圖像通常在幾秒內(nèi)被捕獲,之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像。白光干涉輪廓儀推薦產(chǎn)品

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NanoX-系列輪廓儀代表性客戶(hù)?集成電路相關(guān)產(chǎn)業(yè)–集成電路先進(jìn)封裝和材料:華天科技,通富微電子,江蘇納佩斯半導(dǎo)體,華潤(rùn)安盛等?MEMS相關(guān)產(chǎn)業(yè)–中科院蘇州納米所,中科電子46所,華東光電集成器件等?高效太陽(yáng)能電池相關(guān)產(chǎn)業(yè)–常州億晶光電,中國(guó)臺(tái)灣速位科技、山東衡力新能源等?微電子、FPD、PCB等產(chǎn)業(yè)–三星電機(jī)、京東方、深圳夏瑞科技等具備Globalalignment&Unitalignment自動(dòng)聚焦范圍:±0.3mmXY運(yùn)動(dòng)速度**快如果有什么問(wèn)題,請(qǐng)聯(lián)系我們白光干涉輪廓儀推薦產(chǎn)品物鏡是輪廓儀蕞和新的部件, 物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測(cè)的精度提出需求。

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輪廓儀對(duì)所測(cè)樣品的尺寸有何要求?答:輪廓儀對(duì)載物臺(tái)xy行程為140*110mm(可擴(kuò)展),Z向測(cè)量范圍蕞大可達(dá)10mm,但由于白光干涉儀單次測(cè)量區(qū)域比較?。ㄒ?0X鏡頭為例,在1mm左右),因而在測(cè)量大尺寸的樣品時(shí),全檢的方式需要進(jìn)行拼接測(cè)量,檢測(cè)效率會(huì)比較低,建議尋找樣品表面的特征位置或抽取若干區(qū)域進(jìn)行抽點(diǎn)檢測(cè),以單點(diǎn)或多點(diǎn)反映整個(gè)面的粗糙度參數(shù);4.測(cè)量的蕞小尺寸是否可以達(dá)到12mm,或者能夠測(cè)到更小的尺寸?如果需要了解更多,還請(qǐng)?jiān)L問(wèn)岱美儀器的官網(wǎng)。

輪廓儀,能描繪工件表面波度與粗糙度,并給出其數(shù)值的儀器,采用精密氣浮導(dǎo)軌為直線(xiàn)基準(zhǔn)。輪廓測(cè)試儀是對(duì)物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進(jìn)行測(cè)試與檢驗(yàn)的儀器,作為精密測(cè)量?jī)x器,在汽車(chē)制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分廣范。(來(lái)自網(wǎng)絡(luò))先進(jìn)的輪廓儀集成模塊60年世界水平半導(dǎo)體檢測(cè)技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗(yàn)所有的關(guān)鍵硬件采用美國(guó)、德國(guó)、日本等PI,納米移動(dòng)平臺(tái)及控制Nikon,干涉物鏡NI,信號(hào)控制板和Labview64控制軟件TMC隔震平臺(tái)世界先進(jìn)水平的計(jì)算機(jī)軟硬件技術(shù)平臺(tái)VS2012/64位,.NET/C#/WPFIntelXeon計(jì)算機(jī)擯棄傳統(tǒng)檢測(cè)方法耗時(shí)耗力,精確度低的缺點(diǎn),大達(dá)提高加工效率。

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蕞大視場(chǎng)Thefilm3D以10倍物鏡優(yōu)異地提供更寛廣的2毫米視野,其數(shù)位變焦功能有助于緩解不同應(yīng)用時(shí)切換多個(gè)物鏡的需要,更進(jìn)一步減少總體成本。手動(dòng)式物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)能一次搭載四組物鏡,能滿(mǎn)足需要多種倍率物鏡交替使用的測(cè)量應(yīng)用。索取技術(shù)資料索取報(bào)價(jià)性能規(guī)格厚度范圍,WSI50nm-10mm厚度范圍,PSI0-3μm樣品反射率範(fàn)圍-100 %電腦要求機(jī)械規(guī)格Z范圍100mmPiezo(壓電)范圍500μmXY平臺(tái)類(lèi)型手動(dòng)或自動(dòng)XY平臺(tái)范圍100mmx100mm相機(jī)2592x1944(5百萬(wàn)像素)系統(tǒng)尺寸,寬x深x高300mmx300mmx550mm系統(tǒng)重量15kg物鏡1(NikonCFICEpiPlan)放大倍率5X10X20X50X100X視場(chǎng)xmmxmmxmmxmmxmm采樣空間2μmμmμmμmμm1分別出售2樣本上之像素大小常見(jiàn)的選購(gòu)配件:urionNano30主動(dòng)式防震臺(tái)4微米,2微米,和100納米多臺(tái)階高度標(biāo)準(zhǔn)。光學(xué)系統(tǒng):同軸照明無(wú)限遠(yuǎn)干涉成像系統(tǒng)。干涉測(cè)量輪廓儀用途是什么

我們的表面三位微觀(guān)形貌的此類(lèi)昂方法非常豐富,通??煞譃榻佑|時(shí)和非接觸時(shí)兩種,以非接觸式測(cè)量方法為主。白光干涉輪廓儀推薦產(chǎn)品

輪廓儀白光干涉的創(chuàng)始人:邁爾爾遜1852-1931美國(guó)物理學(xué)家曾從事光速的精密測(cè)量工作邁克爾遜首倡用光波波長(zhǎng)作為長(zhǎng)度基準(zhǔn)。1881年,他發(fā)明了一種用以測(cè)量微小長(zhǎng)度,折射率和光波波長(zhǎng)的干涉儀,邁克爾遜干涉儀。他和美國(guó)物理學(xué)家莫雷合作,進(jìn)行了注明的邁克爾遜-莫雷實(shí)驗(yàn),否定了以太de存在,為愛(ài)因斯坦建立狹義相對(duì)論奠定了基礎(chǔ)。由于創(chuàng)制了精密的光學(xué)儀器和利用這些儀器所完成光譜學(xué)和基本度量學(xué)研究,邁克爾遜于1907年獲得諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)。白光干涉輪廓儀推薦產(chǎn)品

岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司是一家集研發(fā)、生產(chǎn)、咨詢(xún)、規(guī)劃、銷(xiāo)售、服務(wù)于一體的貿(mào)易型企業(yè)。公司成立于2002-02-07,多年來(lái)在半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備,光刻機(jī) 鍵合機(jī),膜厚測(cè)量?jī)x行業(yè)形成了成熟、可靠的研發(fā)、生產(chǎn)體系。EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB,ThetaMetrisi目前推出了半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備,光刻機(jī) 鍵合機(jī),膜厚測(cè)量?jī)x等多款產(chǎn)品,已經(jīng)和行業(yè)內(nèi)多家企業(yè)建立合作伙伴關(guān)系,目前產(chǎn)品已經(jīng)應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域。我們堅(jiān)持技術(shù)創(chuàng)新,把握市場(chǎng)關(guān)鍵需求,以重心技術(shù)能力,助力儀器儀表發(fā)展。EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB,ThetaMetrisi為用戶(hù)提供真誠(chéng)、貼心的售前、售后服務(wù),產(chǎn)品價(jià)格實(shí)惠。公司秉承為社會(huì)做貢獻(xiàn)、為用戶(hù)做服務(wù)的經(jīng)營(yíng)理念,致力向社會(huì)和用戶(hù)提供滿(mǎn)意的產(chǎn)品和服務(wù)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司注重以人為本、團(tuán)隊(duì)合作的企業(yè)文化,通過(guò)保證半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備,光刻機(jī) 鍵合機(jī),膜厚測(cè)量?jī)x產(chǎn)品質(zhì)量合格,以誠(chéng)信經(jīng)營(yíng)、用戶(hù)至上、價(jià)格合理來(lái)服務(wù)客戶(hù)。建立一切以客戶(hù)需求為前提的工作目標(biāo),真誠(chéng)歡迎新老客戶(hù)前來(lái)洽談業(yè)務(wù)。