1.更換SEM側(cè)面板(如有必要)。檢查隔離系統(tǒng)和SEM的所有電纜是否松動連接。檢查并確保沒有將SEM耦合到地面或其他振動源。2.將電源線插入控制器背面。翻轉(zhuǎn)前面板上的“ON”開關(guān)。按紅色按鈕啟用活動隔離。3.幾秒鐘后,使能LED指示燈將變穩(wěn)定,指示系統(tǒng)已正確隔離。輕輕敲擊SEM時,控制器上的紅燈應(yīng)短暫點亮然后熄滅。4.如果一個或多個指示燈持續(xù)亮起,或者在正常情況下指示燈不熄滅,或者如果點擊不亮,則表明傳感器過載。請仔細檢查以下內(nèi)容:沒有任何東西觸及模塊,連接模塊和SEM的所有電纜均松弛,并且已針對負載適當調(diào)整了模塊。AVI系列可以在非常寬的頻率范圍內(nèi)為原子力顯微鏡、非接觸式表面輪廓儀等提供極好的隔振效果。輪廓測量隔振臺推薦產(chǎn)品
使用AVI系統(tǒng)時,系統(tǒng)只能插入單獨接地的插座。無論是在插座處,還是使用未接地的延長電纜,都不要斷開此接地。如果您懷疑系統(tǒng)以任何方式不安全,請拔下插頭并防止任何可能的意外使用。聯(lián)系蕞近的服務(wù)中心。在打開此設(shè)備之前,請確保它連接到正確的電源電壓。不要取下任何蓋子或讓任何金屬物體進入通風槽。在取下任何蓋子之前,斷開電源。請向合格人員咨詢服務(wù)。不要在可能報炸的環(huán)境中使用。保險絲位于控制單元后側(cè)的電源插座中。未先拔下電源線,不要試圖更換保險絲。只能更換類型正確的保險絲。不要試圖繞過保險絲。確??刂茊卧械耐L縫沒有被覆蓋,并且空氣可以自由循環(huán)。堵塞狹縫可能導(dǎo)致過熱,從而引發(fā)火災(zāi)。對于控制單元和隔離元件之間的連接,瑾使用提供的D-Sub 15電纜(m/f)。輪廓測量隔振臺推薦產(chǎn)品主動防振臺通過電氣控制,向傳入振動瞬間施加反方向的力,從而消除振動。
AVI600-MAVI600-M的基本配置包括兩個緊湊型單元和一個控制單元,最大負載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數(shù)量,可以輕松實現(xiàn)對更高負載的支持。為了使AVI600-S適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用,可以使用不同長度的緊湊型裝置。AVI600-M的隔離始于1,2Hz,超過10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI600-M系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI600-M的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式AVI600-M緊湊型設(shè)備不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡單,友好的處理概念-從而避免在設(shè)備上放置沉重的設(shè)備(例如SEM)時進行任何復(fù)雜的操作。技術(shù)指標:頻率:1.2-200Hz負載范圍:0-1200公斤(單件):600公斤
把手輕輕地放在桌面上。可能會有一個或多個LED亮起,表示過載。了解在不造成過載的情況下可以施加多少力。如果您現(xiàn)在對桌面施加很大的力,所有過載指示燈都將亮起,隔離指示燈將閃爍幾秒鐘,表示系統(tǒng)在過載解除(待機模式)之前暫時不再隔離。卸下過載后,隔離燈應(yīng)再次亮起,系統(tǒng)開始隔離。一些過載LED可能會亮起并持續(xù)幾秒鐘。即使在這個階段,系統(tǒng)也在隔離,但增益降低。嚴重過載后,系統(tǒng)可能需要半分鐘才能完全隔離,但通常只需要幾秒鐘。HERZ在被動式隔振系統(tǒng)產(chǎn)品之外,補充了由瑞士Table Stable Ltd.開發(fā)的先進主動式隔振系統(tǒng)。
5、模塊將放置在腳輪板下。將AVI模塊滑到后傾角板下,使模塊從一側(cè)到另一側(cè)(而不是從前到后)橫跨立柱底面。將它們盡量放在外側(cè),不要碰到腿的側(cè)壁。如果您安裝的是EVO、Supra25–55、Ultra55或Neon40,則每個隔離模塊的寬度為7.5英寸。在這種情況下,每個模塊上的電纜端口應(yīng)朝內(nèi),相互朝向。如果您安裝的是Supra60/VP、Ultra60或PLUS、Neon60或NVision40,則每個隔離模塊的寬度為11.3英寸。在這種情況下,每個模塊上的電纜端口應(yīng)朝外,彼此遠離。6、再次在AVI模塊頂部滑動第二個安裝板,前后各27.5英寸,兩側(cè)各27英寸,在掃描電鏡腳輪板下方居中。重新連接時,確保AVI模塊和安裝板都不會與掃描電鏡側(cè)板接觸。確保AVI模塊和安裝板都不與前端或后端的掃描電鏡支架接觸。7、系統(tǒng)就位后,使用掃描電鏡水平尺降低掃描電鏡,直到其落在安裝板上。抬起水平尺,直到它們向上并離開。在過去的40年,HERZ發(fā)展成為被動式隔振設(shè)備的領(lǐng)頭供應(yīng)商 ,并在此領(lǐng)域積累了豐富的經(jīng)驗。主動防振系統(tǒng)隔振臺電子顯微鏡AEM
TS-140結(jié)合了久經(jīng)考驗的技術(shù)卓悅性與優(yōu)雅且對用戶友好的設(shè)計。輪廓測量隔振臺推薦產(chǎn)品
Herz防震臺/防振臺是世界上蕞知銘的防震臺/防振臺系統(tǒng)方案供應(yīng)商之一。在納米技術(shù)的時代,極之微細的振動已對搜索結(jié)果造成極大的影響,必須改善測量環(huán)境,以發(fā)揮儀器的極大效能,達到蕞佳成果。Nanotechnology正在改變,由高層次的研究波及各個行業(yè)的基本生產(chǎn),要有效地發(fā)展納米技術(shù),消除振動尤為重要!在過去的40年,HERZ發(fā)展成為被動式隔振設(shè)備的領(lǐng)頭供應(yīng)商,并在此領(lǐng)域積累了豐富的經(jīng)驗。與此同時,測量技術(shù)有了很大的進步,一些蕞靈敏的設(shè)備會受被動式隔振系統(tǒng)中低頻共振頻率的干擾,只有主動式隔振系統(tǒng)能消除此類干擾。因此,HERZ在被動式隔振系統(tǒng)產(chǎn)品之外,補充了由瑞士TableStableLtd.開發(fā)的先進主動式隔振系統(tǒng)。輪廓測量隔振臺推薦產(chǎn)品
岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司成立于2002-02-07,同時啟動了以EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB,ThetaMetrisi為主的半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測量設(shè)備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀產(chǎn)業(yè)布局。業(yè)務(wù)涵蓋了半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測量設(shè)備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀等諸多領(lǐng)域,尤其半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測量設(shè)備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀中具有強勁優(yōu)勢,完成了一大批具特色和時代特征的儀器儀表項目;同時在設(shè)計原創(chuàng)、科技創(chuàng)新、標準規(guī)范等方面推動行業(yè)發(fā)展。同時,企業(yè)針對用戶,在半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測量設(shè)備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀等幾大領(lǐng)域,提供更多、更豐富的儀器儀表產(chǎn)品,進一步為全國更多單位和企業(yè)提供更具針對性的儀器儀表服務(wù)。值得一提的是,岱美中國致力于為用戶帶去更為定向、專業(yè)的儀器儀表一體化解決方案,在有效降低用戶成本的同時,更能憑借科學(xué)的技術(shù)讓用戶極大限度地挖掘EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB,ThetaMetrisi的應(yīng)用潛能。