輪廓儀是一種兩坐標(biāo)測量儀器,儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行,傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化,在X和Z方向分別采樣,并轉(zhuǎn)換成電信號,該電信號經(jīng)放大和處理,再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號儲存在計算機(jī)系統(tǒng)的存儲器中,計算機(jī)對原始表而輪廓進(jìn)行數(shù)字濾波,分離掉表而粗糙度成分后再進(jìn)行計算,測量結(jié)果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準(zhǔn)點的坐標(biāo),或放大的實際輪廓曲線,測量結(jié)果通過顯示器輸出,也可由打印機(jī)輸出。(來自網(wǎng)絡(luò))輪廓儀在集成電路的應(yīng)用:封磚Bump測量視場:72*96(um)物鏡:干涉50X檢測位置:樣品局部面減薄表面粗糙度分析封裝:300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析面粗糙度分析:2D,3D顯示;線粗糙度分析:Ra,Ry,Rz,…器件多層結(jié)構(gòu)臺階高M(jìn)EMS器件多層結(jié)構(gòu)分析、工藝控制參數(shù)分析激光隱形切割工藝控制世界微一的能夠?qū)崿F(xiàn)激光槽寬度、深度自動識別和數(shù)據(jù)自動生成,大達(dá)地縮短了激光槽工藝在線檢測的時間,避免人工操作帶來的一致性。 包含了從納米到微米級別的輪廓、線粗糙度、面粗糙度等二維、三維參數(shù),作為評定該物件是否合格的標(biāo)準(zhǔn)。3D輪廓儀美元報價
NanoX-2000/3000系列3D光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測量(PSI)、白光垂直掃描干涉測量(VSI)和單色光垂直掃描干涉測量(CSI)等技術(shù)的基礎(chǔ)上,以其納米級測量準(zhǔn)確度和重復(fù)性(穩(wěn)定性)定量地反映出被測件的表面粗糙度、表面輪廓、臺階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術(shù)、材料、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域。使用范圍廣:兼容多種測量和觀察需求保護(hù)性:非接觸式光學(xué)輪廓儀耐用性更強(qiáng),使用無損可操作性:一鍵式操作,操作更簡單,更方便原裝進(jìn)口輪廓儀高性價比選擇菜單式系統(tǒng)設(shè)置,一鍵式操作,自動數(shù)據(jù)存儲。
隨著時代的發(fā)展,輪廓儀也越來重要了,不少的產(chǎn)品檢測都需要通過輪廓儀進(jìn)行檢測,金日就讓我們來了解一下輪廓儀的工作原理與應(yīng)用吧。輪廓儀工作原理輪廓儀是一種雙坐標(biāo)測量儀器。儀器傳感器相對于測量的工件臺以恒定速度滑動。傳感器的觸針檢測測量儀表的幾何變化,并分別在X和Z方向上對其進(jìn)行采樣,并將其轉(zhuǎn)換為電信號。電信號被放大和處理,然后轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號并存儲在計算機(jī)系統(tǒng)的存儲器中。計算機(jī)以數(shù)字方式過濾原始表格的輪廓,分離表面并計算粗糙度分量,測量結(jié)果為計算符號。某個曲線的實際值及其與參考點的坐標(biāo),或放大的實際輪廓曲線。測量結(jié)果通過顯示器輸出,也可以由打印機(jī)輸出。輪廓儀應(yīng)用輪廓儀廣范用于機(jī)械加工、汽車、摩托車、精密五金、精密工具、刀 具、模具、光學(xué)元件等行業(yè)適用于研究機(jī)構(gòu)、大學(xué)、計量機(jī)構(gòu)和企業(yè)計量室。在汽車,摩托車和制冷行業(yè),它可以測量活塞,活塞銷,齒輪的總線參數(shù)和汽車,摩托車和壓縮機(jī)的閥門柱塞,可以測量各種傾斜部件的參數(shù)。在軸承工業(yè)中,內(nèi)護(hù)套環(huán)的密封槽的形狀(角度,倒角R,槽深,槽寬等);各種滾子軸承的滾子和套圈母線的冠部,角度和對數(shù)曲線;電機(jī)軸,圓柱銷,活塞銷,滾針軸承,圓柱滾子軸承。
NanoX-8000系統(tǒng)主要性能?菜單式系統(tǒng)設(shè)置,一鍵式操作,自動數(shù)據(jù)存儲?一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)?支持連接MES系統(tǒng),數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC?具備異常報警,急停等功能,報警信息可儲存?MTBF≥1500hrs?產(chǎn)能:45s/點(移動+聚焦+測量)(掃描范圍50um)?具備Globalalignment&Unitalignment?自動聚焦范圍:±0.3mm?XY運動速度蕞快如果需要了解更多詳細(xì)參數(shù),請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。我們主要經(jīng)營鍵合機(jī)、光刻機(jī)、輪廓儀,隔振臺等設(shè)備。隔振系統(tǒng):集成氣浮隔振 + 大理石基石。
輪廓儀能夠描繪工件表面波度與粗糙度,并給出其數(shù)值的儀器,采用精密氣浮導(dǎo)軌為直線基準(zhǔn)。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進(jìn)行測試與檢驗的儀器,作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分廣范。(來自網(wǎng)絡(luò))先進(jìn)的輪廓儀集成模塊60年世界水平半導(dǎo)體檢測技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗所有的關(guān)鍵硬件采用美國、德國、日本等PI,納米移動平臺及控制Nikon,干涉物鏡NI,信號控制板和Labview64控制軟件TMC隔震平臺世界先進(jìn)水平的計算機(jī)軟硬件技術(shù)平臺VS2012/64位。表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺階高度,錐角等)。光學(xué)輪廓儀價格
在結(jié)構(gòu)上,輪廓儀基本上都是臺式的,而粗糙度儀以手持式的居多,當(dāng)然也有臺式的。3D輪廓儀美元報價
滿足您需求的輪廓儀使用范圍廣:兼容多種測量和觀察需求保護(hù)性:非接觸式光學(xué)輪廓儀耐用性更強(qiáng),使用無損可操作性:一鍵式操作,操作更簡單,更方便智能性:特殊形狀能夠只能計算特征參數(shù)個性化:定制化客戶報告模式更好用戶體驗:迅捷的售后服務(wù),個性化應(yīng)用軟件支持1.精度高,壽命長---采用超高精度氣浮導(dǎo)軌作為直線測量基準(zhǔn),具有穩(wěn)定性好、承載大、勇不磨損等優(yōu)點,達(dá)到國內(nèi)同類產(chǎn)品較高精度。2.高精度光柵尺及進(jìn)口采集卡---保證數(shù)據(jù)采樣分辨率,準(zhǔn)確度高,穩(wěn)定性好。(網(wǎng)絡(luò))3D輪廓儀美元報價