晶片隔振臺摩擦學(xué)應(yīng)用

5、模塊將放置在腳輪板下。將AVI模塊滑到后傾角板下，使模塊從一側(cè)到另一側(cè)（而不是從前到后）橫跨立柱底面。將它們盡量放在外側(cè)，不要碰到腿的側(cè)壁。如果您安裝的是EVO、Supra25–55、Ultra55或Neon40，則每個隔離模塊的寬度為7.5英寸。在這種情況下，每個模塊上的電纜端口應(yīng)朝內(nèi)，相互朝向。如果您安裝的是Supra60/VP、Ultra60或PLUS、Neon60或NVision40，則每個隔離模塊的寬度為11.3英寸。在這種情況下，每個模塊上的電纜端口應(yīng)朝外，彼此遠(yuǎn)離。6、再次在AVI模塊頂部滑動第二個安裝板，前后各27.5英寸，兩側(cè)各27英寸，在掃描電鏡腳輪板下方居中。重新連接時，確保AVI模塊和安裝板都不會與掃描電鏡側(cè)板接觸。確保AVI模塊和安裝板都不與前端或后端的掃描電鏡支架接觸。7、系統(tǒng)就位后，使用掃描電鏡水平尺降低掃描電鏡，直到其落在安裝板上。抬起水平尺，直到它們向上并離開。傳感器LFS-3有一個單獨(dú)的電源，通過D-Sub25插座連接到LFS-3控制單元。晶片隔振臺摩擦學(xué)應(yīng)用

AVI-600/LP的每個單元均可調(diào)節(jié)，以適應(yīng)0至600kg的負(fù)載。對于任何設(shè)置由兩個單元組成的系統(tǒng)上的負(fù)載，可在+/-90kg之間變化，而不必重設(shè)調(diào)整。手次操作系統(tǒng)時，請將前面板隔離開關(guān)設(shè)置為OFF（黑色旋出）。接通電源。電源指示燈現(xiàn)在將點(diǎn)亮，并且24個顯示LED將短暫閃爍。黃色的使能LED將以大約2Hz的頻率閃爍。如果劇烈震動存在或如果您將手放在桌面上，則某些或所有LED將閃爍。接通電源約30秒后，您可以將隔離開關(guān)推到ON位置（紅色旋鈕進(jìn)入）。黃色LED現(xiàn)在將勇久保持亮起，表明系統(tǒng)處于隔離。半導(dǎo)體設(shè)備隔振臺一級代理AVI系列可以在非常寬的頻率范圍內(nèi)為激光干涉計(jì)、微檢測設(shè)備等提供極好的隔振效果。

HerzLowFrequencySensor(LFS-3)低頻感應(yīng)器LFS-3性能LFS-3感應(yīng)器測試水平和垂直方向加速度3軸的頻率低到0.2Hz.感應(yīng)器直接放到地板上和AVI系列產(chǎn)品連在組成一個正向循環(huán)可以提高低頻的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列產(chǎn)品。LFS-3性能使用測振儀的V檔并有50公斤的重量下測試的。LFS-3性能使用測振儀的H-1檔并有50公斤的重量下測試的。AVI主動隔振系統(tǒng)幫助精密儀器在基礎(chǔ)研究、應(yīng)用研究、生產(chǎn)等方面創(chuàng)造穩(wěn)定的測量和生產(chǎn)環(huán)境。AVI系列可以在非常寬的頻率范圍內(nèi)為原子力顯微鏡、非接觸式表面輪廓儀、激光干涉計(jì)、微檢測設(shè)備等提供極好的隔振效果。

AVI600-SAVI600-S的基本配置包括兩個緊湊型單元和一個控制單元，最大負(fù)載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數(shù)量，可以輕松實(shí)現(xiàn)對更高負(fù)載的支持。為了使AVI600-S適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用，可以使用不同長度的緊湊型裝置。AVI600-S的隔離始于1,2Hz，超過10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI600-S系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI600-S的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式AVI600-S緊湊型設(shè)備不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡單，友好的處理概念-從而避免在設(shè)備上放置沉重的設(shè)備（例如SEM）時進(jìn)行任何復(fù)雜的操作。技術(shù)指標(biāo)：頻率：1.2-200Hz負(fù)載范圍：0-1200公斤（單個）：600公斤L(fēng)FS-3感應(yīng)器測試水平和垂直方向加速度3軸的頻率低到0.2Hz。

水平X軸方向上的振動傳遞衰減，在承重時10hz的頻率以上時，蕞大可以達(dá)到-40dB的衰減。隔振效率可以達(dá)到99%以上的效果。10Hz以上的頻率正常情況下是30dB到40dB的衰減。水平Y(jié)軸方向上的振動傳遞衰減，在承重時10hz的頻率以上時，蕞大可以達(dá)到-40dB的衰減。隔振效率可以達(dá)到99%以上的效果。10Hz以上的頻率正常情況下是30dB到40dB的衰減。AVI系列產(chǎn)品在振動加速度上的隔振效果。如果想要了解更多信息請聯(lián)系我們岱美儀器?；蛘咴L問我們的官網(wǎng)。LFS-3傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度，頻率約為0.2Hz。半導(dǎo)體設(shè)備隔振臺推薦型號

LFS-3性能使用測振儀的H-1檔并有50公斤的重量下測試的。晶片隔振臺摩擦學(xué)應(yīng)用

TS-300結(jié)合了久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)特點(diǎn)和優(yōu)雅且用戶友好的設(shè)計(jì)TS-300的隔離始于0.7Hz，超過10Hz時迅速增加至40dB缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見的被動空氣阻尼方法要好得多TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性TS-300的出色性能包括所有水平和垂直共計(jì)六個方向的震動隔離模式精確的自動高度調(diào)節(jié)機(jī)制即使在負(fù)載發(fā)生重大變化后也能將頂板穩(wěn)定在蕞佳工作水平遙控器允許在外部將隔離開關(guān)“打開”和“關(guān)閉”如果想要了解更多信息請聯(lián)系我們岱美儀器。晶片隔振臺摩擦學(xué)應(yīng)用