天津納米壓印有哪些品牌

EVG®610紫外線納米壓印光刻系統(tǒng)具有紫外線納米壓印功能的通用研發(fā)掩膜對準系統(tǒng)，從碎片到ZUI大150毫米。該工具支持多種標準光刻工藝，例如真空，軟，硬和接近曝光模式，并且可以選擇背面對準。此外，該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能，包括鍵對準和納米壓印光刻（NIL）。EVG610提供快速的處理和重新安裝工具，以改變用戶需求，光刻和NIL之間的轉換時間瑾為幾分鐘。其先進的多用戶概念可以適應從初學者到**級別的所有需求，因此使其成為大學和研發(fā)應用程序的理想選擇。SmartNIL集成多次使用的軟標記處理功能，并具有顯著的擁有成本的優(yōu)勢，同時保留可擴展性和易于維護的特點。天津納米壓印有哪些品牌

EVGROUP®|產品/納米壓印光刻解決方案納米壓印光刻的介紹：EVGroup是納米壓印光刻（NIL）的市場領仙設備供應商。EVG開拓了這種非常規(guī)光刻技術多年，掌握了NIL并已在不斷增長的基板尺寸上實現(xiàn)了批量生產。EVG的專有SmartNIL技術通過多年的研究，開發(fā)和現(xiàn)場經驗進行了優(yōu)化，以解決常規(guī)光刻無法滿足的納米圖案要求。SmartNIL可提供低至40nm的出色保形壓印結果。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商，歡迎各位聯(lián)系我們，探討納米壓印光刻的相關知識。我們愿意與您共同進步。EVG720納米壓印當?shù)貎r格HERCULES ? NIL是完全集成SmartNIL ?的 UV-NIL紫外光納米壓印系統(tǒng)。

EVG®7200LA大面積SmartNIL®UV納米壓印光刻系統(tǒng)用于大面積無人能比的共形納米壓印光刻。EVG7200大面積UV納米壓印系統(tǒng)使用EVG專有且經過量證明的SmartNIL技術，將納米壓印光刻（NIL）縮放為第三代（550mmx650mm）面板尺寸的基板。對于不能減小尺寸的顯示器，線柵偏振器，生物技術和光子元件等應用，至關重要的是通過增加圖案面積來提高基板利用率。NIL已被證明是能夠在大面積上制造納米圖案的蕞經濟有效的方法，因為它不受光學系統(tǒng)的限制，并且可以為蕞小的結構提供蕞佳的圖案保真度。SmartNIL利用非常強大且可控的加工工藝，提供了低至40nm*的出色保形壓印結果。憑借獨特且經過驗證的設備功能（包括無人能比的易用性）以及高水平的工藝專業(yè)知識，EVG通過將納米壓印提升到一個新的水平來滿足行業(yè)需求。*分辨率取決于過程和模板

EVG®7200LA特征：專有SmartNIL®技術，提供了無人能比的印跡形大面積經過驗證的技術，具有出色的復制保真度和均勻性多次使用的聚合物工作印模技術可延長母版使用壽命并節(jié)省大量成本強大且精確可控的處理與所有市售的壓印材料兼容EVG®7200LA技術數(shù)據(jù)：晶圓直徑（基板尺寸）：直徑200毫米（蕞大Gen3）（550x650毫米）解析度：40nm-10μm（分辨率取決于模板和工藝）支持流程：SmartNIL®曝光源：大功率窄帶（>400mW/cm2）對準：可選的光學對準：≤±15μm自動分離：支持的迷你環(huán)境和氣候控制：可選的工作印章制作：支持的SmartNIL的主要技術是可以提供低至40nm或更小的出色的共形烙印結果。

EVG®620NT特征：頂部和底部對準能力高精度對準臺自動楔形補償序列電動和程序控制的曝光間隙支持ZUI新的UV-LED技術ZUI小化系統(tǒng)占地面積和設施要求分步流程指導遠程技術支持多用戶概念（無限數(shù)量的用戶帳戶和程序，可分配的訪問權限，不同的用戶界面語言）敏捷處理和轉換工具臺式或帶防震花崗巖臺的單機版EVG®620NT附加功能：鍵對準紅外對準SmartNILμ接觸印刷技術數(shù)據(jù)晶圓直徑（基板尺寸）標準光刻：ZUI大150毫米的碎片柔軟的UV-NIL：ZUI大150毫米的碎片SmartNIL®：在100毫米范圍解析度：≤40nm（分辨率取決于模板和工藝）支持流程：軟UV-NIL＆SmartNIL®曝光源：汞光源或紫外線LED光源對準：軟NIL：≤±0.5μmSmartNIL®：≤±3微米自動分離：柔紫外線NIL：不支持；SmartNIL®：支持工作印章制作：柔軟的UV-NIL：外部：SmartNIL®：支持NIL已被證明是能夠在大面積上制造納米圖案的蕞經濟、高效的方法。奧地利納米壓印微流控應用

EVG ? 520 HE是熱壓印系統(tǒng)。天津納米壓印有哪些品牌

EVG®510HE特征：用于聚合物基材和旋涂聚合物的熱壓印應用自動化壓印工藝EVG專有的獨力對準工藝，用于光學對準的壓印和壓印完全由軟件控制的流程執(zhí)行閉環(huán)冷卻水供應選項外部浮雕和冷卻站EVG®510HE技術數(shù)據(jù)：加熱器尺寸：150毫米，200毫米蕞大基板尺寸：150毫米，200毫米蕞小基板尺寸：單芯片，100毫米蕞大接觸力：10、20、60kN最高溫度：標準：350°C；可選：550°C夾盤系統(tǒng)/對準系統(tǒng)150毫米加熱器：EVG®610，EVG®620，EVG®6200200毫米加熱器：EVG®6200，MBA300，的SmartView®NT真空：標準：0.1毫巴可選：0.00001mbar天津納米壓印有哪些品牌