半導(dǎo)體設(shè)備隔振臺(tái)技術(shù)服務(wù)

該系統(tǒng)的固有剛度比1

Hz諧振無源隔離器的固有剛度大25倍，可提供出色的方向和位置穩(wěn)定性。

有源隔離系統(tǒng)的特性通常表現(xiàn)為幾乎沒有低頻共振，這種共振困擾著所有無源隔離系統(tǒng)。

該系統(tǒng)的設(shè)計(jì)即使在低至2-3Hz的頻率下也能提供出色的隔離度，在該頻率下，許多建筑物由于繞垂直軸的振蕩而顯示出較大的水平振幅。隔離從大約0.7Hz開始，并迅速增加到至少10Hz以外的至少40 dB。

所有控制電路都內(nèi)置在該單元**耗小于2.5W。該設(shè)備具有通用輸入，可以連接到100至240 VAC的任何交流電源。優(yōu)化設(shè)計(jì)以實(shí)現(xiàn)對(duì)諸如掃描探針顯微鏡（AFM， STM），干涉儀和其他高 分辨率儀器，從而使這些儀器能夠達(dá)到**終的性能。事實(shí)證明，該表在支持靈敏實(shí)驗(yàn)（例如膜片鉗，顯微注射或用于測(cè)量Langmuir-Blodgett膜的液體的槽）方面非常成功。 主動(dòng)防振臺(tái)通過電氣控制，向傳入振動(dòng)瞬間施加反方向的力，從而消除振動(dòng)。半導(dǎo)體設(shè)備隔振臺(tái)技術(shù)服務(wù)

所有控制電路都內(nèi)置在該單元**耗小于2.5W。該設(shè)備具有通用輸入，可以連接到100至240 VAC的任何交流電源。優(yōu)化設(shè)計(jì)以實(shí)現(xiàn)對(duì)諸如掃描探針顯微鏡（AFM， STM），干涉儀和其他高 分辨率儀器，從而使這些儀器能夠達(dá)到**終的性能。事實(shí)證明，該表在支持靈敏實(shí)驗(yàn)（例如膜片鉗，顯微注射或用于測(cè)量Langmuir-Blodgett膜的液體的槽）方面非常成功。

技術(shù)指標(biāo)：

頻率：1.2-300赫茲

負(fù)載范圍：0-40公斤

尺寸圖            300x 300 x 70毫米（長x寬x高）

 11.8x 11.8 x 2.75英寸

 隔離：動(dòng)態(tài)1.2Hz至300Hz，主要在較高頻率下為無源

透射率：

高于?10 Hz的透射率<0.01（-40 dB）

矯正力：垂直±8N，水平±4N

靜態(tài)合規(guī)性：27 μm / N

比較大負(fù)載（中心負(fù)載）：40公斤88.18磅

重量：9.2公斤20.3磅

半導(dǎo)體設(shè)備隔振臺(tái)技術(shù)服務(wù)HERZ在被動(dòng)式隔振系統(tǒng)產(chǎn)品之外，補(bǔ)充了由瑞士Table Stable Ltd.開發(fā)的先進(jìn)主動(dòng)式隔振系統(tǒng)。

AVI 200-M

AVI 200-M的隔離始于1,2 Hz，超過10HZ以上迅速增加至35 db

減少低頻諧振可得到比普通的被動(dòng)空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能

AVI 200-M系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性

AVI 200-M的出色性能包括所有六個(gè)方向水平和垂直振動(dòng)模式

AVI 200-M隔振模塊不需要任何大型工具即可安裝。我們努力提供一種簡單，友好的概念-避免在安裝出現(xiàn)中比較復(fù)雜的過程

技術(shù)指標(biāo)：

頻率： 1,2-200 Hz

負(fù)載范圍： 0-400公斤

（單個(gè)）：  200公斤

如果想要了解更多信息請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器。

傳感器位置

傳感器可以移動(dòng)到任何期望的位置。 它可能位于負(fù)載下方或外部，但必須位于支持AVI元素的同一表面上。 制作后連接時(shí)，傳感器與AVI單元的方向必須保持不變。

支撐面的剛性

支撐表面的剛性很重要。 水平傳感器無法區(qū)分在水平加速度和傾斜之間。 LFS和因此，AVI元素所在的位置必須盡可能堅(jiān)硬，以使其不會(huì)明顯傾斜當(dāng)人們?cè)诟浇苿?dòng)時(shí)。 傾斜會(huì)導(dǎo)致傳感器輸出飽和并失去隔離。

運(yùn)作方式

設(shè)置好并將電源連接到傳感器后，就可以使用系統(tǒng)了。按下電源上的電源旋鈕打開電源。 綠色LED將點(diǎn)亮。 紅色LED開始閃爍，這意味著存在一些振動(dòng)?，F(xiàn)在，您可以通過按啟用按鈕來啟用系統(tǒng)。 紅色LED不應(yīng)點(diǎn)亮了。 如果它們點(diǎn)亮，則表示系統(tǒng)過載且振動(dòng)建筑物中存在的物體太嚴(yán)重。

請(qǐng)注意，如果未啟用LFS，則它將無效。

敏感的傳感器單元，請(qǐng)勿撞擊，敲打或跌落！

AVI單元和傳感器的方向

隔離單元和LFS傳感器必須正確安裝，這一點(diǎn)很重要取向！LFS控制單元上的每個(gè)D-Sub15插座都有4個(gè)對(duì)應(yīng)于AVI的開關(guān)輸出以任意4個(gè)矩形方向（即平行或成直角）放置的元素。不允許其他方向。

為確保連接正確，請(qǐng)按照下列步驟操作：

面向LFS傳感器的藍(lán)色LED站立。 將***個(gè)AVI元素連接到以下任意一個(gè)后面板上的12個(gè)D-Sub15插座。用筆滑動(dòng)開關(guān)在位置A和D之間。

所有AVI元素必須連接到LFS單元上的插槽。正確的開關(guān)位置對(duì)于獲得良好的性能至關(guān)重要隔離。

Table Stable通過在發(fā)展主動(dòng)隔振系統(tǒng)的同時(shí)補(bǔ)充了被動(dòng)系統(tǒng)。半導(dǎo)體設(shè)備隔振臺(tái)技術(shù)服務(wù)

從低頻率起提高一個(gè)隔振環(huán)境。半導(dǎo)體設(shè)備隔振臺(tái)技術(shù)服務(wù)

5、模塊將放置在腳輪板下。將AVI模塊滑到后傾角板下，使模塊從一側(cè)到另一側(cè)（而不是從前到后）橫跨立柱底面。將它們盡量放在外側(cè)，不要碰到腿的側(cè)壁。如果您安裝的是EVO、Supra 25–55、Ultra 55或Neon 40，則每個(gè)隔離模塊的寬度為7.5英寸。在這種情況下，每個(gè)模塊上的電纜端口應(yīng)朝內(nèi)，相互朝向。如果您安裝的是Supra 60/VP、Ultra 60或PLUS、Neon 60或NVision 40，則每個(gè)隔離模塊的寬度為11.3英寸。在這種情況下，每個(gè)模塊上的電纜端口應(yīng)朝外，彼此遠(yuǎn)離。

6、再次在AVI模塊頂部滑動(dòng)第二個(gè)安裝板，前后各27.5英寸，兩側(cè)各27英寸，在掃描電鏡腳輪板下方居中。重新連接時(shí)，確保AVI模塊和安裝板都不會(huì)與掃描電鏡側(cè)板接觸。確保AVI模塊和安裝板都不與前端或后端的掃描電鏡支架接觸。

7、系統(tǒng)就位后，使用掃描電鏡水平尺降低掃描電鏡，直到其落在安裝板上。抬起水平尺，直到它們向上并離開。 半導(dǎo)體設(shè)備隔振臺(tái)技術(shù)服務(wù)