光刻機(jī)隔振臺一級代理

TS-140+40TS-140+40結(jié)合了久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)特點(diǎn)與優(yōu)雅且用戶友好的設(shè)計(jì)這種中型動態(tài)隔振系統(tǒng)非常適合所有需要頂板上空間比TS-150更大的應(yīng)用。在公制（M6x25mm）或非公制網(wǎng)格上鉆孔的頂板可將各種設(shè)備安裝在隔離的桌面上。TS-140+40結(jié)合了久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)卓悅性與優(yōu)雅且用戶友好的設(shè)計(jì)TS-140+40的隔離始于0.7Hz，超過10Hz后迅速增加至40db缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見的被動空氣阻尼方法要好得多TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性TS140+40的出色性能包括所有水平和垂直共計(jì)六個方向的震動隔離模式精確的自動高度調(diào)節(jié)機(jī)制即使在負(fù)載發(fā)生重大變化后也能將頂板穩(wěn)定在蕞佳工作水平遙控器允許在外部將隔離開關(guān)“打開”和“關(guān)閉”用戶友好，實(shí)用的操作優(yōu)勢是創(chuàng)新建筑理念的結(jié)果TS-140+40的高度瑾84毫米TS140+40的重量瑾為28.5千克AVI 400-XL的基本配置包括兩個緊湊型隔振模塊和一個控制單元，比較大負(fù)載為800公斤。光刻機(jī)隔振臺一級代理

LFSLFS傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度，直到頻率約為0.2Hz。

該傳感器直接放置在地板上，并與標(biāo)準(zhǔn)AVI/LP系統(tǒng)結(jié)合使用在前饋環(huán)路中，以提高非常低頻率的振動隔離。

LFS可以改裝為現(xiàn)有的AVI-LP系統(tǒng)。LFS-3的設(shè)計(jì)、制造和測試均符合測量和控制設(shè)備的安全規(guī)定，并滿足EEC指令73/23的相關(guān)要求。

系統(tǒng)符合EEC指令89/336（電磁兼容性）每個單獨(dú)的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。

LFS的實(shí)際位置并不重要，但它當(dāng)然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上D-Sub15插座（診斷插座）連接到傳感器。 壓電陶瓷技術(shù)隔振臺研發(fā)可以用嗎***使用AVI系統(tǒng)時，將前面板隔離開關(guān)設(shè)置為關(guān)閉（黑色旋鈕熄滅）。

AVI-400系列（負(fù)載：蕞多800kg）型號：AVI-400SLP，AVI-400MLP，AVI-400XLP系統(tǒng)形狀：控制器與防振單元分離型主動控制范圍：被動隔振范圍200Hz以上確認(rèn)防振狀態(tài)：使用控制器背面的BNC連接器，外部連接，前面的8個LED指示防振狀態(tài)尺寸：190×396×190×720×220×856×控制器尺寸：241×287×142毫米承重*800kg單位重量：約13kg；約19公斤，聯(lián)絡(luò)我們電源電壓：95-240VAC，50-60赫茲耗電量：通常為18W工作溫度范圍：5℃?40℃工作濕度范圍10?90％（5?30℃）?10?60％（30?40℃）可選零件（1）裝載板，石板，鑄鐵板*另行咨詢選裝（2）高剛性支架或高阻尼高剛性支架*單獨(dú)咨詢。

    傳感器位置傳感器可以移動到任何期望的位置。它可能位于負(fù)載下方或外部，但必須位于支持AVI元素的同一表面上。制作后連接時，傳感器與AVI單元的方向必須保持不變。支撐面的剛性支撐表面的剛性很重要。水平傳感器無法區(qū)分在水平加速度和傾斜之間。LFS和因此，AVI元素所在的位置必須盡可能堅(jiān)硬，以使其不會明顯傾斜當(dāng)人們在附近移動時。傾斜會導(dǎo)致傳感器輸出飽和并失去隔離。運(yùn)作方式設(shè)置好并將電源連接到傳感器后，就可以使用系統(tǒng)了。按下電源上的電源旋鈕打開電源。綠色LED將點(diǎn)亮。紅色LED開始閃爍，這意味著存在一些振動。現(xiàn)在，您可以通過按啟用按鈕來啟用系統(tǒng)。紅色LED不應(yīng)點(diǎn)亮了。如果它們點(diǎn)亮，則表示系統(tǒng)過載且振動建筑物中存在的物體太嚴(yán)重。請注意，如果未啟用LFS，則它將無效。敏感的傳感器單元，請勿撞擊，敲打或跌落！ 所有范圍內(nèi)為±5％?？刂茊卧仨毰c相應(yīng)的測量頭一起使用！

TS-300TS系列產(chǎn)品中蕞大的系列，比TS-140/TS-150更大。在公制（M6x25mm）或非公制網(wǎng)格上鉆孔的頂板可將各種設(shè)備安裝在隔離的桌面上。頻率負(fù)載范圍TS-300負(fù)載范圍TS-300LT尺寸圖0,7-1000赫茲0-300公斤0-120公斤600x800x120毫米TS-300結(jié)合了久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)卓悅性和優(yōu)雅且用戶友好的設(shè)計(jì)TS-300的隔離始于0.7Hz，超過10Hz時迅速增加至40dB缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見的被動空氣阻尼方法要好得多TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性TS-300的出色性能包括所有水平和垂直共計(jì)六個方向的震動隔離模式精確的自動高度調(diào)節(jié)機(jī)制即使在負(fù)載發(fā)生重大變化后也能將頂板穩(wěn)定在蕞佳工作水平遙控器允許在外部將隔離開關(guān)“打開”和“關(guān)閉”傳感器可以移動到任何所需位置。主動減振臺隔振臺應(yīng)用

Table Stable通過主動控制沒有共振點(diǎn)，可以防止低頻范圍的振動。光刻機(jī)隔振臺一級代理

AVI-600/LP的每個單元均可調(diào)節(jié)，以適應(yīng)0至600kg的負(fù)載。對于任何設(shè)置由兩個單元組成的系統(tǒng)上的負(fù)載，可在+/-90kg之間變化，而不必重設(shè)調(diào)整。手次操作系統(tǒng)時，請將前面板隔離開關(guān)設(shè)置為OFF（黑色旋出）。接通電源。電源指示燈現(xiàn)在將點(diǎn)亮，并且24個顯示LED將短暫閃爍。黃色的使能LED將以大約2Hz的頻率閃爍。如果劇烈震動存在或如果您將手放在桌面上，則某些或所有LED將閃爍。接通電源約30秒后，您可以將隔離開關(guān)推到ON位置（紅色旋鈕進(jìn)入）。黃色LED現(xiàn)在將勇久保持亮起，表明系統(tǒng)處于隔離。光刻機(jī)隔振臺一級代理