***相機(jī)，用于采集共焦掃描的圖像；樣品臺(tái)，其上放置有檢測(cè)晶圓；環(huán)繞所述檢測(cè)晶圓布置的倏逝場(chǎng)移頻照明光源；安裝在所述顯微物鏡外周且輸出光場(chǎng)傾斜入射照明被檢測(cè)晶圓的暗場(chǎng)照明光源；第二相機(jī)，用于暗場(chǎng)照明，pl模式照明和移頻照明遠(yuǎn)場(chǎng)像的采集。本發(fā)明中，根據(jù)被檢晶圓半導(dǎo)體材料的光譜吸收特性，選擇對(duì)應(yīng)的照明光源，具體包括暗場(chǎng)照明源，pl激發(fā)源，共聚焦照明光源以及倏逝場(chǎng)移頻照明光源；完成所有照明成像系統(tǒng)的集成化設(shè)計(jì)，具體包括暗場(chǎng)照明光路、pl激發(fā)光路、自聚焦掃描成像光路、倏逝場(chǎng)照明光路的設(shè)計(jì)以及所有光路系統(tǒng)的整合。同時(shí)，完成部分模塊的集成，如自聚焦模塊；另外，針對(duì)不同照明模式的缺陷檢測(cè)過程，圖像的采集方案有所差別，對(duì)應(yīng)的圖像拼接算法應(yīng)做出調(diào)整。推薦的，所述的照明光源為汞氙燈、led光源或激光光源。照明光源可以選用汞氙燈(hg-xelamp)、特定波段的發(fā)光二極管(led)光源、白光led光源，或者其他非相干和部分相干光源等。其中pl照明模式、共焦掃描成像模式也可選用激光光源。推薦的，所述的耦合物鏡與***偏振片間依次設(shè)置有***透鏡、***、第二透鏡和濾光片。推薦的，所述的偏振片與偏振分光棱鏡間依次設(shè)置有柱面鏡和第三透鏡。推薦的。半導(dǎo)體晶圓用的精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，國(guó)內(nèi)有廠家做嗎？四川全球半導(dǎo)體晶圓
ticuni)、鈦合金、釩鎳合金、銀合金、鎳合金、銅合金、純鈷，也可以包含鋁、鈦、鎳、銀、鎳、銅各種金屬的合金。如圖16e所示的一實(shí)施例當(dāng)中，步驟1550所作出的金屬層的上表面，也就是第四表面，是一個(gè)平面。該第四表面和晶圓層的下表面，亦即***表面，應(yīng)當(dāng)是平行的。如圖16f所示的一實(shí)施例當(dāng)中，基板結(jié)構(gòu)的金屬層1010可以更包含兩個(gè)金屬子層1011與1012。這兩個(gè)金屬子層1011與1012的材質(zhì)可以相同，也可以不同。金屬子層1011的形狀與第二表面8222相應(yīng)。金屬子層1012的形狀與金屬子層1011相應(yīng)。制作金屬子層1011的工法可以和制作金屬子層1012的工法相同，也可以不同。圖16f所示的實(shí)施例的一種變化當(dāng)中，也可以只包含一層金屬層1010，其形狀與第二表面822相應(yīng)。如圖16g所示的一實(shí)施例當(dāng)中，基板結(jié)構(gòu)可以包含兩個(gè)金屬子層1011與1012。金屬子層1011的形狀與第二表面822相應(yīng)。金屬子層1012的下表面與金屬子層1011的上表面相應(yīng)，但金屬子層1012的上表面，也就是第四表面，是一個(gè)平面。該第四表面和晶圓層的下表面，亦即***表面，應(yīng)當(dāng)是平行的。雖然在圖16f與16g的實(shí)施例只示出兩個(gè)金屬子層1011與1012，但本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以理解到步驟1550可以制作出包含更多金屬子層的金屬層。天津12英寸大尺寸半導(dǎo)體晶圓國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體晶圓 代工公司,硅晶圓片工藝技術(shù)!
上述步驟7210至7240可以重復(fù)操作以此來縮小內(nèi)爆時(shí)間τi的范圍。在知道內(nèi)爆時(shí)間τi后，τ1可以在安全系數(shù)下設(shè)置為小于τi的值。以下段落用于敘述本實(shí)驗(yàn)的一實(shí)例。假設(shè)圖案結(jié)構(gòu)為55nm的多晶硅柵線，超聲波的頻率為1mhz，使用prosys制造的超聲波或兆聲波裝置，采用間隙振蕩模式(在pct/cn2008/073471中披露)操作以在晶圓內(nèi)和晶圓間獲得更均勻能量分布。以下表2總結(jié)了其他試驗(yàn)參數(shù)以及**終的圖案損傷數(shù)據(jù)：表2在一個(gè)試驗(yàn)中，當(dāng)τ1＝2ms(或周期數(shù)為2000)時(shí)，前面提到的聲波清洗工藝在55nm的特征尺寸下，對(duì)圖案結(jié)構(gòu)造成的損傷高達(dá)1216個(gè)點(diǎn)。當(dāng)τ1＝(或周期數(shù)為100)時(shí)，聲波清洗工藝對(duì)相同的圖案結(jié)構(gòu)造成的損傷為0。所以τi為。通過縮小τ1的范圍來做更多的試驗(yàn)可進(jìn)一步縮小τi的范圍。在上述實(shí)驗(yàn)中，周期數(shù)取決于超聲波或兆聲波的功率密度和頻率。功率密度越大，則周期數(shù)越?。活l率越低，則周期數(shù)越小。從以上實(shí)驗(yàn)結(jié)果可以預(yù)測(cè)出無損傷的周期數(shù)應(yīng)該小于2000，假設(shè)超聲波或兆聲波的功率密度大于，頻率小于或等于1mhz。如果頻率增大到大于1mhz或功率密度小于，那么可以預(yù)測(cè)周期數(shù)將會(huì)增加。知道時(shí)間τ1后，τ2也可以基于與上述相似的doe方法來獲得。確定時(shí)間τ1。
所述有機(jī)胺為二乙烯三胺、五甲基二乙烯三胺、多乙烯多胺、乙胺、二乙胺、三乙胺、三丙胺，N，N-二甲基乙醇胺、N，N-甲基乙基乙醇胺、N-甲基二乙醇胺和三乙醇胺一種或多種。所述有機(jī)羧酸選自丙二酸、草酸、乙二胺四乙酸鹽和檸檬酸中的一種或者多種。所述胍類為四甲基胍、碳酸胍、醋酸胍、3-胍基丙酸、聚六亞甲基胍和對(duì)胍基苯甲酸。所述清洗液的pH值為2～5。實(shí)施例3一種用于半導(dǎo)體晶圓等離子蝕刻殘留物的清洗液，其是由如下重量份數(shù)的原料組成：有機(jī)溶劑48份、氟化物12份、氯化物11份、甲基丙烯酸甲酯6份、有機(jī)胺7份、氨基酸14份、胍類15份、苯并三氮唑5份、有機(jī)羧酸19份、硫脲23份和水64份。所述有機(jī)溶劑為選自亞砜、砜、咪唑烷酮、吡咯烷酮、咪唑啉酮、酰胺和醚中的一種或多種。所述氟化物為氟化氫、或氟化氫與堿形成的鹽。所述有機(jī)胺為二乙烯三胺、五甲基二乙烯三胺、多乙烯多胺、乙胺、二乙胺、三乙胺、三丙胺，N，N-二甲基乙醇胺、N，N-甲基乙基乙醇胺、N-甲基二乙醇胺和三乙醇胺一種或多種。所述有機(jī)羧酸選自丙二酸、草酸、乙二胺四乙酸鹽和檸檬酸中的一種或者多種。所述胍類為四甲基胍、碳酸胍、醋酸胍、3-胍基丙酸、聚六亞甲基胍和對(duì)胍基苯甲酸。開封怎么樣半導(dǎo)體晶圓?
氣泡內(nèi)氣體或蒸汽的溫度不需要冷卻至室溫或清洗液的溫度。它可以是高于室溫或清洗液溫度的一定溫度。較佳地，該溫度是明顯低于內(nèi)爆溫度ti。根據(jù)公式(8)和(9)，如果已知(δt-δt)，可以計(jì)算出內(nèi)爆時(shí)間τi。但通常情況下，(δt-δt)不太容易被計(jì)算出或直接得到。然而可以憑經(jīng)驗(yàn)直接得到τi的值。圖7e揭示了根據(jù)經(jīng)驗(yàn)得出內(nèi)爆時(shí)間τi值的流程圖。在步驟7210中，基于表1，選擇五個(gè)不同的時(shí)間段τ1作為實(shí)驗(yàn)設(shè)定(doe)的條件。在步驟7220中，選擇至少是τ1十倍的時(shí)間段τ2，在***次測(cè)試時(shí)**好是100倍的τ1。在步驟7230中，使用確定的功率水平p0運(yùn)行以上五種條件來分別清洗具有圖案結(jié)構(gòu)的晶圓。此處，p0是在如圖6a所示的連續(xù)不間斷模式(非脈沖模式)下確定會(huì)對(duì)晶圓的圖案結(jié)構(gòu)造成損傷的功率水平。在步驟7240中，使用掃描電鏡(sem)或晶圓圖案損傷查看工具來檢查以上五種晶圓的損壞程度，如應(yīng)用材料的semvision或日立is3000，然后內(nèi)爆時(shí)間τi可以被確定在某一范圍。損傷特征的百分比可以通過由掃描電鏡檢查出的損傷特征總數(shù)除以圖案結(jié)構(gòu)特征的總數(shù)。也可以通過其它方法計(jì)算得出損傷特征百分比。例如，**終晶圓的成品率可以用來表征損傷特征的百分比。西安怎么樣半導(dǎo)體晶圓?鄭州半導(dǎo)體晶圓服務(wù)至上
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用振幅隨著時(shí)間變化的電源的功率水平p來代替如圖7a及圖7d中步驟7040所示的恒定的功率水平p1。在一個(gè)實(shí)施例中，如圖8a所示，在時(shí)間段τ1內(nèi)，電源的功率振幅p增大。在另一個(gè)實(shí)施例中，如圖8b所示，在時(shí)間段τ1內(nèi)，電源的功率振幅p減小。在又一個(gè)實(shí)施例中，如圖8c所示，在時(shí)間段τ1內(nèi)，電源的功率振幅p先減小后增大。在如圖8d所示的實(shí)施例中，在時(shí)間段τ1內(nèi)，電源的功率振幅p先增大后減小。圖9a至圖9d揭示了根據(jù)本發(fā)明的又一個(gè)實(shí)施例的聲波晶圓清洗工藝。在該聲波晶圓清洗工藝中，電源的頻率隨著時(shí)間變化，而這個(gè)工藝中的其他方面與圖7a至圖7d中所示的保持一樣，在該實(shí)施例中，用隨著時(shí)間變化的電源的頻率來代替如圖7a及圖7d中步驟7040所示的恒定的頻率f1。如圖9a所示，在一個(gè)實(shí)施例中，在時(shí)間段τ1內(nèi)，電源的頻率先設(shè)置為f1后設(shè)置為f3，f1高于f3。如圖9b所示，在一個(gè)實(shí)施例中，在時(shí)間段τ1內(nèi)，電源的頻率先設(shè)置為f3后增大至f1。如圖9c所示，在一個(gè)實(shí)施例中，在時(shí)間段τ1內(nèi)，電源的頻率從f3變化至f1再變回f3。如圖9d所示，在一個(gè)實(shí)施例中，在時(shí)間段τ1內(nèi)，電源的頻率從f1變?yōu)閒3再變回f1。與圖9c所示的清洗工藝相似，在一個(gè)實(shí)施例中，在時(shí)間段τ1內(nèi)，電源的頻率先設(shè)置為f1。四川全球半導(dǎo)體晶圓
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