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潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點灰塵,而是控制在極少量的單位。當(dāng)然,這個標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物,相對于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說,哪怕是一點點的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響。潔凈室內(nèi)的照明設(shè)備需定期清潔,避免成為污染源。江蘇潔凈室環(huán)境檢測優(yōu)化價格
1.送風(fēng)量與排風(fēng)量如果是紊流潔凈室,那么就要測量其送風(fēng)量與排風(fēng)量。若為單向流潔凈室,則要測量其風(fēng)速。2.各區(qū)之間的氣流控制為證明各區(qū)之間氣流運(yùn)動方向正確,也就是從潔凈區(qū)向潔凈度差的區(qū)域流動,必須檢測:2.1各區(qū)間的壓差正確;2.2門口處或墻、地板等處的開口處氣流運(yùn)動方向正確,即從潔凈區(qū)向潔凈程度差的區(qū)域流動。3.過濾器檢漏對高效過濾器及其外框要進(jìn)行檢驗,以保證懸浮污染物不會穿過:3.1損壞了的過濾器;3.2過濾器與其外框間的縫隙;3.3過濾器裝置的其他部位而侵入室內(nèi)。4.隔離檢漏這項測試是為了證明懸浮污染物不穿過建筑材料侵入潔凈室。北京潔凈工作臺檢測誠信推薦單向流潔凈室氣流的特征是流線平行,以單一方向流動,并且在斷截面上風(fēng)速一致,有垂直單向潔凈室。
潔凈室或潔凈設(shè)施溫、濕度測定,通常分為兩個檔次:一般測試和綜合測試。一個檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗收測試,第二個檔次適用于靜態(tài)或動態(tài)的綜合性能測試。這類測試適用于對溫度、濕度性能要求比較嚴(yán)格的場合。本檢測在氣流均勻性檢測之后和空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整之后進(jìn)行。進(jìn)行這項檢測時,空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)充分運(yùn)轉(zhuǎn),各項狀況已經(jīng)穩(wěn)定。每個濕度控制區(qū)至少設(shè)置一個濕度傳感器,并且給傳感器充分的穩(wěn)定時間。所做測量應(yīng)適合實際使用的目的,待傳感器穩(wěn)定之后才開始測量,測量時間不少于5分鐘。
B.3.3.3.2離散粒子計數(shù)器(DPC)測量使用離散粒子計數(shù)器測量大粒子的方法與B.1中的空氣懸浮粒子計數(shù)方法基本相同,不同點只有一處,由于只需要大粒子的計數(shù)數(shù)據(jù),因此對1μm以下粒子的儀器靈敏度無要求。注意離散粒子計數(shù)器的樣本需是直接采自采樣點的空氣;計數(shù)器采樣管的長度不得超過1m;離散粒子計數(shù)器的采樣流量至少0.00047m/s。單向流潔凈室中,計數(shù)器采樣口的尺寸應(yīng)適應(yīng)等動力采樣。在非單向流區(qū)域,離散粒子計數(shù)器的采樣口應(yīng)朝上,采樣口直徑應(yīng)不小于30mm。設(shè)定計數(shù)器的粒徑范圍,使其只測量大粒子。為了保證所測粒子的濃度不大于出現(xiàn)重疊誤差的濃度,應(yīng)保留一個低于5μm(見GB/T25915.1-2010中表1)的粒徑檔。將這個小于5μm粒徑檔的濃度數(shù)據(jù)加到大粒徑數(shù)據(jù)中,濃度之和不應(yīng)超過所用粒子計數(shù)器比較大濃度建議值的50%。潔凈室檢測中發(fā)現(xiàn)的任何問題都應(yīng)立即記錄并跟蹤處理。
抽樣高效過濾器本體在進(jìn)入現(xiàn)場前,生產(chǎn)廠家應(yīng)按規(guī)定進(jìn)行性能試驗,并提供合格證。在單向流潔凈室對安裝的高效空氣過濾器應(yīng)該逐臺進(jìn)行檢漏,亂流潔凈室對于7級或更低級別的潔凈室,只要潔凈室達(dá)到了所要求的空氣潔凈度級別,就可以不進(jìn)行檢漏。技術(shù)要求檢漏的結(jié)果要符合條件:由受檢過濾器下風(fēng)側(cè)測到的漏泄?jié)舛葥Q算成透過率,對于高效過濾器應(yīng)不大于過濾器出廠合格率的2倍,對于超高效過濾器應(yīng)不大于出廠合格透過率的3倍。操作過程及判定過濾器的檢漏是指安裝完成的空氣過濾器的檢漏適用于空態(tài)或靜態(tài)的潔凈室。對于安裝于送、排風(fēng)末端的高效過濾器,應(yīng)用掃描法進(jìn)行過濾安裝邊框和全斷面檢漏,掃描法有檢漏儀法光度計法和采樣量為1L/min的粒子計數(shù)器法兩種。通過潔凈室檢測,可以有效降低產(chǎn)品生產(chǎn)過程中的污染風(fēng)險。江西生物安全柜檢測誠信推薦
在工作區(qū)應(yīng)避免渦流區(qū);盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達(dá)工作區(qū)。江蘇潔凈室環(huán)境檢測優(yōu)化價格
1、凡有試運(yùn)轉(zhuǎn)要求的設(shè)備單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)應(yīng)符合設(shè)備技術(shù)文件的有關(guān)規(guī)定。屬于機(jī)械設(shè)備的共性要求還應(yīng)符合國家相關(guān)規(guī)定和機(jī)械設(shè)備施工安裝方面的有關(guān)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。通常潔凈室需進(jìn)行單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)的設(shè)備有空調(diào)機(jī)組、送風(fēng)增壓風(fēng)機(jī)箱、排風(fēng)設(shè)備、凈化工作臺、靜電自凈器、潔凈干燥箱、潔凈儲物柜等局部凈化設(shè)備以及空氣吹淋室、余壓閥、真空吸塵清掃設(shè)備等。2、在單機(jī)試運(yùn)轉(zhuǎn)合格后需對送風(fēng)系統(tǒng)、回風(fēng)系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)量、風(fēng)壓調(diào)節(jié)裝置進(jìn)行設(shè)定與調(diào)整使各系統(tǒng)的風(fēng)量分配達(dá)到設(shè)計要求。這個階段檢測的目的主要是服務(wù)于空調(diào)凈化系統(tǒng)的調(diào)節(jié)與平衡往往需要反復(fù)進(jìn)行多次。此項檢測主要由承包商負(fù)責(zé)建設(shè)方的維護(hù)管理人員宜于跟進(jìn)以便熟悉系統(tǒng)。在此基礎(chǔ)上再進(jìn)行包括冷、熱源在內(nèi)的系統(tǒng)聯(lián)合試運(yùn)轉(zhuǎn)時間一般不少于8h。要求系統(tǒng)中各項設(shè)備部件包括凈化空調(diào)系統(tǒng)、自動調(diào)節(jié)裝置等的聯(lián)動運(yùn)轉(zhuǎn)與協(xié)調(diào)過程中應(yīng)動作正確無異?,F(xiàn)象。江蘇潔凈室環(huán)境檢測優(yōu)化價格