南京分體式氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項

氦檢儀現(xiàn)已普遍應用于半導體設(shè)備檢漏。半導體設(shè)備及材料需要檢漏原因：1、半導體設(shè)備要求高真空，比如磁控濺射臺、電子束蒸發(fā)臺、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會導致高真空達不到或需要大量的時間，耗時耗力；2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆粒或塵埃就會對晶元造成污染，對半導體的特性改變并破壞其性能，因此在半導體器件生產(chǎn)過程中必須進行氦質(zhì)譜檢漏；3、一些半導體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設(shè)備能及時抽走未反應氣體和氣態(tài)反應產(chǎn)物，保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4、芯片封裝，一旦出現(xiàn)泄漏，芯片就會失效。綜上所述，氦檢儀在半導體行業(yè)起著至關(guān)重要的作用。氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴散檢漏。南京分體式氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項

氦質(zhì)譜檢漏儀性能試驗方法：1、反應時間、消除時間及其測定，反應時間是指儀器節(jié)流閥完全開啟，本底訊號為零(或補償?shù)搅?時，由恒定的氦流量使輸儀表訊號上升到值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的時間，記為τR。消除時間是指輸出儀表訊號穩(wěn)定到固定值后，停止送氦，其訊號下降到值的e-1倍(即O.37)所需要的時間，記為τC。2、工作真空、極限真空及入口處抽速，質(zhì)譜室極限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù)。利用氦質(zhì)譜檢漏儀的真空規(guī)可以測定儀器的極限真空和工作真空。利用流量計可測定儀器入口處抽速。浙江多功能氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊氦質(zhì)譜檢漏儀應用領(lǐng)域：學校科研單位、真空制造、真空鍍膜、航空航天等。

氦檢儀常用的幾種檢漏方法：氦質(zhì)譜檢漏方法較多，根據(jù)被檢工件的測量目的可分為兩種類型，一種是漏點型，另一種是漏率型；在實際檢驗過程中，應根據(jù)檢驗目的選擇較合理的方法，并根據(jù)被檢件的具體情況靈活運用各種檢漏方法。測定漏點型氦質(zhì)譜檢漏方法。確定漏點型既是確定要檢部件的具體漏點或漏孔的位置,在大部件或大型部件中較為常見,如衛(wèi)星、導彈彈體、彈頭、輸氣管道、氣罐、油罐、鍋爐等。噴氦法氦質(zhì)譜檢漏方法。噴氦法又叫噴吹法，較常用、較方便的檢漏方法。一般用于檢測體積相對較小的部件,將被檢器件和儀器連通,在抽好真空后,在被檢器件可能存在漏孔的地方(如密封接頭,焊縫等)用噴頭噴氦。

如何正確選擇氦檢儀？（1）儀器的功能是否能滿足檢漏的要求，如有些儀器沒有逆流檢漏功能，就不合適正壓法檢漏：有些儀器沒有報廢漏率的設(shè)置功能，就不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用；流水線上要求一定的檢漏速度，因此應選擇有雙工位的氦檢儀。（2）儀器的靈敏度是否能滿足檢漏的要求。國內(nèi)外生產(chǎn)的不同類型的氦檢儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認真選擇。（3）被檢件如果害怕油的污染，被應選擇無油真空系統(tǒng)的氦檢儀。（4）被檢件容積如果較大，必須選用預抽泵抽速答的氦檢儀，否則要另配預抽泵就比較麻煩。（5）如果被檢對象不固定，體積時大時小，靈敏度要求時高時低，就要選擇功能較全，靈敏度較高，檢漏范圍寬的氦檢儀。（6）如果檢漏地點不固定，需要經(jīng)常搬運儀器時，就要選擇小型便攜式儀器。（7）在滿足檢漏基本要求的基礎(chǔ)上，還要綜合考慮儀器的價格是否低、操作是否建議、維修是夠方便等方面的問題。氦檢儀是對密封容器的泄漏進行快速定位和定量測量的儀器。

選購氦檢儀的注意事項有哪些？1.注意檢漏需求和設(shè)備功能的匹配度，根據(jù)現(xiàn)如今產(chǎn)品批量篩選和檢查泄露的需求進行研究可以發(fā)現(xiàn)，不同的產(chǎn)品檢漏操作時所需要的模式等都有著顯著的區(qū)別，消費者在選購氦檢儀時必須要根據(jù)產(chǎn)品的檢測功能需求進行挑選，例如儀器需要批量檢查的需求則必須要確保這種氦檢儀的檢查速度，立足于自身的需求保證這種氦檢儀的功能得以實現(xiàn)才是較正確的挑選方式；2.注意檢測靈敏度和操作模式特點，消費者在挑選這種檢測儀器時，必須要分析各種檢測儀器的檢測模式，確保這種氦檢儀以更高的靈敏度和更廣闊的檢測范圍來提高生產(chǎn)的效率，并且在挑選氦檢儀時也必須要根據(jù)該種產(chǎn)品的靈敏度和口碑進行分析，確保這種氦檢儀的精確度更強能夠滿足于不同產(chǎn)品的檢查需求。氦質(zhì)譜檢漏儀的主要根據(jù)被檢漏設(shè)備的允許漏率為依據(jù)。南京分體式氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項

氦質(zhì)譜檢漏儀是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高，用得比較多的檢漏儀器。南京分體式氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項

氦檢儀靈敏度降低應該如何維護？當發(fā)現(xiàn)氦檢儀的靈敏度降低，而氦檢儀的工作真空度狀態(tài)良好，放大器的各級工作電壓也符合標準要求，就基本上可以確定氦檢儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴重污染。這個時候，就需要將氦檢儀的離子源分析管道拆下來進行徹底的清洗。具體的清洗方法如下：先用細的高標號金相砂紙小心細致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電極部件，這里不能用粗砂紙，因為粗砂紙容易損傷真空分析管道及離子源的各電極部件；然后用航空汽油和無水乙醇清洗，并用去離子水沖洗干凈；較后用烘箱或電吹風進行干燥。整個清洗過程中需要注意，分析管道上的磁鐵不能撞擊、不能受熱，否則可能導致磁鐵退磁，使氦檢儀的靈敏度降低。如果操作正確，經(jīng)過清洗維護后的氦檢儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍。南京分體式氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項