氦檢儀靈敏度降低應(yīng)該如何維護?當發(fā)現(xiàn)氦檢儀的靈敏度降低,而氦檢儀的工作真空度狀態(tài)良好,放大器的各級工作電壓也符合標準要求,就基本上可以確定氦檢儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴重污染。這個時候,就需要將氦檢儀的離子源分析管道拆下來進行徹底的清洗。具體的清洗方法如下:先用細的高標號金相砂紙小心細致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電極部件,這里不能用粗砂紙,因為粗砂紙容易損傷真空分析管道及離子源的各電極部件;然后用航空汽油和無水乙醇清洗,并用去離子水沖洗干凈;較后用烘箱或電吹風進行干燥。整個清洗過程中需要注意,分析管道上的磁鐵不能撞擊、不能受熱,否則可能導致磁鐵退磁,使氦檢儀的靈敏度降低。如果操作正確,經(jīng)過清洗維護后的氦檢儀的靈敏度可比清洗前提高2~3倍。氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種,一種為常規(guī)檢漏,另一種為逆擴散檢漏。上海小型氦質(zhì)譜檢漏儀
氦檢儀機械泵故障及處理:1、機械泵不動作,檢查項目有:氦檢儀電源電壓是否正常,開關(guān)是否打開,繞組是否斷路或接地,電機是否過熱(泵冷卻后是否能啟動)。2、機械泵聲音異常,檢查油位是否合適,油質(zhì)是否變壞,油溫是否<10℃,油霧過濾器的出口有無氣體排出(如果無氣體排出,更換油霧過濾器)。氦檢儀質(zhì)譜室故障及處理:1、燈絲無法正常啟動,在確認機械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)后,若燈絲仍無法發(fā)射離子流,則需要更換離子源。若燈絲指示燈閃爍,檢查離子源航空插座與接線柱是否開路,若開路,需要更換燈絲,若不開路,檢查其接線柱與其他接頭是否導通,消除短路現(xiàn)象。2、本底信號處于雜亂無章的波動狀態(tài)且大小遠遠超過氦檢儀故障自身的本底噪聲,需要考慮放大器是否故障。質(zhì)譜室出現(xiàn)故障一般用戶無法解決,只需對故障進行定位,交由維修處理。南京自動氦質(zhì)譜檢漏儀工作原理氦檢儀為氣體工業(yè)名詞術(shù)語,用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。
在氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀真空泵工作的各個階段都要考慮檢漏工作,由于冶金、原子能、電子、宇航技術(shù)的發(fā)展,要求制造不同用途的高真空、超高真空,甚至極高真空設(shè)備。這些設(shè)備中的某些設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜,內(nèi)部有很多管道和傳動機構(gòu),有的體積很大,達幾十立方米,甚至數(shù)百立方米,連接管道和內(nèi)部管道的總長度可達幾公里,焊縫、氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀圈的總長度可達數(shù)十公里,必須投人很大力量對設(shè)備嚴格進行檢漏,所以且應(yīng)該從設(shè)備開始設(shè)計時起就考慮檢漏問題。如果等到進行安裝時再考慮檢漏問題就可能給氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀的檢漏工作帶來很大困難。
氦檢儀在真空度校驗中有什么應(yīng)用?氦是一種惰性氣體,不會對設(shè)備產(chǎn)生腐蝕,不與真空器件起化學反應(yīng),無毒,也不會污染環(huán)境,因此使用起來也十分安全。對容器環(huán)境和質(zhì)譜環(huán)境干擾較小,常作為泄漏氣體使用。在接有氦檢儀(即調(diào)整到只對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)的氣體剖析儀)的被檢容器上噴射該氣體,如果容器有漏孔,分析儀就會發(fā)出響聲,從而知道漏孔的位置和漏氣量。氦質(zhì)譜檢測泄漏技術(shù)是真空檢測領(lǐng)域中不可缺少的一項技術(shù),由于其檢測效率高、簡便易行、儀器反應(yīng)靈敏、準確度高、不受其它氣體干擾等特點,在電阻爐檢測泄漏中被普遍應(yīng)用。氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用領(lǐng)域:學校科研單位、真空制造、真空鍍膜、航空航天等。
氦檢儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數(shù)小,因而易通過漏孔并易擴散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設(shè)備,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應(yīng),從而可知漏孔所在及漏氣量大小。影響氦檢儀靈敏度的因素包括實際檢測條件、輔助真空系統(tǒng)以及操作人員的技術(shù)等多方面。當發(fā)現(xiàn)氦檢儀的靈敏度降低,而氦檢儀的工作真空度狀態(tài)良好,放大器的各級工作電壓也符合標準要求,就基本上可以確定氦檢儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴重污染。氦檢儀自動校準氦峰,自動調(diào)節(jié)零點,量程自動轉(zhuǎn)換,自動數(shù)據(jù)處理,可外接打印機。嘉興真空氦質(zhì)譜檢漏儀原理
氦質(zhì)譜檢漏儀是以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。上海小型氦質(zhì)譜檢漏儀
氦檢儀進展的集中體現(xiàn)在如下幾個方面:(1)便攜式:較近各國推出的小型便攜式氦檢儀不只靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。(2)高壓強下檢漏:檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右,對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。(3)自動化程度高:自動校準氦峰,自動調(diào)節(jié)零點,量程自動轉(zhuǎn)換,自動數(shù)據(jù)處理,可外接打印機。整機由微機控制,菜單選擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。(4)全無油的干式檢漏:有些國家生產(chǎn)的氦檢儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。(5)檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產(chǎn)的四極氦檢儀,質(zhì)量范圍很寬,不只可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。上海小型氦質(zhì)譜檢漏儀