晶圓探針卡的制造方法測(cè)試母板包含一個(gè)凹穴形成于下表且向內(nèi)凹入;填充緩沖物形成于凹穴內(nèi)吸收待測(cè)待測(cè)物外力;軟性電路基板位于測(cè)試母板朝向待測(cè)物面;垂直探針形成于軟件電路板上;絕緣材質(zhì)固定垂直探針;硬性件導(dǎo)電材質(zhì)包覆垂直探針加強(qiáng)其硬度,增強(qiáng)其抗形變力,進(jìn)而增加其使用壽命。具有制作容易及可快速提供晶圓型態(tài)組件的測(cè)試用的功效。其特征是:它至少是測(cè)試母板母板包含一凹穴形成于下表面且向內(nèi)凹入;填充緩沖物形成于所述凹穴內(nèi)吸收待測(cè)物外力;軟性電路基板位于所述測(cè)試母板,朝向待測(cè)物面;垂直探針形成于所述軟件電路板上;絕緣材質(zhì)固定所述垂直探針;硬性導(dǎo)電材質(zhì)包覆該垂直探針加強(qiáng)其硬度。近年來(lái)探針卡的相關(guān)研究:較早的探針卡發(fā)展與1969年被稱(chēng)為Epoxyring探針卡,而至今此型的探針卡仍然被使用著,此型的探針卡乃是以Epoxyring技術(shù),把十根至數(shù)百根的探針以手工的方式缺須依據(jù)測(cè)試的晶片焊點(diǎn)的位置,將探針安置于探針卡上。兩探針間的較小距離可做到125,而比較大測(cè)試焊點(diǎn)可高達(dá)500個(gè)。 矽利康測(cè)試探針卡供應(yīng)商。云南專(zhuān)業(yè)提供測(cè)試探針卡生產(chǎn)廠家
探針卡保管環(huán)境要求:1.探針卡的保管環(huán)境對(duì)針卡的壽命起到很大的作用,可以延長(zhǎng)針卡的使用周期;2.在無(wú)塵室里面提供專(zhuān)門(mén)的針卡保管架;3.潔凈室的溫濕度控制可根據(jù)貴公司的溫濕度標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行。探針卡注意事項(xiàng):1.嚴(yán)禁在濕度較大的地方存放;2.嚴(yán)禁在潔凈房以外的地方存放.3注意輕拿輕放,防止大震動(dòng)改變針卡的平坦度和排列。探針卡使用中出現(xiàn)的問(wèn)題和處理方法1.在較長(zhǎng)時(shí)間不使用后容易出現(xiàn)針前列面氧化,在檢測(cè)時(shí)會(huì)出現(xiàn)探針和ITO或PAD接觸不良的現(xiàn)象。處理方法:出現(xiàn)此現(xiàn)象時(shí)請(qǐng)不要連續(xù)加大OD,從探針臺(tái)上取下針卡利用sanding砂紙對(duì)針前列進(jìn)行輕微的打磨,避免搭理使針的平坦度和排列變形。2.如果潔凈房的濕度相對(duì)較大時(shí),水份會(huì)侵入EPOXY的內(nèi)部而且不易散發(fā)出去,再生產(chǎn)測(cè)試前會(huì)出現(xiàn)空測(cè)短路現(xiàn)象。處理方法:出現(xiàn)此現(xiàn)象時(shí),請(qǐng)吧針卡放入OVEN里面溫度設(shè)為80°時(shí)間設(shè)為15分鐘,結(jié)束后用顯微鏡檢查針尖部分是否有異物或灰塵附著,如沒(méi)有異常就可以進(jìn)行作業(yè)了。 河南有名測(cè)試探針卡公司專(zhuān)業(yè)提供測(cè)試探針卡多少錢(qián)。
IC探測(cè)卡又稱(chēng)為探針卡(probecard),用來(lái)測(cè)試IC芯片(wafer)良品率的工具,是IC生產(chǎn)鏈中不可或缺的重要一環(huán)。探針卡是一種非常精密的工具,經(jīng)由多道非常小心精密的生產(chǎn)步驟而完成。為使您的針卡擁有比較高的使用效能,請(qǐng)仔細(xì)閱讀以下詳細(xì)說(shuō)明,并小心使用、定期的維護(hù)。一.探針卡的存放:1,請(qǐng)勿將探針卡放置于過(guò)高或過(guò)低于常溫的環(huán)境下。由于膨脹系數(shù)的不同,過(guò)高或過(guò)低的溫度可能會(huì)使您的探針卡受到損壞。2,請(qǐng)勿將探針卡放置于潮濕的環(huán)境下。潮濕的環(huán)境可能使您的探什卡產(chǎn)生低漏電、高泄漏電流等不良情況。3,請(qǐng)勿將探針卡放置于具有腐蝕性化學(xué)品的環(huán)境下。4,請(qǐng)務(wù)必將探針卡放置于常溫、干燥、清潔的環(huán)境下,并以堅(jiān)固的容器保存。避免劇烈的震動(dòng),以免造成針尖位置的偏移。二.探針卡的一般維修:通常一張?zhí)结樋ㄐ枰幸?guī)律性地維護(hù)方能確保它達(dá)到預(yù)期的使用效果。每張?zhí)结樋s使用25,000次時(shí)就需要檢查它的位置基準(zhǔn)和水平基準(zhǔn)值,約使用250,000次時(shí)需要重新更換所有探針。一般的標(biāo)準(zhǔn)維護(hù)程序包括化學(xué)清潔(探針卡在使用一段時(shí)間后針尖上會(huì)附著些污染物,如外來(lái)碎片、灰塵等。),調(diào)整水平其及位置基準(zhǔn)等。在每次取下探針卡作調(diào)整或清潔后。
測(cè)試探針材料的選用,必須搭配芯片焊區(qū)或凸點(diǎn)材質(zhì)來(lái)決定,一般常見(jiàn)的測(cè)試探針金屬選用鎢、鈸銅、鎢錸及鈀合金等。鎢具有較高的度,可以輕易刺破焊區(qū)與凸點(diǎn)氧化鋁層,降低接觸阻抗,但具有較強(qiáng)的破壞性,不適用于薄膜的測(cè)試場(chǎng)合;鈹銅合金一般應(yīng)用在鍍金的芯片焊區(qū)或凸點(diǎn),提供比鎢更低的接觸阻抗,但是探針硬度不如鎢離,因此磨耗比較快;至于鈀合金性質(zhì)類(lèi)似于鈹銅合金,有比鎢更低的接觸阻抗,比較大的優(yōu)點(diǎn)是可以用電鍍方式來(lái)制作探針。其中鎢錸合金(97%-3%)的接觸電阻比鎢稍高,抗疲勞性相似。但是,由于鎢錸合金的晶格結(jié)構(gòu)比鎢更加緊密,其測(cè)試探針頂端的平面更加光滑。因此,這些測(cè)試探針頂端被污染的可能性更小,更容易淸潔,其接觸電阻也比鎢更加穩(wěn)定。所以鎢銖合金是一種更佳的選擇。選擇測(cè)試探針卡生產(chǎn)廠家。
鍵合焊區(qū)的損壞與共面性有關(guān),共面性差將導(dǎo)致探針卡的過(guò)度深入更加嚴(yán)重,會(huì)產(chǎn)生更大的力并在器件鍵合焊區(qū)位置造成更大的劃痕。共面性由兩部分決定:彈簧探針的自然共面性(受與晶圓距離的影響)以及探針卡和客戶系統(tǒng)的相關(guān)性。傾斜造成斜率X、距離Y。當(dāng)測(cè)試300mm晶圓時(shí),傾斜程度不變但距離卻加倍了,就會(huì)產(chǎn)生共面性問(wèn)題。由于傾斜造成探針卡部分更靠近晶圓,而隨著每個(gè)彈簧向系統(tǒng)中引入了更多的力,造成的過(guò)量行程將更大,產(chǎn)生更大的劃痕,與此同時(shí)部分由于傾斜而遠(yuǎn)離的部分還會(huì)有接觸不良的問(wèn)題,留下的劃痕也幾乎不可見(jiàn)??紤]到大面積的300mm晶圓,以及需要進(jìn)行可重復(fù)的接觸測(cè)試,將探針卡向系統(tǒng)傾斜便相當(dāng)有吸引力。自動(dòng)調(diào)節(jié)的共面系統(tǒng)降低了較大力造成損壞的可能,并允許測(cè)試設(shè)備與不同系統(tǒng)之間的兼容。根據(jù)測(cè)試探針制作流程不同可分成傳統(tǒng)機(jī)械加工與微機(jī)電制造工藝兩部分,后者具有更大優(yōu)勢(shì),可以改善測(cè)試探針微細(xì)化、共面度、精度等問(wèn)題。目前市售垂直式探針卡,均無(wú)法達(dá)到偵測(cè)每根測(cè)試探針力量的功能,測(cè)試探針垂直式排列,無(wú)法由上而下觀測(cè)測(cè)試探針接觸情形,改善的方法可借助探針力量回饋或改良影像辨識(shí)系統(tǒng),以確保所有探針的接觸狀況都是理想的。
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近年來(lái),我們國(guó)家的經(jīng)濟(jì)實(shí)力以及建設(shè)事業(yè)實(shí)力不斷增強(qiáng),與發(fā)達(dá)國(guó)家的差距也越來(lái)越小。這些都離不開(kāi)探針卡等各行各業(yè)產(chǎn)品企業(yè)的不懈努力。同時(shí),市場(chǎng)還在不斷發(fā)展,探針卡等產(chǎn)品行業(yè)更需不斷進(jìn)步以更好地推進(jìn)經(jīng)濟(jì)進(jìn)步。時(shí)間是在分分秒秒的流逝的,市場(chǎng)也是在不斷地變化的。探針卡等產(chǎn)品企業(yè)雖然在現(xiàn)今看來(lái)已經(jīng)取得不錯(cuò)的成績(jī),但是市場(chǎng)是瞬息萬(wàn)變的,探針卡等在內(nèi)的各行各業(yè)還是需要不斷的創(chuàng)新變動(dòng),以市場(chǎng)多變的市場(chǎng)轉(zhuǎn)變。人都說(shuō)商海如煙,你看不清市場(chǎng)會(huì)如何變化,能做的只是打好自己的基礎(chǔ),另自己在暴風(fēng)雨來(lái)臨之時(shí)也有足夠的氣力去站穩(wěn)。探針卡等產(chǎn)品企業(yè)的發(fā)展同樣如此,需要不斷的創(chuàng)新和變動(dòng)來(lái)加強(qiáng)競(jìng)爭(zhēng)力。云南專(zhuān)業(yè)提供測(cè)試探針卡生產(chǎn)廠家
蘇州矽利康測(cè)試系統(tǒng)有限公司正式組建于2009-10-13,將通過(guò)提供以探針卡,探針,設(shè)備等服務(wù)于于一體的組合服務(wù)。蘇州矽利康經(jīng)營(yíng)業(yè)績(jī)遍布國(guó)內(nèi)諸多地區(qū)地區(qū),業(yè)務(wù)布局涵蓋探針卡,探針,設(shè)備等板塊。隨著我們的業(yè)務(wù)不斷擴(kuò)展,從探針卡,探針,設(shè)備等到眾多其他領(lǐng)域,已經(jīng)逐步成長(zhǎng)為一個(gè)獨(dú)特,且具有活力與創(chuàng)新的企業(yè)。蘇州矽利康始終保持在儀器儀表領(lǐng)域優(yōu)先的前提下,不斷優(yōu)化業(yè)務(wù)結(jié)構(gòu)。在探針卡,探針,設(shè)備等領(lǐng)域承攬了一大批高精尖項(xiàng)目,積極為更多儀器儀表企業(yè)提供服務(wù)。