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MEMS即微機(jī)電系統(tǒng)(MicroelectroMechanicalSystems),是MEMS傳感器在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域。經(jīng)過四十多年的發(fā)展,已成為世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一。它涉及電子、機(jī)械、材料、物理學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)等多種學(xué)科與技術(shù),具有廣闊的應(yīng)用前景。MEMS傳感器是采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器。與傳統(tǒng)的傳感器相比,它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實(shí)現(xiàn)智能化的特點(diǎn)。同時,在微米量級的特征尺寸使得它可以完成某些傳統(tǒng)機(jī)械傳感器所不能實(shí)現(xiàn)的功能。紫外線傳感器檢測紫外光強(qiáng)度,在環(huán)境監(jiān)測和殺菌設(shè)備中廣泛應(yīng)用。浙江光柵位移傳感器
傳感器的基本特性傳感器的基本特性是指傳感器的輸入-輸出關(guān)系特性,是傳感器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)參數(shù)作用關(guān)系的外部特性表現(xiàn)。不同的傳感器有不同的內(nèi)部結(jié)構(gòu)參數(shù),決定了它們具有不同的外部特性。傳感器所測量的物理量基本上有兩種形式:穩(wěn)態(tài)(靜態(tài)或準(zhǔn)靜態(tài))和動態(tài)(周期變化或瞬態(tài))。前者的信號不隨時間變化(或變化很緩慢);后者的信號是隨時間變化而變化的。傳感器所表現(xiàn)出來的輸入-輸出特性存在靜態(tài)特性和動態(tài)特性。傳感器的靜態(tài)特性是它在穩(wěn)態(tài)信號作用下的輸入-輸出關(guān)系。靜態(tài)特性所描述的傳感器的輸入-輸出關(guān)系式中不含時間變量。衡量傳感器靜態(tài)特性的主要指標(biāo)是線性度、靈敏度、分辨率、遲滯、重復(fù)性和漂移。浙江傳感器哪家好千億體量的傳感器“搖錢樹”,為啥中國人不熱衷?
傳感器的發(fā)展歷史,作為現(xiàn)代科技的前沿技術(shù),傳感器被認(rèn)為是現(xiàn)代信息技術(shù)的三大支柱之一,是目前世界公認(rèn)的相當(dāng)有有發(fā)展前途的高技術(shù)產(chǎn)業(yè)。美國早在80年代初,成立國家技術(shù)小組(BGT)幫助相關(guān)機(jī)構(gòu)領(lǐng)導(dǎo)各大企業(yè)的傳感器技術(shù)開發(fā)工作;日本將傳感器技術(shù)列為國家重點(diǎn)發(fā)展6大中心技術(shù)之一;英、法、德等國家高技術(shù)領(lǐng)域發(fā)展規(guī)劃中,均將傳感器列為重點(diǎn)發(fā)展技術(shù)并將其科研成果和制造工藝與裝備列入國家中心技術(shù);2014年《福布斯》認(rèn)為今后幾十年內(nèi),影響和改變著世界經(jīng)濟(jì)格局和人們生活方式的會議科技領(lǐng)域,傳感器名列會議領(lǐng)域頭部。
紅外氣體傳感器是一種基于不同氣體分子的近紅外光譜選擇吸收特性,利用氣體濃度與吸收強(qiáng)度關(guān)系(朗伯-比爾Lambert-Beer定律)鑒別氣體組分并確定其濃度的氣體傳感裝置。原理:由不同原子構(gòu)成的分子會有獨(dú)特的振動、轉(zhuǎn)動頻率,當(dāng)其受到相同頻率的紅外線照射時,就會發(fā)生紅外吸收,從而引起紅外光強(qiáng)的變化,通過測量紅外線強(qiáng)度的變化就可以測得氣體濃度。需要說明的是,振動、轉(zhuǎn)動是兩種不同的運(yùn)動形態(tài),這兩種運(yùn)動形態(tài)會對應(yīng)不同的紅外吸收峰,振動和轉(zhuǎn)動本身也有多樣性,因此一般情況下一種氣體分子會有多個紅外吸收峰。根據(jù)單一的紅外吸收峰位置只能判定氣體分子中有什么基團(tuán),精確判定氣體種類需要看氣體在中紅外區(qū)所有的吸收峰位置即氣體的紅外吸收指紋。在已知環(huán)境條件下,根據(jù)單一紅外吸收峰的位置可以大致判定氣體的種類。由于在零下273攝氏度即零度以上的一切物質(zhì)都會產(chǎn)生紅外幅射,紅外幅射與溫度正相關(guān),因此,同催化元件一樣,為消除環(huán)境溫度變化引起的紅外幅射的變化,紅外氣體傳感器中會由一對紅外探測器構(gòu)成液位傳感器利用靜壓或超聲波原理,實(shí)時監(jiān)測容器內(nèi)液體的高度位置。
物理傳感器應(yīng)用的是物理效應(yīng),將被測信號量的微小變化轉(zhuǎn)換成電信號,諸如壓電效應(yīng),磁致伸縮現(xiàn)象,離化、極化、熱電、光電、磁電等效應(yīng)?;瘜W(xué)傳感器則是以化學(xué)吸附、電化學(xué)反應(yīng)等現(xiàn)象為因果關(guān)系的傳感器。近年來,出現(xiàn)了利用各種生物特性做成的生物型傳感器,用以檢測與識別生物體內(nèi)化學(xué)成分。例如,物理傳感器有:聲、力、光、磁、溫、濕、電、射線等等;化學(xué)傳感器有:各種氣敏、酸堿PH值、離子化、極化、化學(xué)吸附、電化學(xué)反應(yīng)等現(xiàn)象等等;生物傳感器有:酶電極和介體生物電等等。在產(chǎn)品用途和形成過程中的因果關(guān)系互相咬合,既不能劃分到物理類,也不能劃分為化學(xué)類,難以嚴(yán)格劃分。很多傳感器都具有兩棲屬性,你知道嗎?杭州電拉傳感器
汽車上常用傳感器的作用與識別?浙江光柵位移傳感器
傳感器在工業(yè)領(lǐng)域的應(yīng)用據(jù)統(tǒng)計,我國從事傳感器生產(chǎn)和研發(fā)的企業(yè)已有1700多家,其中有50多家從事微系統(tǒng)研制、生產(chǎn)。目前,工業(yè)領(lǐng)域在我國傳感器應(yīng)用占比更多,而汽車電子和通信電子應(yīng)用市場發(fā)展更快在工業(yè)自動化領(lǐng)域,傳感器作為機(jī)械的觸覺,是實(shí)現(xiàn)工業(yè)自動檢測和自動控制的首要環(huán)節(jié)。和消費(fèi)電子等民用領(lǐng)域相比,工業(yè)環(huán)境對傳感器的要求更高,在其精度、穩(wěn)定性、抗震動和抗沖擊性方面要求更為苛刻。傳感器不僅需要需實(shí)現(xiàn)實(shí)時通信,還要足夠精細(xì),基本能滿足工業(yè)控制要確保零誤差的需求。傳感器應(yīng)用在不同的工業(yè)領(lǐng)域,對其能耐受的溫度、濕度、酸堿度也有不同的個性化要求,功耗和尺寸也會受到嚴(yán)格限制。浙江光柵位移傳感器