主營產(chǎn)品: 微納加工技術(shù)服務(wù)|真空鍍膜技術(shù)服務(wù)|紫外光刻技術(shù)服務(wù)|材料刻蝕技術(shù)服務(wù)
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三五族材料的干法刻蝕工藝需要根據(jù)不同的材料類型、結(jié)構(gòu)形式、器件要求等因素進(jìn)行優(yōu)化和調(diào)節(jié)。一般來說,需要考慮以下幾個方面:刻蝕氣體:刻蝕氣體的...
氧化硅刻蝕制程是一種在半導(dǎo)體制造中常用的技術(shù),它可以實現(xiàn)對氧化硅薄膜的精確形貌控制,以滿足不同的器件設(shè)計和功能要求。氧化硅刻蝕制程的主要類型...
深硅刻蝕設(shè)備在微機電系統(tǒng)(MEMS)領(lǐng)域也有著重要的應(yīng)用,主要用于制造傳感器、執(zhí)行器、微流體器件、光學(xué)開關(guān)等。其中,傳感器是指用于檢測物理量...
這種方法的優(yōu)點是刻蝕均勻性好,刻蝕側(cè)壁垂直,適合高分辨率和高深寬比的結(jié)構(gòu)。缺點是刻蝕速率慢,選擇性低,設(shè)備復(fù)雜,成本高。混合法刻蝕:結(jié)合濕法...
廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微納加工平臺,面向半導(dǎo)體光電子器件、功率電子器件、MEMS、生物芯片等前沿領(lǐng)域,致力于打造公益性、開放性、支撐性樞紐中心。平臺擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備,建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線,加工尺寸覆蓋2-6英寸(部分8英寸),同時形成了一支與硬件有機結(jié)合的專業(yè)人才隊伍。平臺當(dāng)前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù),面向國內(nèi)外高校、科研院所以及企業(yè)提供開放共享,為技術(shù)咨詢、創(chuàng)新研發(fā)、技術(shù)驗證以及產(chǎn)品中試提供技術(shù)支持。