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半導體行業(yè)的廢水中含有大量有機物和金屬離子，需要進行適當的廢水處理。常見的廢水處理技術包括生物處理、化學沉淀、離子交換和膜分離等。這些技術可...
在半導體器件加工中，氧化和光刻是兩個緊密相連的步驟。氧化是在半導體表面形成一層致密的氧化膜，用于保護器件免受外界環(huán)境的影響，并作為后續(xù)加工步...
廣東省科學院半導體研究所微納加工平臺，面向半導體光電子器件、功率電子器件、MEMS、生物芯片等前沿領域，致力于打造***的公益性、開放性、支撐性樞紐中心。平臺擁有半導體制備工藝所需的整套儀器設備，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸），同時形成了一支與硬件有機結合的專業(yè)人才隊伍。平臺當前緊抓技術創(chuàng)新和公共服務，面向國內外高校、科研院所以及企業(yè)提供開放共享，為技術咨詢、創(chuàng)新研發(fā)、技術驗證以及產品中試提供技術支持。
