“精確度”是探測儀器基本的指針,涵蓋定位、溫度及生產(chǎn)率等三個層面。首先,必須能穩(wěn)定、精確地探測到小型墊片,載臺系統(tǒng)亦須精確、能直接驅(qū)動晶圓托盤,并在晶圓移動的過程中準(zhǔn)確地將晶圓和晶圓對位;其次,必須具備動態(tài)監(jiān)控機制,確保所挾帶的空氣以監(jiān)控溫度、掌握可靠度和穩(wěn)定...
有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺的故障,而工作臺故障有許多是對其維護保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的,所以對工作臺的維護與保養(yǎng)就顯得尤為重要?,F(xiàn)在只對自動探針測試臺x-y工作臺的維護與保養(yǎng)作一介紹。平面電機x-y步進工作臺的維護與保養(yǎng):平面電機由定...
探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。探針臺分類:探針臺從操作上來區(qū)分有:手動,半自動,全自動。從功能上來區(qū)分有:溫控探針臺,真空探...
定子在加工過程中生產(chǎn)廠家根據(jù)不同的設(shè)計要求如分辨力等,用機加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個線槽,線槽間的距離即稱為平面電機的齒距,而定子則按不同的細(xì)分控制方式,按編制好的運行程序借助于平面定子和動子之間的氣墊才能實現(xiàn)步進運動。對定子的損傷將直接影響工...
探針臺是用于檢測每片晶圓上各個芯片電信號,保證半導(dǎo)體產(chǎn)品品質(zhì)的重要檢測設(shè)備。因為我們需要知道器件真正的性能,而不是封裝以后的,雖然可以去嵌,但還是會引入一些誤差和不確定性。因為我們需要確定哪些芯片是好的芯片來降低封裝的成本并提高產(chǎn)量。因為有時我們需要進行自動化...
晶圓測試基本的一點就是:晶圓測試必須能夠辨別芯片的好壞,并使合格芯片繼續(xù)進入下面的封裝工藝。為了確保芯片功能和成品率的有效測試,封裝廠商和設(shè)備制造者需要不斷探索,進而找到高精度、高效率和低成本的測試方法,并運用新的組裝工藝要求對晶圓片進行探測,這些要求將引起設(shè)...
晶圓是制作硅半導(dǎo)體積體電路所用的硅晶片,其原始材料是硅。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種,然后慢慢拉出,形成圓柱形的單晶硅。硅晶棒在經(jīng)過研磨,拋光,切片后,形成硅晶圓片,也就是晶圓。半導(dǎo)體工業(yè)對于晶圓表面缺陷檢測的要求,一般是要求高效準(zhǔn)確,能夠捕捉有效缺陷,...
探針臺工作臺由兩個步進電機分別驅(qū)動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動,導(dǎo)向部分采用精密直線滾動導(dǎo)軌。由于運動部分全部采用滾動功能部件,所以具有傳動效率高、摩擦力矩小,使用壽命長等特點。這種結(jié)構(gòu)的工作臺應(yīng)放置在溫度23±3℃,濕度≤70%,無有害氣體的環(huán)境中,...
以往如果需要測試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態(tài),測試人員一般會采用表筆去點測。隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展,對于精密微小(納米級)的微電子器件,表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應(yīng)運而生,利用高精度微探針將被測原件...
錸鎢探針指的是采用含錸3%的錸鎢合金絲打造而成的探針。中鎢在線提供好的錸鎢探針產(chǎn)品。鎢作為一種硬度強、耐高溫的金屬材料,常被用于燈絲、電極、熱電偶或者探測針等等,但鎢本身存在易脆和可塑性低的問題,這減小了其使用過程中的壽命。為降低鎢的脆性以及提高其可塑性,傳統(tǒng)...
探針臺為研究和工程實驗室在測試運行期間移動通過多個溫度點時,提供前所未有的自動化水平。這種新技術(shù)使探針系統(tǒng)能夠感知,學(xué)習(xí)和反應(yīng)以多溫度和特征的極其復(fù)雜的環(huán)境。隨著集成電路產(chǎn)品不斷進入汽車應(yīng)用等更高發(fā)熱量的環(huán)境,在越來越寬的溫度范圍內(nèi)表征器件性能和耐用性變得越來...
下面我們來簡單講講選擇探針臺設(shè)備時需要注意事項:一、機械加工精度;二、電學(xué)量測精度三、環(huán)境要求,如:真空環(huán)境、高溫、低溫環(huán)境、磁場環(huán)境及其它。四、光學(xué)成像;五、自動化控制精度??傮w而言,具有清晰并高景深的微觀成像,再通過準(zhǔn)確的探針裝置對探針進行多方向移動,對準(zhǔn)...
探針臺市場逐年增長:半導(dǎo)體測試對于良率和品質(zhì)控制至關(guān)重要,是必不可少的環(huán)節(jié),主要涉及兩種測試(CP測試、FT測試等)、三種設(shè)備(探針臺、測試機、分選機等)。根據(jù)半導(dǎo)體產(chǎn)線投資配置規(guī)律,測試設(shè)備在半導(dǎo)體設(shè)備投資的占比約為8%,次于晶圓制造裝備,其中測試機、分選機...
高精度探針臺:目前世界出貨量的型號吸收了很新的工藝科技例如OTS,QPU和TTG相關(guān)技術(shù),這種全新的高精度系統(tǒng)為下一代小型化的設(shè)計及多種測試條件提供保證。特性1:OTS-近的位置對正系統(tǒng)(光學(xué)目標(biāo)對準(zhǔn))OTS通過對照相機相對位置的測量來保證其位置的精度。這是非...
探針臺為研究和工程實驗室在測試運行期間移動通過多個溫度點時,提供前所未有的自動化水平。這種新技術(shù)使探針系統(tǒng)能夠感知,學(xué)習(xí)和反應(yīng)以多溫度和特征的極其復(fù)雜的環(huán)境。隨著集成電路產(chǎn)品不斷進入汽車應(yīng)用等更高發(fā)熱量的環(huán)境,在越來越寬的溫度范圍內(nèi)表征器件性能和耐用性變得越來...
隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展,對于精密微小(納米級)的微電子器件,表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應(yīng)運而生,利用高精度微探針將被測原件的內(nèi)部訊號引導(dǎo)出來,便于其電性測試設(shè)備(不屬于本機器)對此測試、分析。探針臺執(zhí)行機構(gòu)由探針座和探針桿兩部分組成...
光學(xué)平臺普遍的運用在精密實驗領(lǐng)域中,隨著線緊的設(shè)備和工藝發(fā)展,使納米量級的測量成為可能,這對應(yīng)用系統(tǒng)中不同元件相關(guān)配合精度和穩(wěn)定性提出了級高的要求,為了提高穩(wěn)定性,我們可以從以下幾個方面來著手。外界的振源來源很多,比如地面的自振,各種聲音等等。但是影響大的是各...
不要把精密大理石檢測平臺放在磁場附近,例如磨床的磁性作業(yè)臺上,避免感磁.發(fā)現(xiàn)有不正常景象時,如表面不平、有毛刺、有銹斑以及刻度禁絕、尺身曲折變形、活動不靈活等等,使用者不應(yīng)當(dāng)自行拆修,更不應(yīng)該自行用榔頭敲、銼刀銼、砂布打磨等粗糙方法修理,避免反而增大誤差。發(fā)現(xiàn)...
光學(xué)隔振平臺普遍運用于各個領(lǐng)域中,應(yīng)用對系統(tǒng)中不同元件相關(guān)配合精度和穩(wěn)定性提出了極高的要求,那么光學(xué)隔振平臺有哪些特點來滿足使用需求呢?1、優(yōu)異的隔振性能:內(nèi)置精密空氣彈簧隔振系統(tǒng),具備出色的固有頻率,對多個方向的振動特別是垂直方向有著良好衰減效果,避免外界振...
理想的剛性體是不存在的?,F(xiàn)實中的系統(tǒng)只能近似的認(rèn)為是剛性的,因此,其穩(wěn)定性就要受到多方面因素的影響。例如外界的振源,系統(tǒng)的重量,光學(xué)平臺的結(jié)構(gòu)等等。為了提高系統(tǒng)的穩(wěn)定性,我們可以從以下的幾個方面來著手。外界的振源來源很多,比如地面的自振,各種聲音等等。但是影響...
光學(xué)實驗平臺普遍使用的振動響應(yīng)傳遞函數(shù)為柔量。在恒定(靜態(tài))力的情況下,柔量可以定義為線性或角度錯位與所施加外力的比值。在動態(tài)變化力(振動)的情況下,柔量則可以定義為受激振幅(角度或線性錯位)與振動力振幅的比值。平臺的任意撓度都可以通過安裝在平臺表面的部件相對...
目前精密光學(xué)儀器產(chǎn)品種類繁多,是為了在重復(fù)測量過程中對產(chǎn)品的每一步光路進行精確計算,保證一切不可修改并可重復(fù)執(zhí)行的數(shù)據(jù)上報數(shù)據(jù),精密光學(xué)儀器的工作原理主要是通過光學(xué)儀器的光學(xué)原理實現(xiàn)的。光學(xué)儀器經(jīng)受適當(dāng)?shù)姆瓷涔夂头瓷浣?獲得光路模擬圖像,這些圖像是光學(xué)儀器可讀...
使用脈沖錘對平臺或面包板的表面施加一個已測量的外力,并將一個傳感器貼合在平臺或面包板表面對合成振動進行測量。探測器發(fā)出的信號通過分析儀進行讀取,并用于產(chǎn)生頻率響應(yīng)譜(即柔量曲線)。在光學(xué)平臺的研發(fā)過程中,對平臺表面上很多點的柔量曲線進行記錄;但是,平臺四個角上...
平臺阻尼需要進行各種測試,對其厚度/面積的比值進行優(yōu)化。更大面積的平臺(邊長至少為10英尺或3米)具有厚度為12.2英寸(310毫米)的標(biāo)準(zhǔn)厚度,這樣可以提高穩(wěn)定性。對于更小面積的平臺,厚度可以是8.3英寸(210毫米)或12.2英寸(310毫米),也可定制更...
光學(xué)平臺普遍的運用在精密實驗領(lǐng)域中,隨著線緊的設(shè)備和工藝發(fā)展,使納米量級的測量成為可能,這對應(yīng)用系統(tǒng)中不同元件相關(guān)配合精度和穩(wěn)定性提出了級高的要求,為了提高穩(wěn)定性,我們可以從以下幾個方面來著手。外界的振源來源很多,比如地面的自振,各種聲音等等。但是影響大的是各...
自動化加工系統(tǒng)平臺和面包板的特殊之處是采用自動軌道機械啞光表面加工,比老舊的平臺產(chǎn)品更加平滑、平整。這些平臺經(jīng)過改善的表面拋光處理后,表面平整度在1平方米(11平方英尺)內(nèi)可達±0.1毫米(±0.004英寸),為安裝部件提供了接觸表面,不需要使用磨具對頂面進行...
光學(xué)平板采用好的鋁材制造。與鋼材相比,鋁材硬重比大,有一定的抗振性,溫度傳導(dǎo)性好,不良環(huán)境中溫度形變小,陽極氧化后美觀,耐磨,但是鋁材的剛性較差,無法承載較大的重量。因此一般用于承載較小的系統(tǒng)種。而且不宜懸空支撐。隨著眾多研究機構(gòu)對光學(xué)平臺質(zhì)量要求的不斷提高和...
光學(xué)平臺主要的一個目標(biāo)是消除平臺上任意兩個以上部件之間的相對位移。光學(xué)平臺重要特性為其共振頻率。共振頻率和振幅是負(fù)相關(guān)的,因此共振頻率應(yīng)盡可能地增大,從而將振動強度小化。平臺和面包板會在一個特定的頻率范圍內(nèi)發(fā)生振動。為了改善性能,每種尺寸的平臺和面包板的阻尼效...
簡單的光學(xué)平臺保養(yǎng)說明書:如果光學(xué)平臺環(huán)境溫度過高,溫差過大,出現(xiàn)玻璃收縮,也可以立即用油封然后用砂紙輕輕磨平不說了,想要光學(xué)顯微鏡繼續(xù)吊打大家,首先要把離鏡頭越近的光學(xué)玻璃考慮在內(nèi),切勿安裝在鏡頭上,可以安裝在玻璃的側(cè)面,再做檢查。光學(xué)玻璃的結(jié)構(gòu)強度不允許受...
用顯微鏡對圖像進行高度放大的成像系統(tǒng),顯微鏡和照像物鏡共同決定了相紙上每點的圖像。如果,在曝光過程中光學(xué)系統(tǒng)的每一部分(照明系統(tǒng)、樣品、顯微鏡光學(xué)系統(tǒng)、成像光學(xué)系統(tǒng)和相紙平面)都精確地一同移動,不存在相對位移,成像也會很清晰。如果樣品相對物鏡產(chǎn)生了運動,則像就...