在深亞微米(0.15μm及以下)集成電路制造中，后段工藝日趨重要，為降低阻容遲滯(RCDelay)，保證信號傳輸，減小功耗，有必要對后段工藝進(jìn)行改進(jìn)，Via阻擋層MOCVD(Metal-organicChemicalVaporDeposition，金屬有機物化...

通過多弧離子鍍沉積技術(shù)制備了TiN和TiVN涂層，對比了兩種涂層在不同工況下的摩擦磨損性能和切削性能，并指出影響刀具涂層服役性能的主要因素。結(jié)果表明，V元素?fù)诫s有效提高了TiN涂層的硬度和結(jié)合力、減小了TiN涂層的摩擦因數(shù)和低溫下的磨損率，但V容易氧化的特性導(dǎo)...

目的比較分析CrN過渡層與不同膜厚對DLC薄膜性能的影響,以及涂層模具的成型特性。方法采用PECVD方法在718合金試樣及模具表面沉積Cr N/DLC復(fù)合膜,預(yù)設(shè)Cr N過渡層厚度為0.2μm,DLC膜層厚度為0.5～1.2μm。采用無損設(shè)備對不同沉積時間...

40、氮化鈦 ( Ti N)薄膜獨特的性能不僅在機械工業(yè)和商品的表面裝飾行業(yè)上有著適合的應(yīng)用 ,而且在臨床制品及人工替換領(lǐng)域也展示了潛在的應(yīng)用前景 .研究利用大功率偏壓電源的多弧離子鍍技術(shù) ,采用工具鍍工藝 ,在 Ti- 6 Al- 4V合金材料表面制備了...

1.類石墨碳是含氫類金剛石中的接著一類，它具有類似于石墨的特性，sp2在含量較高在百分之七十左右?，F(xiàn)代，類金剛石碳膜因同時具有高硬度和低摩擦系數(shù)而引起較為關(guān)注,然而,它與工業(yè)中常用的鐵基材料存在“觸媒效應(yīng)”,即,鍍的刀具在加工黑色金屬的過程中高硬度砂鍵會轉(zhuǎn)化成...

采用物物理相沉積法(PVD)在45鋼基體表面沉積了TiN和TiAlN涂層.用3種載荷在摩擦磨損試驗機上分別對45鋼、TiN和TiAlN涂層進(jìn)行了摩擦試驗,用5種載荷分別對3種試樣進(jìn)行了磨損試驗,用表面輪廓檢測儀檢測了3種試樣的體積磨損,用劃痕儀測量了涂層的臨界...

1. 類金剛石碳膜（Diamond-like carbon films，簡稱DLC膜）作為新型的硬質(zhì)薄膜材料具有一系列優(yōu)異的性能，如高硬度、高耐磨性、高熱導(dǎo)率、高電阻率、良好的光學(xué)透明性、化學(xué)惰性等，可較為用于機械、電子、光學(xué)、熱學(xué)、聲學(xué)、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域，具有良好...

在鎂碳磚中添加一定量的TiN，可以明顯提高鎂碳磚的抗渣侵蝕性。1)氮化鈦是優(yōu)良的結(jié)構(gòu)材料，可用于蒸汽噴射推進(jìn)器和火箭等。在軸承和密封圈領(lǐng)域也大量使用氮化鈦合金，強調(diào)了氮化鈦的應(yīng)用效果。2)基于氮化鈦的優(yōu)異導(dǎo)電性，可以制作各種電極和點接觸等材料。3)氮化鈦具有高...

1. 為提高船用低速柴油機柱塞的耐磨性和柱塞偶件使用壽命，采用離子鍍技術(shù)與多弧磁控耦合鍍膜技術(shù)分別在柱塞上涂覆了TiN涂層和DLC涂層。這2種涂層晶體生長良好、結(jié)構(gòu)連續(xù)致密，均未出現(xiàn)分層、開裂及剝離的現(xiàn)象，DLC涂層相對光滑，粗糙度Ra為0.10μm,而TiN...

DLC涂層在模具上的應(yīng)用①沖壓成形模具：凸模、凹模、精密沖裁、壓印成形零件等。②注塑成形模具：模腔和型芯、頂桿及各類鑲件等。③半導(dǎo)體模具：引腳成形模具的刀口件、封裝模具的成形鑲件和鑲塊等。④其他零部件：軸類、齒輪、軸承、凸輪和從動滾輪等。DLC涂層具有高硬度、...

DLC涂層的主要性能1、力學(xué)性能a、硬度及彈性模量。不同的沉積方法制備的DLC膜硬度及彈性模量差異很大，用磁過濾陰極電弧法可以制備出硬度達(dá)到甚至超過金剛石的DLC膜，用陰極電弧法制備的DLC膜比較高硬度可達(dá)50GPa以上，而用離子源結(jié)合非平衡磁控濺射法制備的D...

TiN 中文名稱氮化鈦薄膜可以減輕切削刃邊材料的附著，提高切削力，改善工件的表面質(zhì)量，成倍增加切削工具的使用壽命和耐用度。因此，TiN 薄膜被適合用于低速切削工具、高速鋼切削、木板切削刀具和鉆頭的涂覆上。另外，TiN也是磨損部件的理想耐磨涂層，特別是由于其低的...

ＴｉＮ涂層的耐腐蝕性能進(jìn)行了試驗研究。除采用幾種較弱的腐蝕介質(zhì)外，還在Ｈ２ＳＯ４溶液、ＨＣｌ溶液中對ＴｉＮ涂層樣品做了浸泡試驗。所有結(jié)果表明：涂層后的樣品。其耐腐蝕性能比未涂層樣品提高幾倍至十幾倍。同時，在ＮａＣｌ溶液、人工汗液和酸溶液中，分別測定了涂層和未涂...

1. 類金剛石(DLC)薄膜由于其優(yōu)異的減摩耐磨性以及良好的生物相容性被引入到人工關(guān)節(jié)材質(zhì)中。該文綜述了DLC薄膜在人工關(guān)節(jié)摩擦副表面改性的研究現(xiàn)狀,包括DLC薄膜的分類、制備方法及內(nèi)應(yīng)力。介紹了提高DLC膜基結(jié)合力的方法及DLC薄膜生物相容性的研究進(jìn)展。接著...

黃金能保持光澤如初,經(jīng)久不變的寶貴特性;自古以來做為貨幣使用,并成為財富和永恒的象征.因而,在人們心中喚起深刻的美感,雍雅華貴,燦爛眩目的金色,成為傳統(tǒng)的普遍受人偏愛的色彩.為了裝飾的目的,人們希望在各種基材的物品上獲得金色的表面,仿金技術(shù)便成為表面處理工作者...

TiN薄膜無毒、質(zhì)輕、強度高且具有優(yōu)良的生物相容性，因此它是非常理想的醫(yī)用金屬材料，可用作植入人體的植入物和手術(shù)器械等閻。此外，氮化鈦薄膜還能作為其他優(yōu)良生物相溶性薄膜的增強薄膜。國外的Nelea等人通過鍍制TiN薄膜中間層大幅度提高了醫(yī)用常用材料羥磷灰石薄膜...

1. 柴油機關(guān)鍵部件活塞銷受到周期性的交變機械載荷和熱載荷作用,易因粘著導(dǎo)致磨損。為提高柴油機活塞銷的摩擦磨損性能,采用磁控濺射方法在活塞銷表面沉積了Cr、W、Cr與Ti 3種金屬摻雜的類金剛石薄膜(DLC)涂層，結(jié)果表明:3種涂層表面微觀形貌類似,致密、無明...

40、氮化鈦（TiN）具有典型的NaCl型結(jié)構(gòu)，屬面心立方點陣，晶格常數(shù)a=0.4241nm，其中鈦原子位于面心立方的角頂。TiN是非化學(xué)計量化合物，其穩(wěn)定的組成范圍為TiN0.37-TiN1.16，氮的含量可以在一定的范圍內(nèi)變化而不引起TiN結(jié)構(gòu)的變化。Ti...

氮化鈦的制備方法有哪些 1金屬鈦粉或TiH 2直接氮化法2TiO2碳熱還原氮化法 3微波碳熱還原法 4物物理相沉積法 5化學(xué)氣相沉積法 6機械合金化法 7熔鹽合成法8溶膠-凝膠法9自蔓延高溫合成法TiN的性質(zhì)及結(jié)構(gòu)...

1.(1)氮化鈦生物兼容性高，可以應(yīng)用于臨床醫(yī)學(xué)和口腔醫(yī)學(xué)方面。(2)氨化鈦摩擦系數(shù)較低，可作為高溫潤滑劑。(3)氮化鈦具有金屬光澤，可作為仿真的金色裝飾材料，在代金裝飾行業(yè)中具有良好的應(yīng)用前景;氮化鈦還可以作為金色涂料應(yīng)用于首飾行業(yè);可以作為替代WC的潛在材...

類金剛石涂層是一種與金剛石涂層性能相似的新型薄膜材料,它具有較高的硬度,良好的熱傳導(dǎo)率,極低的摩擦系數(shù),優(yōu)異的電絕緣性能,高的化學(xué)穩(wěn)定性及紅外透光性能.類金剛石涂層作為質(zhì)量硬質(zhì)涂層的材料,在不同領(lǐng)域展現(xiàn)了適合的應(yīng)用前景,國內(nèi)外對它的研究一直是熱點問題,然而...

目的比較分析CrN過渡層與不同膜厚對DLC薄膜性能的影響,以及涂層模具的成型特性。方法采用PECVD方法在718合金試樣及模具表面沉積Cr N/DLC復(fù)合膜,預(yù)設(shè)Cr N過渡層厚度為0.2μm,DLC膜層厚度為0.5～1.2μm。采用無損設(shè)備對不同沉積時間...

耐腐蝕性純DLC膜具有優(yōu)異的耐蝕性，各類酸、堿甚至王水都很難侵蝕它。但摻雜有其他元素的DLC膜的耐蝕性有所下降，這是由于摻雜的元素首先被侵蝕，從而破壞了膜的連續(xù)性所致。 表面狀態(tài)DLC膜表面一般較光潔，對基材的表面光潔度沒有太大的影響，但隨著膜厚的增...

TiN和TiAlN涂層常應(yīng)用于精沖模,采用XRD技術(shù)分析了不同厚度TiN和TiAlN涂層的相變化,并采用Sin2ψ法測量了TiN涂層和基體以及TiAlN基體的殘留應(yīng)力,應(yīng)用顯微硬度計測量了涂層的顯微硬度。結(jié)果表明:TiN涂層(111)和(222)晶面存在明顯擇...

TiN 薄膜用于高溫大氣穩(wěn)定太陽能吸收層的研究開始于1984年，較好近(Ti，A1)N 涂層也被建議應(yīng)用于太陽能選擇吸收層和太陽能控制窗口，這主要是因為(Ti，AI)N 涂層耐高溫的特點。關(guān)于TiN和TiA1N 涂層在太陽能領(lǐng)域的應(yīng)用。目前仍處在嘗試和探索...

氮化鈦具有耐腐蝕性強、抗氧化性好、化學(xué)穩(wěn)定性高以及電導(dǎo)性好等優(yōu)點。本文以陽極氧化法制得的納米TiO2薄膜、多孔結(jié)構(gòu)和納米管材料為前驅(qū)體,通過氨氣高溫還原氮化法制得了納米氮化鈦薄膜、多孔結(jié)構(gòu)和納米管材料。XRD和EDS分析結(jié)果表明,三種納米結(jié)構(gòu)氮化鈦的化學(xué)組分均...

1. 類金剛石(diamond-like carbon,DLC)是一類含有金剛石結(jié)構(gòu)(sp3雜化鍵)和石墨結(jié)構(gòu)(sp2雜化鍵)的亞穩(wěn)態(tài)非晶物質(zhì)，具有高硬度、耐腐蝕、低摩擦因數(shù)、耐磨損等優(yōu)良特性，但也存在著由于制備工藝、沉積參數(shù)等不同導(dǎo)致的內(nèi)應(yīng)力大、熱穩(wěn)定性差、...

DLC熱穩(wěn)定性由于DLC屬亞穩(wěn)態(tài)的材料，熱穩(wěn)定性差是限制DLC膜應(yīng)用的一個重要因素，在300℃以上退火時即出現(xiàn)了sp3鍵向sp2鍵轉(zhuǎn)變，為此，人們進(jìn)行了大量的工作試圖提高其熱穩(wěn)定性。有研究發(fā)現(xiàn)：Si的加入可以明顯改善DLC膜的熱穩(wěn)定性，含20at%Si的D...

TiN 薄膜用于高溫大氣穩(wěn)定太陽能吸收層的研究開始于1984年，較好近(Ti，A1)N 涂層也被建議應(yīng)用于太陽能選擇吸收層和太陽能控制窗口，這主要是因為(Ti，AI)N 涂層耐高溫的特點。關(guān)于TiN和TiA1N 涂層在太陽能領(lǐng)域的應(yīng)用。目前仍處在嘗試和探索...

40、氮化鈦（TiN）具有典型的NaCl型結(jié)構(gòu)，屬面心立方點陣，晶格常數(shù)a=0.4241nm，其中鈦原子位于面心立方的角頂。TiN是非化學(xué)計量化合物，其穩(wěn)定的組成范圍為TiN0.37-TiN1.16，氮的含量可以在一定的范圍內(nèi)變化而不引起TiN結(jié)構(gòu)的變化。Ti...