激光位移傳感器在精密制造行業(yè)中有著廣泛的應用。如在汽車制造中，激光位移傳感器可以用于測量車身的變形和尺寸，確保汽車的質(zhì)量和安全性能。在航空航天制造中，激光位移傳感器可以用于測量航空器件的尺寸和變形，以及機翼的形狀和彎曲度。在微電子制造中，激光位移傳感器可以用于...

光譜共焦位移傳感器原理，由光源、透鏡組、控制箱等組成。光源發(fā)出1束白光，透鏡組先將白光發(fā)散成一系列波長不同的單色光，然后經(jīng)同軸聚焦在一定范圍內(nèi)形成1個連續(xù)的焦點組，每個焦點的單色光波長對應1個軸向位置。當樣品處于焦點范圍內(nèi)時，樣品表面將聚焦后的光反射回去。這些...

對光譜共焦位移傳感器原理進行理解與分析得出，想得到的理想鏡頭應該具備以下性能：首先需要其產(chǎn)生較大的軸向色差，通常需要對鏡頭進行消色差措施，而對于此傳感器需要利用其色差進行測量，并且還需將其擴大化，其次產(chǎn)生軸向色差后在軸上的焦點會由于單色光球差的問題導致光譜曲線...

為了提高加工檢測效率，實現(xiàn)尺寸形位公差與微觀輪廓的同平臺測量，提出一種基于光譜共焦位移傳感器在現(xiàn)場坐標測量平臺上集成表面粗糙度測量的方法。搭建實驗測量系統(tǒng)且在Lab VIEW平臺上開發(fā)系統(tǒng)的硬件通訊控制模塊，并配套了高斯輪廓濾波處理及表面粗糙度的評價環(huán)境，建立...

光纖白光干涉測量使用的是寬譜光源。光源的輸出光功率和中心波長的穩(wěn)定性是光源選取時需要重點考慮的參數(shù)。論文所設計的解調(diào)系統(tǒng)是通過檢測干涉峰值的中心波長的移動實現(xiàn)的，所以光源中心波長的穩(wěn)定性將對實驗結果產(chǎn)生很大的影響。實驗中我們所選用的光源是由INPHENIX公司...

薄膜是指分子、原子或者是離子在基底表面沉積形成的一種特殊的二維材料。近幾十年來，隨著材料科學和鍍膜工藝的不斷發(fā)展，厚度在納米量級（幾納米到幾百納米范圍內(nèi)）薄膜的研究和應用迅速增加。與體材料相比，因為納米薄膜的尺寸很小，使得表面積與體積的比值增加，表面效應所表現(xiàn)...

干涉測量法[9-10]是基于光的干涉原理實現(xiàn)對薄膜厚度測量的光學方法，是一種高精度的測量技術。采用光學干涉原理的測量系統(tǒng)一般具有結構簡單，成本低廉，穩(wěn)定性好，抗干擾能力強，使用范圍廣等優(yōu)點。對于大多數(shù)的干涉測量任務，都是通過薄膜表面和基底表面之間產(chǎn)生的干涉條紋...

液晶玻璃基板品質(zhì)管控要求嚴格、設備精度要求高，傳統(tǒng)的接觸式測厚裝置因其測量精度差、測量頻次有限而無法形成連續(xù)測量、接觸式測量裝置損耗快，需頻繁定期更換等不足，已無法滿足當前生產(chǎn)要求。激光測厚裝置的應用有效彌補了接觸式測厚裝置的不足，從效率、精度、準度、連續(xù)性、...

光譜共焦位移傳感器作為一種新型位移傳感器，因為其測量精度高，對于雜光等干擾光線傳感器不敏感具有較強的抵抗能力等特點，應用前景十分大量。文章通過對原理的分析，設計了一款色散鏡頭使用H-K9L和H-ZF4A玻璃，采用正負透鏡組分離結構組合形成鏡頭組，使用凹凸透鏡補...

在操作高精度光譜共焦傳感器時，有一些重要的注意事項需要遵守。首先，需要確保設備處于穩(wěn)定的環(huán)境中，避免外部振動或干擾對傳感器的影響。其次，在使用過程中要注意保持設備的清潔和維護，避免灰塵或污垢影響傳感器的準確性。另外，操作人員需要嚴格按照設備說明書中的操作步驟進...

光譜共焦測量技術是共焦原理和編碼技術的融合。一個完整的相對高度范疇能夠通過使用白光燈燈源照明燈具和光譜儀完成精確測量。光譜共焦位移傳感器的精確測量原理如下圖1所顯示，燈源發(fā)出光經(jīng)過光纖，再通過超色差鏡片，超色差鏡片能夠聚焦在直線光軸上，產(chǎn)生一系列可見光聚焦點。...

薄膜是指分子、原子或者是離子在基底表面沉積形成的一種特殊的二維材料。近幾十年來，隨著材料科學和鍍膜工藝的不斷發(fā)展，厚度在納米量級（幾納米到幾百納米范圍內(nèi)）薄膜的研究和應用迅速增加。與體材料相比，因為納米薄膜的尺寸很小，使得表面積與體積的比值增加，表面效應所表現(xiàn)...

基于表面等離子體共振傳感的測量方案，利用共振曲線的三個特征參量—共振角、半高寬和反射率小值，通過反演計算得到待測金屬薄膜的厚度。該測量方案可同時得到金屬薄膜的介電常數(shù)和厚度，操作方法簡單。我們利用Kretschmann型結構的表面等離子體共振實驗系統(tǒng)，測得金膜...

譜共焦位移傳感器，作為一種高度精密的光學測量儀器，擔負著重要的測量任務。其主要應用領域包括工業(yè)生產(chǎn)、科學研究和質(zhì)量控制等，其中對金屬內(nèi)壁輪廓的準確測量至關重要。在工業(yè)制造中，特別是汽車行業(yè)的發(fā)動機制造領域，氣缸內(nèi)壁的精度直接關系到發(fā)動機性能和可靠性。因此，采用...

由于光譜共焦傳感器對于不同的反射面反射回來的單色光的波長不同，因此對于材料的厚度精密測量具有獨特的優(yōu)勢。光學玻璃、生物薄膜、平行平板等，兩個反射面都會反射不同波長的單色光，進而只需一個傳感器，即可推算出厚度，測量精度可達微米量級，且不損傷被測表面。利用光譜共焦...

光譜共焦測量技術由于其高精度、允許被測表面有更大的傾斜角、測量速度快、實時性高、對被測表面狀況要求低、以及高分辨率的獨特優(yōu)勢，迅速成為工業(yè)測量的熱門傳感器，在生物醫(yī)學、材料科學、半導體制造、表面工程研究、精密測量、3C電子等領域得到大量應用。本次測量場景使用的...

譜共焦位移傳感器，作為一種高度精密的光學測量儀器，擔負著重要的測量任務。其主要應用領域包括工業(yè)生產(chǎn)、科學研究和質(zhì)量控制等，其中對金屬內(nèi)壁輪廓的準確測量至關重要。在工業(yè)制造中，特別是汽車行業(yè)的發(fā)動機制造領域，氣缸內(nèi)壁的精度直接關系到發(fā)動機性能和可靠性。因此，采用...

激光位移傳感器的光斑尺寸參數(shù)是指激光束所形成的光斑在被測物體表面的實際直徑大小。光斑尺寸對位移傳感器的測量精度和分辨率具有重要影響。因此，對光斑尺寸的測試是激光位移傳感器研究中的一個重要方面。測試方法主要是通過接收散射光信號計算光斑直徑大小，或者通過對被測物體...

隨著機械加工水平的不斷發(fā)展，各種的微小的復雜工件都需要進行精密尺寸測量與輪廓測量，例如：小工件內(nèi)壁溝槽尺寸、小圓倒角等的測量，對于某些精密光學元件可以進行非接觸的輪廓形貌測量，避免在接觸測量時劃傷光學表面，解決了傳統(tǒng)傳感器很難解決的測量難題。一些精密光學元件也...

靶丸殼層折射率、厚度及其分布參數(shù)是激光慣性約束聚變（ICF）物理實驗中非常關鍵的參數(shù)，精密測量靶丸殼層折射率、厚度及其分布對ICF精密物理實驗研究具有非常重要的意義。由于靶丸尺寸微?。▉喓撩琢考墸?、結構特殊（球形結構）、測量精度要求高，如何實現(xiàn)靶丸殼層折射率及...

自上世紀60年代起，利用X及β射線、近紅外光源開發(fā)的在線薄膜測厚系統(tǒng)廣泛應用于西方先進國家的工業(yè)生產(chǎn)線中。20世紀70年代后，為滿足日益增長的質(zhì)檢需求，電渦流、電磁電容、超聲波、晶體振蕩等多種膜厚測量技術相繼問世。90年代中期，隨著離子輔助、離子束...

光譜共焦技術是在共焦顯微術基礎上發(fā)展而來，其無需軸向掃描，直接由波長對應軸向距離信息，從而大幅提高測量速度。而基于光譜共焦技術的傳感器是近年來出現(xiàn)的一種高精度、非接觸式的新型傳感器，精度理論上可達 nm 量級。由于光譜共焦傳感器對被測表面狀況要求低，允許被測表...

開展白光干涉理論分析，在此基礎詳細介紹了白光垂直掃描干涉技術和白光反射光譜技術的基本原理，完成了應用于靶丸殼層折射率和厚度分布測量實驗裝置的設計及搭建。該實驗裝置主要由白光反射光譜探測模塊、靶丸吸附轉(zhuǎn)位模塊、三維運動模塊、氣浮隔震平臺等幾部分組成，可實現(xiàn)靶丸的...

對同一靶丸相同位置進行白光垂直掃描干涉，圖4-3是靶丸的垂直掃描干涉示意圖，通過控制光學輪廓儀的運動機構帶動干涉物鏡在垂直方向上的移動，從而測量到光線穿過靶丸后反射到參考鏡與到達基底直接反射回參考鏡的光線之間的光程差，顯然，當一束平行光穿過靶丸后，偏離靶丸中心...

隨著社會不斷的發(fā)展，我們智能能設備的進化日新月異，人們已經(jīng)越來越追求個性化。愈發(fā)復雜的形狀意味著，對點膠設備提出更高的要求，需要應對更高的點膠精度!更靈活的點膠角度!目前手機中板和屏幕模組貼合時，需要在中板上面點一圈透明的UV膠，這種膠由于白色反光的原因，只能...

光譜共焦傳感器作為一種新型高精密傳感器，其測 量精密度可達 土 0.02%。開始產(chǎn)生在法國的，相較于光柵尺、容柵 或電感器電臺廣播、電感器差動變壓器式偏移傳感器，其在偏移測量方面的優(yōu)勢更加明顯?，F(xiàn)如今，因為光譜共焦傳感器擁有高精密、，因而，其在幾何量高精密測量...

光譜共焦位移傳感器基本原理如圖1所示，由光源、分光鏡、光學色散鏡頭組、小孔以及光譜儀等部分組成。傳感器通過色散鏡頭進行色散，將位移信息轉(zhuǎn)換成波長信息，使用光譜儀進行光譜分解得出波長的變化信息，再反解得出被測位移。其中色散鏡頭作為光學部分完成了波長和位移的一一映...

表面粗糙度是指零件在加工過程中由于不同的加工方法、機床與刀具的精度、振動及磨損等因素在工件加工表面上形成的具有較小間距和較小峰谷的微觀水平狀況，是表面質(zhì)量的一個重要衡量指標，關系零件的磨損、密封、潤滑、疲勞、研和等機械性能。表面粗糙度測量主要可分為接觸式測量和...

共焦測量方法由于具有高精度的三維成像能力，已經(jīng)大量用于表面輪廓與三維精細結構的精密測量。本文通過分析白光共焦光譜的基本原理，建立了透明靶丸內(nèi)表面圓周輪廓測量校準模型;同時，基于白光共焦光譜并結合精密旋轉(zhuǎn)軸系，建立了靶丸內(nèi)表面圓周輪廓精密測量系統(tǒng)和靶丸圓心精密定...

硅片柵線的厚度測量方法我們還用創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器，TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)0.025 μm的重復精度，±0.02% of F.S.的線性精度，10kHz的測量速度，以及±60°的測量角度，能夠適應鏡面、透明、半透明、...