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本發(fā)明實施例的閃存參考單元未經(jīng)過編譯和擦除的電荷分布示意圖；發(fā)明實施例的閃存參考單元經(jīng)過編譯和擦除后的電荷分布示意圖。圖8為本發(fā)明實施例的閃存參考單元經(jīng)過編譯和擦除循環(huán)后再進(jìn)行htol測試的輸出電流iref分布圖。其中，具體標(biāo)號如下：100-襯底；101-源極；102-漏極；103-隧穿氧化層；104-浮柵；105-柵間介質(zhì)層；106-控制柵；107-側(cè)墻；具體實施方式本發(fā)明提供一種閃存htol測試方法，以下結(jié)合附圖和具體實施例作進(jìn)一步詳細(xì)說明。根據(jù)下面說明，本發(fā)明的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精細(xì)的比例，*用以方便、明晰地輔助說明本發(fā)明實施例的目的。圖1為本發(fā)明實施例的閃存htol測試方法流程圖，上海本地HTOL測試機上海頂策科技智能HTOL系統(tǒng)，全程數(shù)據(jù)記錄，讓HTOL問題更容易分析，更有追溯性。
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