發(fā)明人檢查失效的原因,發(fā)現(xiàn)讀點(diǎn)失效為讀“0”失效,并且進(jìn)一步研究發(fā)現(xiàn)閃存參考單元的輸出電流iref在48小時(shí)的測(cè)試值iref1與在初始的測(cè)試值iref0之間有偏移,具體偏移量經(jīng)測(cè)試統(tǒng)計(jì)在4μa以?xún)?nèi),而且iref1<iref0,即48小時(shí)后iref往電流變小的方向偏移。閃存測(cè)試中,若iref>i,則讀出“0”(即閃存讀“0”操作時(shí),iref>i)。閃存判斷讀“0”的具體操作過(guò)程為:將閃存參考單元的輸出電流iref與閃存陣列單元的輸出電流i的差值經(jīng)由讀出放大器進(jìn)行比對(duì)判斷。當(dāng)差值變?nèi)醯接勺x出放大器無(wú)法進(jìn)行識(shí)別時(shí),讀“0”失效。當(dāng)htol可靠性驗(yàn)證經(jīng)過(guò)***時(shí)間點(diǎn)例如48小時(shí)后,由于閃存參考單元的輸出電流iref往電流變小的方向偏移即iref變小,如此一來(lái),閃存參考單元的輸出電流iref與閃存陣列單元的輸出電流i的差值變小,超出讀出放大器識(shí)別范圍,于是讀“0”失效。測(cè)試發(fā)現(xiàn)經(jīng)48小時(shí)閃存參考單元的輸出電流iref往電流變小的方向偏移后,進(jìn)一步做htol測(cè)試,閃存參考單元的輸出電流iref在第三時(shí)間點(diǎn)例如168小時(shí),第四時(shí)間點(diǎn)例如500小時(shí),第五時(shí)間點(diǎn)例如1000小時(shí)測(cè)試均不會(huì)進(jìn)一步偏移。TH801智能老化系統(tǒng),全程HTOL數(shù)據(jù)記錄,讓質(zhì)量報(bào)告更有說(shuō)服力,下游客戶(hù)更放心。一體化HTOL測(cè)試機(jī)哪家強(qiáng)
閃存參考單元的隧穿氧化層103中會(huì)捕獲一些主要從生產(chǎn)工藝帶來(lái)的淺能級(jí)的空穴,在浮柵里面會(huì)注入所需要的電子。編譯過(guò)程中浮柵104可以捕獲電子,擦除過(guò)程中隧穿氧化層103會(huì)捕獲空穴;在經(jīng)過(guò)多次的編譯以及擦除后,會(huì)在浮柵104中有更多的電子,隧穿氧化層103中有更多的空**7中經(jīng)編譯和擦除循環(huán)后電子空穴的凈值(差值)與未經(jīng)編譯和擦除循環(huán)的電子空穴的凈值(差值)相等,從而保證閃存參考單元編譯和擦除循環(huán)后的輸出電流與編譯和擦除循環(huán)前的輸出電流是相等的。擦除過(guò)程中隧穿氧化層捕獲的空穴為深能級(jí)的空穴,這些深能級(jí)的空穴不容易移動(dòng),而在浮柵里面捕獲的電子比較活躍,在htol測(cè)試過(guò)程中高溫下會(huì)比較容易丟失,從而補(bǔ)償了閃存參考單元從生產(chǎn)工藝帶來(lái)的淺能級(jí)的空穴在htol測(cè)試過(guò)程中的丟失。什么是HTOL測(cè)試機(jī)供應(yīng)上海頂策科技有限公司可靠性測(cè)試部,提供HTOL方案設(shè)計(jì)制作。
可靠性測(cè)試事業(yè)部提供可靠性測(cè)試整體解決方案,包括HTOL、LTOL、雙85、HAST等可靠性設(shè)備,以及測(cè)試方案制定,PCB設(shè)計(jì)制作,測(cè)試試驗(yàn),滿(mǎn)足各類(lèi)芯片可靠性測(cè)試需求。自主研發(fā)在線實(shí)時(shí)單顆監(jiān)測(cè)技術(shù);可靈活配置芯片工作狀態(tài),并施加信號(hào),非常方便HTOL和Setup;實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)并記錄環(huán)境溫度,以及每顆芯片電壓,電流,頻率,寄存器狀態(tài)等數(shù)據(jù),確保芯片處于正常HTOL狀態(tài),保證HTOL測(cè)試質(zhì)量;通過(guò)監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù),可實(shí)時(shí)發(fā)現(xiàn)問(wèn)題并介入分析,大幅提高HTOL效率,節(jié)省更多時(shí)間、FA成本;全程數(shù)據(jù)記錄,讓HTOL問(wèn)題更容易分析,更有追溯性;有全程HTOL數(shù)據(jù)記錄,讓報(bào)告更有說(shuō)服力,下游客戶(hù)更放心;
閃存參考單元包括:襯底100,位于所述襯底中的導(dǎo)電溝道、位于所述導(dǎo)電溝道兩側(cè)的源極101和漏極102,位于導(dǎo)電溝道上方的柵極單元,所述柵極單元從下到上依次包括隧穿氧化層103、浮柵104、柵間介質(zhì)層105以及控制柵106,所述柵極單元的兩側(cè)分布有側(cè)墻107。柵間介質(zhì)層105例如可以為依次層疊的氧化硅層、氮化硅層和氧化硅層的多層結(jié)構(gòu),即為ono結(jié)構(gòu)。具體的,閃存在其生產(chǎn)工藝過(guò)程中易在閃存參考單元的隧穿氧化層103中捕獲(引入)空**3為本發(fā)明實(shí)施例的對(duì)閃存參考單元進(jìn)行編譯示意圖,如圖3所示,對(duì)所述閃存參考單元進(jìn)行編譯,包括:在所述源極101上施加***編程電壓vb1,在所述漏極102上施加第二編程電壓vb2,在所述控制柵106上施加第三編程電壓vb3,在所述襯底100上施加第四編程電壓vb4;其中,所述***編程電壓vb1小于所述第二編程電壓vb2;所述第二編程電壓vb2小于所述第三編程電壓vb3。所述***編程電壓的范圍為~0v,所述第二編程電壓的范圍為~,所述第三編程電壓vb3的范圍為8v~10v,所述第四編程電壓vb4的范圍為~-1v,編譯過(guò)程中的脈沖寬度為100μs~150μs。編譯通過(guò)熱電子注入的方式對(duì)所述浮柵104中注入電子。上海頂策科技有限公司可靠性測(cè)試服務(wù),涵蓋原理圖設(shè)計(jì),PCBlayout加工制作,老化程序開(kāi)發(fā)調(diào)試。
自主研發(fā)在線實(shí)時(shí)單顆監(jiān)測(cè)技術(shù),通過(guò)監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù),可實(shí)時(shí)發(fā)現(xiàn)問(wèn)題并介入分析,大幅提高HTOL效率,節(jié)省更多時(shí)間、FA成本,讓HTOL問(wèn)題更容易分析,更有追溯性,讓報(bào)告更有說(shuō)服力,下游客戶(hù)更放心。涵蓋模擬,數(shù)字,混合信號(hào),SOC,RF等各類(lèi)芯片的可靠性方案設(shè)計(jì),原理圖設(shè)計(jì),PCBlayout加工制作,老化程序開(kāi)發(fā)調(diào)試,可靠性測(cè)試試驗(yàn),出具可靠性報(bào)告等一條龍服務(wù)??煽啃詼y(cè)試事業(yè)部提供可靠性測(cè)試整體解決方案,包括HTOL、LTOL、雙85、HAST等可靠性設(shè)備,以及測(cè)試方案制定,PCB設(shè)計(jì)制作,測(cè)試試驗(yàn),滿(mǎn)足各類(lèi)芯片可靠性測(cè)試需求。TH801智能老化系統(tǒng),實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)并記錄環(huán)境溫度,確保芯片處于正常HTOL狀態(tài),保證HTOL測(cè)試質(zhì)量。黃浦區(qū)HTOL測(cè)試機(jī)專(zhuān)賣(mài)
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