高溫工作壽命實驗(Hightemperatureoperatinglifetest:HTOL)測試目的:芯片處于高溫條件下,加入動態(tài)信號,并長時間工作,以評估其使用壽命,并確定其可靠性。測試條件:結溫(Tj)≧125℃,電壓Vcc≧Vccmax,測試時間:1000hrs樣品數:77ea/lot,3lots測試讀點:168、500、1000hrs參考規(guī)范:、JESD22-A108JESD22-A108B:Temperature,Bias,andOperatingLifeJESD85:METHODSFORCALCULATINGFAILURERATESINUNITSOFFITSJESD47K:Stress-Test-DrivenQualificationofIntegratedCircuitsJESD74:EarlyLifeFailureRateCalculationProcedureforSemiconductorComponents芯片工作壽命試驗、老化試驗(OperatingLifeTest),為利用溫度、電壓加速方式,在短時間試驗內,預估芯片在長時間可工作下的壽命時間(生命周期預估)。BI(Burn-in)/ELFR(EarlyLifeFailureRate):評估早夭階段的故障率或藉由BI手法降低出貨的早夭率-DPPM(DefectPartsPer-Million),針對失效模式中的InfantMortality,一般測試低于48小時,車規(guī)級芯片需要100%BI測試。HTOL(HighTemperatureOperatingLife):評估可使用期的壽命時間-FIT/MTTF,針對失效模式中的Wearout,一般需要測試1000小時,屬于抽樣測試。 可靠性事業(yè)部提供各類芯片的可靠性測試方案,原理圖設計,PCB加工制作,出具可靠性報告等一條龍服務。崇明區(qū)有哪些HTOL測試機
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芯片HTOL測試一條龍服務,可靠性設備,HTOL/LTOL、雙85、HAST等幾十項可靠性測試方案制定,PCB設計制作,測試試驗,滿足各類芯片可靠性測試需求。涵蓋模擬,數字,混合信號,SOC,RF等各類芯片的可靠性方案設計,原理圖設計,PCBlayout加工制作,老化程序開發(fā)調試,可靠性測試試驗,出具可靠性報告,上海頂策科技有限公司提供高質量、高效率、低成本HTOL測試方案。自主研發(fā)在線實時單顆監(jiān)測技術,大幅度提高HTOL效率,節(jié)省更多時間、FA成本,全程數據記錄,讓HTOL問題更容易分析,更有追溯性,有全程HTOL數據記錄,讓報告更有說服力,下游客戶更放心。
本發(fā)明實施例的閃存參考單元未經過編譯和擦除的電荷分布示意圖;發(fā)明實施例的閃存參考單元經過編譯和擦除后的電荷分布示意圖。圖8為本發(fā)明實施例的閃存參考單元經過編譯和擦除循環(huán)后再進行htol測試的輸出電流iref分布圖。其中,具體標號如下:100-襯底;101-源極;102-漏極;103-隧穿氧化層;104-浮柵;105-柵間介質層;106-控制柵;107-側墻;具體實施方式本發(fā)明提供一種閃存htol測試方法,以下結合附圖和具體實施例作進一步詳細說明。根據下面說明,本發(fā)明的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是,附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精細的比例,*用以方便、明晰地輔助說明本發(fā)明實施例的目的。圖1為本發(fā)明實施例的閃存htol測試方法流程圖,上海頂策科技智能HTOL系統,通過監(jiān)測數據,可實時發(fā)現問題并介入分析,大幅度提高HTOL效率。
可靠性方案設計,HTOL測試服務。涵蓋模擬,數字,混合信號,SOC,RF等各類芯片的可靠性方案設計,原理圖設計,PCBlayout加工制作,老化程序開發(fā)調試,可靠性測試試驗,出具可靠性報告,上海頂策科技有限公司提供高質量、高效率、低成本HTOL測試方案。自主研發(fā)在線實時單顆監(jiān)測技術,大幅度提高HTOL效率,節(jié)省更多時間、FA成本,全程數據記錄,讓HTOL問題更容易分析,更有追溯性,有全程HTOL數據記錄,讓報告更有說服力,下游客戶更放心。上海頂策科技TH801智能老化系統,實時監(jiān)測并記錄環(huán)境溫度,具體到每顆芯片的狀態(tài)數據。奉賢區(qū)有哪些HTOL測試機
上海頂策科技智能HTOL系統,實時監(jiān)測并記錄環(huán)境溫度,確保芯片處于正常HTOL狀態(tài),保證HTOL測試質量。崇明區(qū)有哪些HTOL測試機
HTOL的注意要點高溫工作壽命的測試條件主要遵循JESD22-A108進行,除了給器件合適的偏置與負載外,主要包括溫度應力和電壓應力,這兩者都屬于加速因子。合理設置溫度應力和電壓應力,以便在合理的時間和成本下完成壽命評估。對于硅基產品,溫度應力一般設置在結溫>=125℃,GaAs等其它耐高溫材料則可以設置更高的溫度,具體根據加速要求而定。但無論哪種材料,均需要結溫小于材料的極限工作溫度或者熱關斷(thermalshutdown)溫度。HTOL硬件的散熱設計有利于加速因子的提高,這樣可以節(jié)省試驗時間。電壓應力一般采用最高工作電壓進行,如果需要提高加速度,則可以采用更高的電壓進行試驗,但是無論電壓應力還是溫度應力都不允許器件處于過電應力的狀態(tài)。 崇明區(qū)有哪些HTOL測試機
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