進一步的，對所述閃存參考單元進行編譯，包括：在所述源極上施加***編程電壓，在所述漏極上施加第二編程電壓，在所述控制柵上施加第三編程電壓，在所述襯底上施加第四編程電壓；其中，所述***編程電壓小于所述第二編程電壓；所述第二編程電壓小于所述第三編程電壓。進一步的，所述***編程電壓的范圍為～0v,所述第二編程電壓的范圍為～，所述第三編程電壓的范圍為8v～10v,所述第四編程電壓的范圍為～-1v。進一步的，編譯過程中的脈沖寬度為100μs～150μs。進一步的，對所述閃存參考單元進行擦除，包括：將所述源極和漏極均懸空，在所述控制柵上施加***擦除電壓，在所述襯底上施加第二擦除電壓；其中，所述***擦除電壓為負電壓，所述第二擦除電壓為正電壓。進一步的，所述***擦除電壓的范圍為-10v～-8v，所述第二擦除電壓的范圍為8v～10v。進一步的，擦除過程中的脈沖寬度為10ms～20ms。進一步的，對所述閃存參考單元進行編譯和擦除，循環(huán)次數(shù)為10次～20次。進一步的，對所述閃存進行htol測試包括：對所述閃存依次進行***時間點讀點、第二時間點讀點、第三時間點讀點至第n時間點讀點。
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本發(fā)明實施例的閃存參考單元經(jīng)過編譯和擦除循環(huán)后再進行htol測試的輸出電流iref分布圖。閃存參考單元進行編譯和擦除循環(huán)后，htol測試過程中。閃存參考單元的輸出電流iref在48小時的測試值iref1與在初始的測試值iref0之間偏移量減小，實際驗證多個型號的閃存產(chǎn)品采用本實施例的方法后，htol可靠性驗證通過，而且測試可靠，使閃存產(chǎn)品較短時間內(nèi)進入客戶樣品量產(chǎn)階段。綜上所述，本發(fā)明所提供的一種閃存htol測試方法，對閃存參考單元進行編譯和擦除循環(huán)后，再進行閃存htol可靠性驗證，編譯和擦除循環(huán)會在閃存參考單元中引入電子，引入的電子在閃存htol可靠性驗證過程存在丟失，進而對空穴在htol測試過程中的丟失形成補償，降低了閃存參考單元的輸出電流iref的偏移量，從而使閃存htol讀“0”通過，解決了閃存htol測試中讀點失效的問題，提高閃存質(zhì)量。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對發(fā)明進行各種改動和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些改動和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包括這些改動和變動在內(nèi)。
提供可靠性測試整體解決方案：可靠性設(shè)備，HTOL/LTOL、雙85、HAST等幾十項可靠性測試方案制定，PCB設(shè)計制作，測試試驗，滿足各類芯片可靠性測試需求。涵蓋模擬，數(shù)字，混合信號，SOC，RF等各類芯片的可靠性方案設(shè)計，原理圖設(shè)計，PCBlayout加工制作，老化程序開發(fā)調(diào)試，可靠性測試試驗，出具可靠性報告等一條龍服務(wù)。自主研發(fā)在線實時單顆監(jiān)測技術(shù)，通過監(jiān)測數(shù)據(jù)，可實時發(fā)現(xiàn)問題并介入分析，大幅提高HTOL效率，節(jié)省更多時間、FA成本，讓HTOL問題更容易分析，更有追溯性，讓報告更有說服力，下游客戶更放心。上海頂策科技智能HTOL系統(tǒng)，實時監(jiān)測并記錄環(huán)境溫度，確保芯片處于正常HTOL狀態(tài)，保證HTOL測試質(zhì)量。
那么IC在使用期的壽命測試中的HTOL是什么呢？使用期的壽命測試又包含高溫工作壽命（HTOL）和低溫工作壽命（LTOL），對于亞微米級尺寸的器件，熱載流子效應(yīng)對于器件壽命有著***的影響，低溫工作時相對比較苛刻，所以像存儲器、處理器等納米級別工藝的產(chǎn)品通常需要進行低溫工作壽命測試。而對于。進行HTOL（HighTemperatureOperationLife）測試的目的就是為了確定長時間的電氣偏差和溫度對器件的影響，評估器件在超熱和超電壓情況下一段時間的耐久力，也就是在正常工作的壽命期間潛在的固有故障被加速，這樣就可以在相對比較短的時間內(nèi)模擬出產(chǎn)品的正常使用壽命。HTOL是在產(chǎn)品放行和批量生產(chǎn)前進行評估，對應(yīng)浴缸曲線曲線的UsefulLife期，通常是抽樣進行的。此外，HTOL還可以用于可靠性監(jiān)控以及對存在潛在缺陷的產(chǎn)品進行風(fēng)險評估。 上海頂策科技智能HTOL系統(tǒng)，可靈活配置芯片工作狀態(tài)，并施加信號，非常方便HTOL Setup。虹口區(qū)HTOL測試機專賣店
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包括：將所述源極101和漏極102均懸空，在所述控制柵106上施加***擦除電壓vc1，在所述襯底100上施加第二擦除電壓vc2；其中，所述***擦除電壓vc1為負電壓，所述第二擦除電壓vc2為正電壓。所述***擦除電壓vc1的范圍為-10v～-8v，本實施例中例如為-9v；所述第二擦除電壓vc2的范圍為8v～10v，本實施例中例如為9v；擦除過程中的脈沖寬度為10ms～20ms。本實施例中，閃存參考單元的擦除原理是基于fowler-nordheim隧穿(簡稱為fn隧穿)，通過在襯底100上施加正電壓，在控制柵106上施加負電壓，以在隧穿氧化層103中注入空穴，同時減少浮柵104中的電子。長寧區(qū)HTOL測試機市價
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