那么IC在使用期的壽命測試中的HTOL是什么呢?使用期的壽命測試又包含高溫工作壽命(HTOL)和低溫工作壽命(LTOL),對于亞微米級尺寸的器件,熱載流子效應(yīng)對于器件壽命有著***的影響,低溫工作時相對比較苛刻,所以像存儲器、處理器等納米級別工藝的產(chǎn)品通常需要進(jìn)行低溫工作壽命測試。而對于。進(jìn)行HTOL(HighTemperatureOperationLife)測試的目的就是為了確定長時間的電氣偏差和溫度對器件的影響,評估器件在超熱和超電壓情況下一段時間的耐久力,也就是在正常工作的壽命期間潛在的固有故障被加速,這樣就可以在相對比較短的時間內(nèi)模擬出產(chǎn)品的正常使用壽命。HTOL是在產(chǎn)品放行和批量生產(chǎn)前進(jìn)行評估,對應(yīng)浴缸曲線曲線的UsefulLife期,通常是抽樣進(jìn)行的。此外,HTOL還可以用于可靠性監(jiān)控以及對存在潛在缺陷的產(chǎn)品進(jìn)行風(fēng)險評估。 TH801智能老化系統(tǒng),方便靈活配置芯片狀態(tài)、施加信號,提高HTOLdebug及Setup效率。一體化HTOL測試機參數(shù)
技術(shù)實現(xiàn)要素:本發(fā)明提供了一種閃存htol測試方法,以解決閃存htol測試中讀點失效的問題。本發(fā)明提供的閃存htol測試方法,包括:提供待測閃存,所述閃存包括閃存參考單元和閃存陣列單元;所述閃存參考單元中捕獲有空穴;對所述閃存參考單元循環(huán)進(jìn)行編譯和擦除,以在所述閃存參考單元中引入電子;對所述閃存進(jìn)行htol測試,所述引入電子在所述htol測試過程中部分丟失,以對htol測試過程中所述空穴的丟失形成補償。進(jìn)一步的,所述閃存參考單元包括襯底、位于所述襯底中的導(dǎo)電溝道、位于所述導(dǎo)電溝道兩側(cè)的源極和漏極,位于所述導(dǎo)電溝道上方的柵極單元,所述柵極單元從下到上依次包括隧穿氧化層、浮柵、柵間介質(zhì)層以及控制柵,所述柵極單元的兩側(cè)分布有側(cè)墻。 青浦區(qū)什么是HTOL測試機上海頂策科技有限公司可靠性測試服務(wù),涵蓋模擬,數(shù)字,混合信號,SOC,RF等各類芯片的可靠性方案設(shè)計。
高質(zhì)量、高效率、低成本HTOL測試方案,上海頂策科技有限公司自主研發(fā)TH801智能一體化HTOL測試機,擁有多項發(fā)明專利及軟件著作權(quán),可實時發(fā)現(xiàn)問題并介入分析,大幅提高HTOL效率。提供可靠性測試整體解決方案:可靠性設(shè)備,HTOL/LTOL、雙85、HAST等幾十項可靠性測試方案制定,PCB設(shè)計制作,測試試驗,滿足各類芯片可靠性測試需求。涵蓋模擬,數(shù)字,混合信號,SOC,RF等各類芯片的可靠性方案設(shè)計,原理圖設(shè)計,PCBlayout加工制作,老化程序開發(fā)調(diào)試,可靠性測試試驗,出具可靠性報告等一條龍服務(wù)。
發(fā)明人檢查失效的原因,發(fā)現(xiàn)讀點失效為讀“0”失效,并且進(jìn)一步研究發(fā)現(xiàn)閃存參考單元的輸出電流iref在48小時的測試值iref1與在初始的測試值iref0之間有偏移,具體偏移量經(jīng)測試統(tǒng)計在4μa以內(nèi),而且iref1<iref0,即48小時后iref往電流變小的方向偏移。閃存測試中,若iref>i,則讀出“0”(即閃存讀“0”操作時,iref>i)。閃存判斷讀“0”的具體操作過程為:將閃存參考單元的輸出電流iref與閃存陣列單元的輸出電流i的差值經(jīng)由讀出放大器進(jìn)行比對判斷。當(dāng)差值變?nèi)醯接勺x出放大器無法進(jìn)行識別時,讀“0”失效。當(dāng)htol可靠性驗證經(jīng)過***時間點例如48小時后,由于閃存參考單元的輸出電流iref往電流變小的方向偏移即iref變小,如此一來,閃存參考單元的輸出電流iref與閃存陣列單元的輸出電流i的差值變小,超出讀出放大器識別范圍,于是讀“0”失效。測試發(fā)現(xiàn)經(jīng)48小時閃存參考單元的輸出電流iref往電流變小的方向偏移后,進(jìn)一步做htol測試,閃存參考單元的輸出電流iref在第三時間點例如168小時,第四時間點例如500小時,第五時間點例如1000小時測試均不會進(jìn)一步偏移。上海頂策科技有限公司自主研發(fā)智能一體化HTOL測試機TH801實時監(jiān)測并記錄環(huán)境溫度。
htonl()簡述:將主機的無符號長整形數(shù)轉(zhuǎn)換成網(wǎng)絡(luò)字節(jié)順序。#include<arpa/(uint32_thostlong);hostlong:主機字節(jié)順序表達(dá)的32位數(shù)。注釋:本函數(shù)將一個32位數(shù)從主機字節(jié)順序轉(zhuǎn)換成網(wǎng)絡(luò)字節(jié)順序。返回值:htonl()返回一個網(wǎng)絡(luò)字節(jié)順序的值。參見:htons(),ntohl(),ntohs().在Linux系統(tǒng)下:#include<arpa/(uint32_thostlong);相關(guān)函數(shù):uint16_thtons(uint16_thostshort);uint32_tntohl(uint32_tnetlong);uint16_tntohs(uint16_tnetshort);網(wǎng)際協(xié)議在處理這些多字節(jié)整數(shù)時,使用大端字節(jié)序。在主機本身就使用大端字節(jié)序時,這些函數(shù)通常被定義為空宏?!鏅?quán)聲明:本文為CSDN博主「gocpplua」的原創(chuàng)文章,遵循,轉(zhuǎn)載請附上原文出處鏈接及本聲明。 上海頂策科技智能HTOL系統(tǒng),全程數(shù)據(jù)記錄,讓HTOL問題更容易分析,更有追溯性。本地HTOL測試機一般多少錢
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閃存HTOL測試方法與流程本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,尤其涉及一種閃存htol測試方法。背景技術(shù):閃存(flashmemory)是一種非易失性的存儲器,其具有即使斷電存儲數(shù)據(jù)也不會丟失而能夠長期保存的特點。故近年來閃存的發(fā)展十分迅速,并且具有高集成度、高存儲速度和高可靠性的閃存存儲器被廣泛應(yīng)用于包括電腦、手機、服務(wù)器等電子產(chǎn)品及設(shè)備中。在半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域中,htol(hightemperatureoperatinglifetest,高溫操作生命期試驗)用于評估半導(dǎo)體器件在超熱和超電壓情況下一段時間的耐久力。對于閃存的可靠性而言,在數(shù)萬次的循環(huán)之后的htol是一個主要指數(shù)。通常而言,閃存產(chǎn)品需要在10000次的循環(huán)之后,通過1000小時的htol測試。閃存htol實際測試中存在若干小時后閃存測試讀點(例如讀“0”)失效,亟需解決閃存htol測試中讀點失效的問題。一體化HTOL測試機參數(shù)
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