被測物體表面反射的反射光通過探頭接收并由接收光纖選擇性的傳輸?shù)焦庾V儀,光譜儀對反射光進行聚焦并通過設置在光譜儀中的感光元件對反射光進行量化處理,量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個光譜波峰,光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產(chǎn)生對應關系;光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關系后進行分析,通過光譜波峰反推出被測物體的位移,實現(xiàn)利用光譜共焦原理測量位移的過程;因此本方案中的光譜共焦位移傳感器通過光譜共焦工作原理,避免使用激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑,克服不易確定像點的質(zhì)心位置的缺陷。光譜共焦位移傳感器具有非接觸式測量的優(yōu)勢,可以在微觀尺度下進行精確的位移測量。珠海光譜共焦位移傳感器常用解決方案
本實用新型涉及光電精密測量領域,尤其涉及的是一種光譜共焦位移傳感器。隨著我國的航空航天、汽車、造船等高技術產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展,對產(chǎn)品和零部件外形尺寸的工藝水平及精度要求越來越高,所以,能否進行高效率、高精度的檢測,將直接關系到產(chǎn)品的質(zhì)量和使用壽命。能進行高效率、高精度測量的技術手段通常分為接觸式測量(以機械式和壓電式為主)與非接觸式測量(光學式為主)兩類。非接觸式光學測量具有如下優(yōu)點:無損檢測:可測量柔軟和易變形件、脆性和易損件,特別適合不允許接觸的場景。鹽城怎樣選擇光譜共焦位移傳感器它可以實現(xiàn)對材料的變形過程進行精確測量,對于研究材料的變形行為具有重要意義。
一種光譜共焦傳感器,包括:光源部,用于射出具有不同波長的多個光束:多個光學頭,用于將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點反射的測量光:分光器,其包括:線傳感器,以及光學系統(tǒng),其包括用于使從所述多個光學頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射的衍射光柵,并且向所述線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個測量光束中的各個測量光束;以及位置計算部,用于基于所述線傳感器的所述多個受光區(qū)域各自的受光位置來計算作為所述多個光學頭的測量對象的多個測量點各自的位置。
在探頭殼體的內(nèi)側(cè)壁上固定設置有反光鏡,所述反光鏡用于反射所述半透半反光學鏡所發(fā)出的反射光,即反光鏡對半透半反光學鏡所反射的光線進行再次反射,所述接收光纖入光端位于所述反光鏡的上方,通過反光鏡所反射的反射光進入到接收光纖的入光端,再通過接收光纖傳遞反射光到光譜儀。本實施例中采用的入射光纖和接收光纖的入光端和出光端的用于導光的纖芯直徑均為微米級,直徑通常為50-100毫米,導光直徑非常小,當反射光的焦點落在接收光纖的纖芯之外時,無法對反射光進行接收,而需要測量的相應波長的反射光可以順利通過接收光纖的纖芯,被順利接收和傳導,實現(xiàn)對不同波長的反射光進行選擇和物理過濾,因此可以通過縮小光纖的纖芯直徑來使采樣信號更銳利,從提高采樣信號的信噪比和測量精確度。光譜共焦位移傳感器是一種先進的光學測量技術,可以實現(xiàn)高精度的位移測量。
8.根據(jù)權利要求7所述的光譜共焦位移傳感器,其特征在于,所述機殼設置有兩層,所述聚焦透鏡組位于所述機殼的上層,所述感光元件位于所述機殼的下層,所述聚焦透鏡組與所述感光元件的光路之間設置有用于轉(zhuǎn)變光線傳播方向的光線轉(zhuǎn)向鏡組,所述光線轉(zhuǎn)向鏡組包括有上反光鏡,設置在所述上反光鏡下方位置的下反光鏡,所述光線轉(zhuǎn)向鏡組用于將上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。根據(jù)權利要求1所述的光譜共焦位移傳感器,其特征在于,所述光譜共焦位移傳感探頭還設置有提示組件,所述提示組件包括有:發(fā)光件,所述發(fā)光件設置在光源耦合器中;導光光纖,所述導光光纖的一端連接在所述光源耦合器中且另一端延伸連接在探頭殼體的側(cè)壁上,所述導光光纖用于傳導所述發(fā)光件所發(fā)出的提示光。10.根據(jù)權利要求9所述的光譜共焦位移傳感器,其特征在于,所述入射光纖,接收光纖,導光光纖外表面套設有保護套,所述保護套一端固定設置在探頭殼體內(nèi)。光譜共焦位移傳感器可以實時監(jiān)測材料的變化情況,對于研究材料的力學性能具有重要意義。天津光譜共焦位移傳感器零售價格
光譜共焦位移傳感器是一種高精度具有廣泛的應用前景。珠海光譜共焦位移傳感器常用解決方案
這樣,通過棱鏡組對接收光纖的出光端發(fā)出的多色光進行色散,色散后的光通過聚焦透鏡組進行聚焦,使焦點位于感光元件上,通過感光元件與控制電路電性連接,從而實現(xiàn)電信號輸出,即對反射光進行量化處理,量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個光譜波峰,光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產(chǎn)生對應關系;光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應關系后進行分析,通過波光譜波峰位置反推出被測物體的位移,實現(xiàn)使用光譜共焦原理測量位移的過程。本實施例采用棱鏡組進行色散,具有較小的光能量損失。珠海光譜共焦位移傳感器常用解決方案