本發(fā)明提出的激光位移傳感器的成像物鏡和感光元件的調(diào)制傳遞函數(shù)(MTF)解析結(jié)果滿足MTFS＞MTFT或MTFT＞MTFS，能夠利用像散，讓呈現(xiàn)在感光元件上的光斑在水平方向(即，弧矢方向，S方向)變窄，而在豎直方向(即，子午方向，T方向)變長(或者讓光斑在水平方向(即，弧矢方向，S方向)變寬，而在豎直方向(即，子午方向，T方向)變窄)，有助于更加容易地確定光斑在水平方向上的中心位置，從而提高測量的準(zhǔn)確度；由于激光位移傳感器中感光元件的多個(gè)感光單元的陣列排布形狀為矩形或線形，將矩形長邊或直線的延伸方向上的MTF降低，也不會影響測量精度；不僅如此，由于在MTF值被拉高的方向上光斑變窄，而在MTF值被降低的方向上光斑變寬，所以光斑與像元之間的接觸面積增大，使得光斑更加容易地被感光元件所接收，能夠更好地應(yīng)對使用中因?yàn)檎駝踊驒C(jī)械變形等隨帶來的不良影響；此外，由于本發(fā)明提出的激光位移傳感器所采用的成像物鏡無需兼顧水平方向和CN1 06855391B4豎直方向的MTF值，所以能夠降低物鏡的設(shè)計(jì)難度，節(jié)省制造和維護(hù)成本；激光位移傳感器可以用于測量機(jī)械零件的尺寸和形狀。浦東新區(qū)激光位移傳感器生產(chǎn)廠家哪家好
在弧矢方向偏離2.1mm，IMA：-2.115，0.000mm為所成的像點(diǎn)在子午方向無偏離，在弧矢方向偏離-2.115mm。如圖3a至圖3c所示，在按照上述方式設(shè)計(jì)由成像物鏡6與感光元件7所組成的成像系統(tǒng)的MTF值后，不論被測物體在激光位移傳感器量程內(nèi)的什么位置，best終所呈現(xiàn)的光斑均為長條狀，且長條狀的光斑在子午方向(T)上被拉長，而在弧矢(S)方向上被壓縮。這樣，就能夠使得光斑與像元之間的接觸面積增大，使得光斑更加容易地被感光元件所接收，能夠更好地應(yīng)對使用中因?yàn)檎駝踊驒C(jī)械變形等隨帶來的不良影響。同時(shí)，還能夠降低成像物鏡的設(shè)計(jì)難度，降低成本。不僅如此，由于光斑在弧矢方向上被壓縮，所以更加容易確定光斑在弧矢方向上的中心位置，有助于提高測量精度。另外，光斑在子午方向上的拉長，并不會影響測量精度。松江區(qū)激光位移傳感器廠家直銷價(jià)格激光位移傳感器是利用激光技術(shù)進(jìn)行測量的傳感器。
隨著科學(xué)技術(shù)的迅猛發(fā)展，具有非接觸、高精度、穩(wěn)定性好、可自動化及易于與計(jì)算機(jī)相結(jié)合等特點(diǎn)的激光位移檢測技術(shù)在自動檢測、機(jī)器人視覺、計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)與制造等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用，已將逐漸取代傳統(tǒng)的接觸式檢測技術(shù)，成為現(xiàn)代檢測技術(shù)很重要的手段和方法。非接觸式激光平面檢測系統(tǒng)主要利用激光位移傳感器與平臺運(yùn)動控制系統(tǒng)來檢測對象物平面平整度。位移傳感器用來測量目標(biāo)物體的距離，按與對象物的接觸類型它分為兩類：主要有使用差動電壓等形式的接觸式與使用磁場、超聲波、激光等形式的非接觸式。由于非接觸式激光位移傳感器具有高精度表面掃描的特點(diǎn)，系統(tǒng)選擇基恩士公司的LT一9001Series型激光位移傳感器，該激光位移傳感器可以對任何對象物進(jìn)行高精密度的位移測定，例如可以對微細(xì)工件、粗面工件的高度進(jìn)行測定，還可以測量電路板上的焊錫以及測定透明體的表面和厚度。平臺運(yùn)動控制系統(tǒng)選擇丹納赫公司的ULTIMAC—G型控制器和二維電動平移臺。云南麗江天文工作站2.4mm天文望遠(yuǎn)鏡終端的拼接CCD相機(jī)為了得到更清晰的天體圖像，將采用該非接觸式激光平面檢測系統(tǒng)，對拼接CCD相機(jī)平面平整度進(jìn)行檢測。
從圖3所示的成像光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖可看出，在整個(gè)物面并不垂直于光軸時(shí)，經(jīng)過系統(tǒng)成像以后得到的像面也不垂直于光軸，與光軸存在一定的夾角β，設(shè)計(jì)的lastβ優(yōu)化值取為60.4628°，此時(shí)像面上可得到比較理想的光斑分布。在工作范圍內(nèi)不同視場的散射光均能很好地成像于探測器。在圖4中可看到不同視場的成像光斑形狀，此點(diǎn)列圖表明成像光斑分布均勻，但還存在一定的剩余像差，主要為球差，光斑大小可見表2，光斑直徑在20μm左右。同時(shí)根據(jù)設(shè)計(jì)結(jié)果可得像距為33.092mm，經(jīng)計(jì)算tanα/tanβ=0.6137，di/do=0.6145，此物鏡設(shè)計(jì)基本滿足于Scheimpflug理想成像條件。采用激光束對目標(biāo)物體進(jìn)行掃描和測量，因此可以實(shí)現(xiàn)非接觸式的位移測量。
系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)如圖1所示。從圖1可以看出，整個(gè)系統(tǒng)由上位機(jī)、激光位移傳感器和平臺運(yùn)動控制系統(tǒng)三部分組成。激光位移傳感器由激光位移控制器、感測頭和監(jiān)視器組成。平臺運(yùn)動控制系統(tǒng)主要由平移臺運(yùn)動控制器、驅(qū)動器、電源和二維電動平移臺組成。系統(tǒng)的部分設(shè)備如圖2所示。圖2列出了激光位移傳感器感測頭和二維電動平移臺。圖3為激光位移傳感器感測頭測量對象物原理。參考距離根據(jù)被測對象物的變化可測量范圍為2 mm，基準(zhǔn)距離為30 mm，傳感器顯示解析度為0.3μm，線性度達(dá)到滿量程的0.3％，即精度達(dá)到6μm。高精度激光位移傳感器的可靠性和穩(wěn)定性也是其優(yōu)點(diǎn)之一。松江區(qū)激光位移傳感器廠家直銷價(jià)格
它可以用于測量建筑結(jié)構(gòu)的變形和振動。浦東新區(qū)激光位移傳感器生產(chǎn)廠家哪家好
加工-測量-再加工-再測量是非球面加工的必要過程。非球面透鏡的高精度檢測不僅包括非球面表面形狀的檢測，還包括非球面中心偏差的測量。要求非球面透鏡的形狀誤差在幾厘米到幾十厘米的范圍內(nèi)小于1μm。受現(xiàn)有冷加工工藝、車床運(yùn)動誤差、磨削力變形及檢測誤差的限制，加工的非球面光學(xué)元件會產(chǎn)生一些質(zhì)量缺陷，無法保證跨尺度的產(chǎn)品滿足高精度要求。為了使非球面透鏡表面形狀誤差、中心偏差等參數(shù)滿足設(shè)計(jì)精度要求，往往需要利用被加工非球面工件的中心偏差檢測信息進(jìn)行多誤差校正和補(bǔ)償加工。浦東新區(qū)激光位移傳感器生產(chǎn)廠家哪家好