本實(shí)用新型解決的技術(shù)問(wèn)題在于，針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，提供一種光譜共焦位移傳感器，旨在通過(guò)光譜共焦工作原理，避免通過(guò)激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，克服不易確定像點(diǎn)的質(zhì)心位置的缺陷。本實(shí)用新型解決技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案如下： 一種光譜共焦位移傳感器，包括底座，其中，還包括有：光源耦合器，所述光源耦合器用于產(chǎn)生多色光； 入射光纖，所述入射光纖的入光端固定連接在所述光源耦合器中并用于接收所述光源耦合器所發(fā)出的多色光；該傳感器的測(cè)量范圍受到光譜共焦顯微鏡的成像范圍限制。校驗(yàn)光譜共焦位移傳感器產(chǎn)品原理
通過(guò)配置線傳感器和光學(xué)系統(tǒng)等以使得測(cè)量對(duì)象區(qū)域變成彼此不同的區(qū)域,可以高精度地執(zhí)行多點(diǎn)測(cè)量。多個(gè)光學(xué)頭可以是2個(gè)光學(xué)頭或者3個(gè)光學(xué)頭。利用本技術(shù),可以使用少量的組件來(lái)執(zhí)行2個(gè)或3個(gè)點(diǎn)的同時(shí)測(cè)量。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的測(cè)量方法包括射出具有不同波長(zhǎng)的多個(gè)光束。通過(guò)多個(gè)光學(xué)頭中的各光學(xué)頭,將所射出的多個(gè)光束會(huì)聚于不同的聚焦位置處,并且射出在聚焦位置處被測(cè)量點(diǎn)反射的測(cè)量光。使從多個(gè)光學(xué)頭射出的多個(gè)測(cè)量光束發(fā)生衍射,并且向線傳感器的不同的多個(gè)受光區(qū)域射出衍射光束?；诰€傳感器的多個(gè)受光區(qū)域各自的受光位置來(lái)計(jì)算作為多個(gè)光學(xué)頭的測(cè)量對(duì)象的多個(gè)測(cè)量點(diǎn)各自的位置。根據(jù)本發(fā)明,可以利用少量的組件來(lái)執(zhí)行多點(diǎn)測(cè)量。應(yīng)當(dāng)注意,不必局限于這里的效果,并且可以獲得說(shuō)明書(shū)中的任何效果。寧波光譜共焦位移傳感器歡迎選購(gòu)光譜共焦技術(shù)消除了光學(xué)像差和色差的影響，提高了測(cè)量精度。
一種光譜共焦傳感器,包括:光源部,用于射出具有不同波長(zhǎng)的多個(gè)光束:多個(gè)光學(xué)頭,用于將從所述光源部射出的所述多個(gè)光束會(huì)聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測(cè)量點(diǎn)反射的測(cè)量光:分光器,其包括:線傳感器,以及光學(xué)系統(tǒng),其包括用于使從所述多個(gè)光學(xué)頭射出的多個(gè)測(cè)量光束發(fā)生衍射的衍射光柵,并且向所述線傳感器的不同的多個(gè)受光區(qū)域射出通過(guò)所述衍射光柵所衍射的所述多個(gè)測(cè)量光束中的各個(gè)測(cè)量光束;以及位置計(jì)算部,用于基于所述線傳感器的所述多個(gè)受光區(qū)域各自的受光位置來(lái)計(jì)算作為所述多個(gè)光學(xué)頭的測(cè)量對(duì)象的多個(gè)測(cè)量點(diǎn)各自的位置。
將光纖和光纖連接至白色LED。具體地,光纖和被布置成使得它們的端部在白色LED 的發(fā)光區(qū)域中彼此充分地接近。因此,可以從單個(gè)白色LED 向光纖和射出白色光W。應(yīng)當(dāng)注意,可以適當(dāng)?shù)卦O(shè)計(jì)發(fā)光區(qū)域的面積和光纖的芯直徑等,并且還可以配置用于將白色光W向兩個(gè)光纖射出的光學(xué)系統(tǒng)等。光纖分束器將從光纖導(dǎo)入的白色光W導(dǎo)出至與No.1光學(xué)頭相連接的光纖。此外,光纖分束器34a將從光纖導(dǎo)入的測(cè)量光進(jìn)行分支,并且將其導(dǎo)出至與分光器相連接的光纖。因此,使從No.1光學(xué)頭射出的測(cè)量光從光纖射出到分光器的內(nèi)部。光譜共焦位移傳感器是一種高精度、高分辨率的位移測(cè)量技術(shù)，具有廣泛的應(yīng)用前景。
在光源耦合器上可裝配連接有入射光纖，入射光纖固定連接在光源耦合器上后，入射光纖的入光端固定連接在光源耦合器中，入射光纖用于接收并傳導(dǎo)所述多色光光源所發(fā)出的多色光；，在入射光纖的出光端固定連接有光譜共焦位移傳感探頭，光譜共焦位移傳感探頭用于對(duì)入射光傳導(dǎo)的多色光進(jìn)行軸向色散后將不同波長(zhǎng)的光分別在聚焦于軸向不同高度，并對(duì)被測(cè)物體的反射光進(jìn)行接收和傳導(dǎo)；在光譜共焦位移傳感探頭上固定連接有接收光纖，接收光纖的入光端固定設(shè)置在光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)，接收光纖的入光端用于選擇性的接收光譜共焦位移傳感探頭傳導(dǎo)的被測(cè)物體的反射光，接收到的反射光在接收光纖內(nèi)進(jìn)行傳導(dǎo)；該傳感器利用光路中的光譜信息來(lái)測(cè)量位移。常用光譜共焦位移傳感器哪個(gè)品牌好
傳感器需要使用的光譜共焦顯微鏡進(jìn)行測(cè)量。校驗(yàn)光譜共焦位移傳感器產(chǎn)品原理
在探頭殼體的內(nèi)側(cè)壁上固定設(shè)置有反光鏡，所述反光鏡用于反射所述半透半反光學(xué)鏡所發(fā)出的反射光，即反光鏡對(duì)半透半反光學(xué)鏡所反射的光線進(jìn)行再次反射，所述接收光纖入光端位于所述反光鏡的上方，通過(guò)反光鏡所反射的反射光進(jìn)入到接收光纖的入光端，再通過(guò)接收光纖傳遞反射光到光譜儀。本實(shí)施例中采用的入射光纖和接收光纖的入光端和出光端的用于導(dǎo)光的纖芯直徑均為微米級(jí)，直徑通常為50-100毫米，導(dǎo)光直徑非常小，當(dāng)反射光的焦點(diǎn)落在接收光纖的纖芯之外時(shí)，無(wú)法對(duì)反射光進(jìn)行接收，而需要測(cè)量的相應(yīng)波長(zhǎng)的反射光可以順利通過(guò)接收光纖的纖芯，被順利接收和傳導(dǎo)，實(shí)現(xiàn)對(duì)不同波長(zhǎng)的反射光進(jìn)行選擇和物理過(guò)濾，因此可以通過(guò)縮小光纖的纖芯直徑來(lái)使采樣信號(hào)更銳利，從提高采樣信號(hào)的信噪比和測(cè)量精確度。校驗(yàn)光譜共焦位移傳感器產(chǎn)品原理