通過配置線傳感器和光學(xué)系統(tǒng)等以使得測量對象區(qū)域變成彼此不同的區(qū)域,可以高精度地執(zhí)行多點測量。多個光學(xué)頭可以是2個光學(xué)頭或者3個光學(xué)頭。利用本技術(shù),可以使用少量的組件來執(zhí)行2個或3個點的同時測量。根據(jù)本發(fā)明的實施例的測量方法包括射出具有不同波長的多個光束。通過多個光學(xué)頭中的各光學(xué)頭,將所射出的多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在聚焦位置處被測量點反射的測量光。使從多個光學(xué)頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射,并且向線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出衍射光束。基于線傳感器的多個受光區(qū)域各自的受光位置來計算作為多個光學(xué)頭的測量對象的多個測量點各自的位置。根據(jù)本發(fā)明,可以利用少量的組件來執(zhí)行多點測量。應(yīng)當(dāng)注意,不必局限于這里的效果,并且可以獲得說明書中的任何效果。光譜共焦位移傳感器是一種高精度非接觸位移測量傳感器。鹽城光譜共焦位移傳感器零售價格
線傳感器可以是在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下布置的。在這種情況下,光學(xué)系統(tǒng)可以是在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下配置的,并且光學(xué)系統(tǒng)可以包括多個測量光束入射的多個光入射口,其中 多個光入射口在使用 預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下設(shè)置在不同位置處。通過以這種方式在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下在布置線傳感器的同時配置光學(xué)系統(tǒng),可以向線傳感器的不同受光區(qū)域射出相應(yīng)的測量光。特別地,通過使用該基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)來在不同位置處設(shè)置多個光入射口,可以容易將各測量光射出至多個受光區(qū)域。 預(yù)定基準(zhǔn)軸可以與在使 測量光從 分光器的虛擬光入射口入射至 光學(xué)系統(tǒng)的情況下的光軸相對應(yīng)。通過在使用測量光從虛擬光入射口入射的情況下的光軸作為基準(zhǔn)的情況下在布置線傳感器的同時配置光學(xué)系統(tǒng),可以將從多個光入射口入射的測量光分別射出至線傳感器的多個受光區(qū)域。閔行區(qū)光譜共焦位移傳感器行情光譜共焦位移傳感器可以應(yīng)用于材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、納米技術(shù)等多個領(lǐng)域。
這樣，通過棱鏡組對接收光纖的出光端發(fā)出的多色光進(jìn)行色散，色散后的光通過聚焦透鏡組進(jìn)行聚焦，使焦點位于感光元件上，通過感光元件與控制電路電性連接，從而實現(xiàn)電信號輸出，即對反射光進(jìn)行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產(chǎn)生對應(yīng)關(guān)系；光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應(yīng)關(guān)系后進(jìn)行分析，通過波光譜波峰位置反推出被測物體的位移，實現(xiàn)使用光譜共焦原理測量位移的過程。本實施例采用棱鏡組進(jìn)行色散，具有較小的光能量損失。
發(fā)光件和導(dǎo)光光纖的入光端之間，固定設(shè)置有濾光片，濾光片固定設(shè)置在發(fā)光件和導(dǎo)光光纖之間，濾光片用于過濾紅外線，以減少光熱效應(yīng)高的紅外線在傳遞到探頭殼體的位置時，使探頭殼體發(fā)熱變形而影響探頭精度。探頭殼體的側(cè)壁上開設(shè)有沉孔，連接導(dǎo)光光纖的出光端的插槽開設(shè)在沉孔底部，且導(dǎo)光光纖的出光端與沉孔的底部的插槽可拆卸連接；這樣，通過沉孔的設(shè)置，在探頭殼體上形成對導(dǎo)光光纖連接位進(jìn)行避讓，避免使用者在使用過程中觸碰到導(dǎo)光光纖，從而影響影響導(dǎo)光光纖，或損傷導(dǎo)光光纖與探頭殼體的連接位。光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對材料的微小變形進(jìn)行精確測量，對于研究材料的性能具有重要意義。
上三棱鏡上背向所述反光鏡的一面設(shè)置為啞光面，探頭殼體的末端固定設(shè)置有用于對光線進(jìn)行色散聚焦的色散鏡頭，色散鏡頭包括有準(zhǔn)直鏡組和色散聚焦鏡組，準(zhǔn)直鏡組設(shè)置在多色光光源的一側(cè)，用于多色光源的準(zhǔn)直；色散聚焦鏡組設(shè)置在被測物體的一側(cè)，用于將多色光分別聚焦，并產(chǎn)生軸向色散。光譜儀包括有機殼，固定設(shè)置在機殼中并位于接收光纖出光端的軸向上且用于對反射光進(jìn)行色散的棱鏡組，固定設(shè)置在所述棱鏡組的出光端并用于對色散后的光進(jìn)行聚焦的聚焦透鏡組，感光元件設(shè)置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的多色光。該傳感器的優(yōu)點包括高精度、非接觸式和抗溫度、抗振動等效應(yīng)。廣州光譜共焦位移傳感器哪個品牌好
它使用光譜共焦技術(shù)來測量物體的微小位移，能夠達(dá)到亞微米級的高精度。鹽城光譜共焦位移傳感器零售價格
隨著精密和超精密制造業(yè)的迅速發(fā)展,對高精密的檢測需求也越來越高,因此高精密的位移傳感器也應(yīng)運而生。超精密的位移傳感器精度可達(dá)到微納米級別;傳統(tǒng)的接觸式測量雖然也有較高的精度,但是由于其可能會劃傷被測物體表面,而且當(dāng)被測物體為弱剛性或是輕軟材料時,接觸式測量也會造成彈性形變,引入測量的誤差,而且接觸式測量速度較慢,難以實現(xiàn)自動化測量,基于接觸式測量存在的諸多不足,因此非接觸式位移傳感器受到了更大的關(guān)注。如今非接觸式測量主要有電磁式和光電式兩類,電磁式位移傳感器對被測物體的材料類型有要求,因此不具有wide適用性,而且外界的電磁信號的干擾也會對測量的精度造成影響;高精密光電式位移傳感器,目前常用的是基于激光三角法的位移傳感器,其測量原理是激光光源打在被測物體表面,反射的光經(jīng)過收光鏡簡,在光電探測器CCD上成像通過算法標(biāo)定可以推算出被測物體的位移。目前的光譜共焦位移傳感器大多采用分光鏡和線陣CCD采集干涉條紋的方法,通過兩束光源產(chǎn)生干涉,干涉條紋的寬度信息可以反映被測物的位移量測量信息,此種方案結(jié)構(gòu)復(fù)雜,成本相對較高;傳統(tǒng)的激光三角法光路容易出現(xiàn)遮擋,導(dǎo)致接收反射光困難,對透明玻璃或表面有凹坑的材料等更是難以測量。鹽城光譜共焦位移傳感器零售價格