本實施例中的光譜共焦位移傳感探頭具體包括有探頭殼體，探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接，探頭殼體優(yōu)先采用圓柱形殼體，用于對探頭內(nèi)的光學元件進行安裝和支撐且對結構進行保護，易于想到的是，探頭殼體可設置為方形，多邊形或其他特定形狀。在探頭殼體內(nèi)固定設置有半透半反光學鏡，半透半反光學鏡位于所述入射光纖的出光端的正下方；半透半反光學鏡對通過入射光纖傳導后的多色光實現(xiàn)一半透射而一半反射，而當透射的光線經(jīng)過被測物體反射形成反射光后照射到半透半反光學鏡上，半透半反光學鏡對反射光進行一半透射，一半反射；該傳感器適用于高分辨率成像系統(tǒng)，例如光學顯微鏡和掃描電子顯微鏡中的位移測量。石家莊光譜共焦位移傳感器量大從優(yōu)
上三棱鏡上背向所述反光鏡的一面設置為啞光面，探頭殼體的末端固定設置有用于對光線進行色散聚焦的色散鏡頭，色散鏡頭包括有準直鏡組和色散聚焦鏡組，準直鏡組設置在多色光光源的一側，用于多色光源的準直；色散聚焦鏡組設置在被測物體的一側，用于將多色光分別聚焦，并產(chǎn)生軸向色散。光譜儀包括有機殼，固定設置在機殼中并位于接收光纖出光端的軸向上且用于對反射光進行色散的棱鏡組，固定設置在所述棱鏡組的出光端并用于對色散后的光進行聚焦的聚焦透鏡組，感光元件設置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的多色光。鹽城光譜共焦位移傳感器主要功能與優(yōu)勢該傳感器的應用將有助于提高微納制造、生物醫(yī)學和半導體制造等領域中的精密測量的準確性。
一種光譜共焦傳感器,包括:光源部,用于射出具有不同波長的多個光束:多個光學頭,用于將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點反射的測量光:分光器,其包括:線傳感器,以及光學系統(tǒng),其包括用于使從所述多個光學頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射的衍射光柵,并且向所述線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個測量光束中的各個測量光束;以及位置計算部,用于基于所述線傳感器的所述多個受光區(qū)域各自的受光位置來計算作為所述多個光學頭的測量對象的多個測量點各自的位置。
采用入射光纖和接收光纖分離的方式，發(fā)射光和反射光從不同的光路中傳輸，從而避免光線在傳輸過程中產(chǎn)生內(nèi)部干擾，提高了光譜共焦系統(tǒng)的信噪比；而且通過設置發(fā)射光和反射光的單獨通道，光路更順暢，發(fā)射光和反射光分別在入射光纖和接收光纖中傳播時不會出現(xiàn)自身反射，從而避免光信號的干擾和能量損失。而傳統(tǒng)的光路設置過程中，采用的是Y型光纖，入射光纖和接收光纖在探頭內(nèi)耦合成一條光纖，形成Y型光纖，這樣會產(chǎn)生內(nèi)部串擾，降低信噪比，影響有效信號的提取和整個系統(tǒng)的穩(wěn)定性。而本方案中的入射光纖和接收光纖單獨進行設置，可以避免傳統(tǒng)Y型光纖的問題，使光的傳播更加穩(wěn)定。光譜共焦位移傳感器是一種高精度、非接觸式的位移測量傳感器。
根據(jù)權利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中，所述預定基準軸與在使所述測量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學系統(tǒng)的情況下的光軸相對應。根據(jù)權利要求2或3所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個光入射口被設置成從所述多個光入射口入射的所述多個測量光束各自的光軸變得與所述預定基準軸大致平行。根據(jù)權利要求2至4中任一項所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個光入射口設置在相對于所述預定基準軸相互對稱的位置處。根據(jù)權利要求3所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個光入射口設置在相對于所述虛擬光入射口相互對稱的位置處。根據(jù)權利要求2至6中任一項所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個光入射口沿著與所述線傳感器的線方向相對應的預定方向設置。光譜共焦位移傳感器是一種高精度非接觸式位移傳感器。南充光譜共焦位移傳感器設備生產(chǎn)
光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對不同材料的位移測量，包括金屬、陶瓷、塑料等。石家莊光譜共焦位移傳感器量大從優(yōu)
為使本實用新型的目的、技術方案及優(yōu)點更加清楚、明確，以下參照附圖并舉實施例對本實用新型進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例only用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。本實用新型提出一種光譜共焦位移傳感器，包括光源耦合器1000，所述光源耦合器1000包括有用于產(chǎn)生多色光的多色光光源1100；多色光光源1100可使用激光熒光系統(tǒng)，也可使用LED燈發(fā)光照射熒光粉產(chǎn)生白光，還可以是LED燈直接產(chǎn)生白光，光源耦合器1000產(chǎn)生的光能可以適當調(diào)節(jié)，同時通過反饋控制實現(xiàn)光源耦合器1000產(chǎn)生持續(xù)的、亮度恒定不變的多色光，從而使光能量和測量更加穩(wěn)定；光源耦合部分設置有帶通濾光片1200,讓有效的多色光通過,對無效的紅外光和熱量進行過濾,避免進入其他部件而造成熱變形，因此，對整體系統(tǒng)的性能有改善作用。石家莊光譜共焦位移傳感器量大從優(yōu)