在采用方式2的情況下，可以在成像物鏡前或成像物鏡6后加入能夠引入像散的光學(xué)元器件(如平板玻璃)，配合調(diào)整成像物鏡6與感光元件7之間的距離時(shí)，可以在微米量級(jí)進(jìn)行調(diào)整。每次調(diào)整后，可以進(jìn)行MTF解析，在判斷解析結(jié)果滿足上述條件時(shí)，停止調(diào)節(jié)。如果調(diào)整后發(fā)現(xiàn)解析結(jié)果不滿足上述條件，則繼續(xù)進(jìn)行調(diào)整。此外，在圖1所示的實(shí)施例中，反光元件8設(shè)置在接收物鏡6和感光元件7之間，從而可以提高所述激光位移傳感器的內(nèi)部空間利用率，減小其外形尺寸。在所述激光位移傳感器外形尺寸允許的情況下，反光元件8可省略。在測(cè)量光斑和成像物鏡6之間的帶通濾光片5被用來濾除或降低雜散光對(duì)測(cè)量系統(tǒng)的影響。激光位移傳感器是利用激光技術(shù)進(jìn)行測(cè)量的傳感器。寧波激光位移傳感器24小時(shí)服務(wù)
在一個(gè)實(shí)施例中，上述感光元件7可以為線陣CCD感光芯片，或者也可以是線陣CMOS感光芯片。在線陣CCD感光芯片或線陣CMOS感光芯片中，包括線形排列的多個(gè)感光單元，通常為直線排列，該直線的延伸方向?yàn)楦泄鈫卧闹饕帕蟹较?，這些感光單元沿著水平方向(弧矢方向)排列。由于感光單元為直線狀排列，因此，長條形光斑可增加與像元之間的接觸面積，可降低機(jī)械器件形變對(duì)所述激光位移傳感器信噪比的影響。[0045]在其他實(shí)施例中，上述感光元件7可以是面陣CCD感光芯片或面陣CMOS感光芯片。面陣CCD感光芯片或面陣CMOS感光芯片包括排列為矩形的多個(gè)感光單元，矩形的長邊沿著水平方向(弧矢方向)延伸，短邊沿著豎直方向(子午方向)延伸，其長邊的延伸方向即為感光單元的主要排列方向。這樣，長條形光斑同樣更加容易地被面陣CCD感光芯片或CMOS感光芯片接收到。高速激光位移傳感器廠家激光位移傳感器可以用于測(cè)量環(huán)境中的污染物濃度。
根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的激光位移傳感器主要包括激光器(例如，可以是CN1 06855391B5激光二極管)1、聚焦透鏡2、窗口玻璃3、帶通濾光片5、成像物鏡(也可稱為接收物鏡)6、感光元件7以及反光元件8。其中，該激光位移傳感器用于對(duì)被測(cè)物體4進(jìn)行測(cè)量。在圖1所示的結(jié)構(gòu)中，省略了激光位移傳感器的外殼。實(shí)際上，上述窗口玻璃3可以設(shè)置在激光位移傳感器的外殼上，供激光器所發(fā)出的光通過。激光位移傳感器的工作過程如下：由激光二極管1發(fā)射的激光束通過聚焦透鏡2聚焦、窗口玻璃3濾光后，照射在被測(cè)物體4的表面形成一個(gè)測(cè)量光斑，激光束可以垂直入射到被測(cè)物體4表面(即垂直入射)，也可與被測(cè)物體4表面成一定的角度(即斜入射)。該測(cè)量光斑由成像物鏡6成像，并在感光元件7形成測(cè)量信號(hào)。
一種激光位移傳感器，包括激光器、成像物鏡以及感光元件，所述激光器用于射出激光束，由所述成像物鏡接收并出射的光入射到所述感光元件，其特征在于，在對(duì)所述成像物鏡和所述感光元件進(jìn)行調(diào)制傳遞函數(shù)MTF解析時(shí)，解析結(jié)果滿足以下條件：在所述感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较虻那闆r下，MTFS>MTFT；在所述感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽游绶较虻那闆r下，MTFT>MTFS；其中，MTFS為弧矢方向上的MTF值，MTFT為子午方向上的MTF值；在所述感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较虻那闆r下，所述成像物鏡本身的MTFS>MTFT；或者，在所述感光元件的多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)樽游绶较虻那闆r下，所述成像物鏡本身的MTFT>MTFS，使得所述解析結(jié)果滿足所述條件；和/或在所述成像物鏡前和/或在所述成像物鏡后加入能夠引入像散的光學(xué)元器件，并且配合微調(diào)所述成像物鏡與所述感光元件之間的相對(duì)距離，使得所述解析結(jié)果滿足所述條件。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器，其特征在于，在進(jìn)行解析時(shí)，空間頻率為62.5lp/mm，如果所述多個(gè)感光單元的主要排列方向?yàn)榛∈阜较?，則MTFS>MTFT×10。這種傳感器還可以用于測(cè)量建筑物的結(jié)構(gòu)變形，以確保其安全性。
通過將空間頻率為62.5lp/mm時(shí)的MTF解析結(jié)果保持在MTFS＞MTFT×10或MTFT＞MTFS×10，尤其是讓解析結(jié)果滿足：MTFS≥0.5且MTFT＜0.05、或者M(jìn)TFT≥0.5且MTFS＜0.05，能夠讓光斑在感光元件的感光單元的主要排列方向上的延伸更加明顯，進(jìn)一步降低成像物鏡的設(shè)計(jì)難度、以及制造和維護(hù)成本；對(duì)于弧矢方向和子午方向MTF值差距不大的成像物鏡，通過在成像物鏡前和/或在成像物鏡后加入能夠引入像散的光學(xué)元器件(如平板玻璃等)，配合微調(diào)成像物鏡與所述感光元件之間的相對(duì)距離來使得成像物鏡和感光元件所組成整體的MTF值滿足上述要求，能夠很容易地讓光斑被拉長，更加容易被感光元件所接收；它可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)物體的變形情況，提供及時(shí)的預(yù)警和反饋。高速激光位移傳感器廠家
激光位移傳感器在精密制造行業(yè)中的應(yīng)用案例。寧波激光位移傳感器24小時(shí)服務(wù)
公開號(hào)為CN1 05138193A的中國發(fā)明專利申請(qǐng)公開一種用于光學(xué)觸摸屏的攝像模組及其鏡頭，具體而言，該專利申請(qǐng)采用拉高成像物鏡T方向的MTF值、壓低S方向的調(diào)質(zhì)傳遞函數(shù)(MTF)值，來提高光學(xué)觸摸屏裝置的靈敏性能。因此，該patent對(duì)于如何提高光學(xué)觸摸屏的靈敏性能，提出了解決方案。但是，激光位移傳感器不同于光學(xué)觸摸屏，隨著激光位移傳感器的使用，很可能會(huì)因?yàn)檎駝?dòng)、機(jī)械變形等原因，使得激光器發(fā)出的光斑無法正確投向傳感器，進(jìn)而導(dǎo)致無法進(jìn)行準(zhǔn)確檢測(cè)、甚至完全無法進(jìn)行測(cè)量的問題。而對(duì)于激光位移傳感器所面臨的設(shè)計(jì)難度高、易受振動(dòng)和機(jī)械變形影響的問題，上述patent無能為力。[0007]針對(duì)上述問題，目前尚未提出有效的解決方案。寧波激光位移傳感器24小時(shí)服務(wù)