本實(shí)用新型由于采用了上述技術(shù)方案,具有以下有益效果:1、該系統(tǒng)采用價(jià)格便宜的Y型光纖和光譜共焦透鏡組,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,使用方便,具有較強(qiáng)的實(shí)用性,實(shí)現(xiàn)了傳感器探頭的小型化,光源發(fā)射和接收同光路,利用光譜儀來(lái)對(duì)采集的光波進(jìn)行采集分析2、該系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,易于產(chǎn)業(yè)化,測(cè)量精度高,能對(duì)有凹坑的材料及具有高反射特性的玻璃進(jìn)行測(cè)量3、光譜共焦具有更高的分辨率,并且由于光發(fā)射和接收同光路,不會(huì)出現(xiàn)激光三角法光路容易被遮擋或被測(cè)目標(biāo)表面過(guò)于光滑而接收不到目標(biāo)反射光的情況,對(duì)被測(cè)物適應(yīng)性強(qiáng),適用于凹坑、小孔的測(cè)量以及表面形貌的掃描恢復(fù):4、可以解決傳統(tǒng)的激光三角法測(cè)量不了的領(lǐng)域,對(duì)一些高反射、高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙進(jìn)行測(cè)量,且測(cè)量精度能夠達(dá)到亞微米級(jí)別。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,實(shí)用性強(qiáng),不僅實(shí)現(xiàn)了傳感器探頭的小型化,有利于提高測(cè)量精度,而且適用于具有高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙進(jìn)行測(cè)量。該傳感器可用于微納制造、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域的精密測(cè)量。沈陽(yáng)光譜共焦位移傳感器銷售價(jià)格
多個(gè)光入射口可以沿著與線傳感器的線方向相對(duì)應(yīng)的預(yù)定方向設(shè)置。因此,可以容易地設(shè)計(jì)分光器。分光器可以包括設(shè)置有多個(gè)光入射口的光入射面。在這種情況下,多個(gè)光入射口可以設(shè)置在包括線方向和預(yù)定基準(zhǔn)軸的方向的平面與光入射面相交的直線上。因此,可以容易地設(shè)計(jì)分光器。在針對(duì)多個(gè)光學(xué)頭中的各光學(xué)頭將如下區(qū)域假定為測(cè)量對(duì)象區(qū)域的情況下，多個(gè)受光區(qū)域可以與分別對(duì)應(yīng)于多個(gè)光學(xué)頭的多個(gè)測(cè)量對(duì)象區(qū)域相對(duì)應(yīng),其中，該區(qū)域是線傳感器的從在射出多個(gè)光東中的具有shortest波長(zhǎng)的光作為測(cè)量光的情況下的受光位置到在射出具有longest波長(zhǎng)的光作為測(cè)量光的情況下的受光位置為止的區(qū)域。如何光譜共焦位移傳感器找哪家傳感器測(cè)量因成像范圍受限。
根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中，所述預(yù)定基準(zhǔn)軸與在使所述測(cè)量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學(xué)系統(tǒng)的情況下的光軸相對(duì)應(yīng)。根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個(gè)光入射口被設(shè)置成從所述多個(gè)光入射口入射的所述多個(gè)測(cè)量光束各自的光軸變得與所述預(yù)定基準(zhǔn)軸大致平行。根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項(xiàng)所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個(gè)光入射口設(shè)置在相對(duì)于所述預(yù)定基準(zhǔn)軸相互對(duì)稱的位置處。根據(jù)權(quán)利要求3所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個(gè)光入射口設(shè)置在相對(duì)于所述虛擬光入射口相互對(duì)稱的位置處。根據(jù)權(quán)利要求2至6中任一項(xiàng)所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個(gè)光入射口沿著與所述線傳感器的線方向相對(duì)應(yīng)的預(yù)定方向設(shè)置。
此外,物鏡使在聚焦位置P處被測(cè)量點(diǎn)所反射的可見光會(huì)聚到光纖處。具體地,殼體部的后端的連接口設(shè)置在聚焦于測(cè)量點(diǎn)上且被測(cè)量點(diǎn)反射的可見光由物鏡會(huì)聚至的共焦位置處。通過(guò)使光纖連接至連接口,可以選擇性地射出多個(gè)可見光束中的在聚焦位置P處被測(cè)量點(diǎn)反射的可見光作為測(cè)量光)。在圖1中,在物鏡和連接口之間示出了被待測(cè)物體0反射的RGB這三個(gè)顏色的光。在圖1所示的示例中,在聚焦位置處存在測(cè)量點(diǎn)。因此,使被測(cè)量點(diǎn)反射的綠色光G會(huì)聚到光纖處。結(jié)果,綠色光G的反射光作為測(cè)量光經(jīng)由光纖射出。這樣射出的測(cè)量光的波長(zhǎng)和光軸上的測(cè)量點(diǎn)的位置處于一對(duì)一關(guān)系。光譜共焦技術(shù)可以對(duì)材料表面和內(nèi)部進(jìn)行接觸式的檢測(cè)和分析。
公司投入大量的人力和物力，不斷攻克技術(shù)難題，推出了一系列具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高性能光譜共焦位移傳感器產(chǎn)品。例如，其研發(fā)的某型號(hào)傳感器在測(cè)量精度上達(dá)到了行業(yè)領(lǐng)跑水平，能夠滿足前列制造業(yè)對(duì)高精度測(cè)量的嚴(yán)格要求。三、現(xiàn)狀分析目前，光譜共焦位移傳感器已經(jīng)在眾多領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。在工業(yè)制造領(lǐng)域，它被用于汽車零部件的尺寸檢測(cè)、電子元器件的封裝檢測(cè)、機(jī)械加工的精度控制等；在科學(xué)研究領(lǐng)域，它被用于材料表面形貌分析、生物醫(yī)學(xué)研究等。此傳感器測(cè)量范圍受光譜共焦顯微鏡成像限。如何光譜共焦位移傳感器找哪家
它可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的表面形貌進(jìn)行高精度測(cè)量，對(duì)于研究材料的表面性質(zhì)具有重要意義。沈陽(yáng)光譜共焦位移傳感器銷售價(jià)格
入射光纖，接收光纖，多個(gè)導(dǎo)光光纖外表面套設(shè)有保護(hù)套，所述保護(hù)套一端固定設(shè)置在探頭殼體內(nèi)。這樣通過(guò)保護(hù)套使入射光纖，接收光纖，多個(gè)導(dǎo)光光纖形成通過(guò)光源耦合器產(chǎn)生多色光，多色光在入射光纖中傳導(dǎo)到光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)。通過(guò)光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)的半透半反光學(xué)鏡和色散鏡頭使多色光發(fā)生光譜色散，不同波長(zhǎng)的單色光聚焦到不同的軸向位置，使波長(zhǎng)與被測(cè)物體的位移產(chǎn)生對(duì)應(yīng)關(guān)系；被測(cè)物體表面反射的反射光通過(guò)探頭接收并由接收光纖傳輸?shù)焦庾V儀，光譜儀對(duì)反射光進(jìn)行聚焦并通過(guò)設(shè)置在光譜儀中的感光元件對(duì)反射光進(jìn)行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個(gè)光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測(cè)物體表面的波長(zhǎng)產(chǎn)生對(duì)應(yīng)關(guān)系；沈陽(yáng)光譜共焦位移傳感器銷售價(jià)格