光譜共焦位移傳感探頭,光譜共焦位移傳感探頭固定連接在入射光纖的出光端,光譜共焦位移傳感探頭用于對入射光纖傳導的多色光進行軸向色散后將不同波長的光分別聚焦,并對被測物體的反射光進行傳導。接收光纖,所述接收光纖的入光端固定設置在所述光譜共焦位移傳感探頭內,所述接收光纖的入光端用于選擇性的接收所述光譜共焦位移傳感探頭傳導的被測物體的反射光; 光譜儀,所述光譜儀固定連接所述接收光纖的出光端,所述光譜儀帶有感光元件并用于把被測物體的反射光進行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。光譜共焦技術可以對生物和材料的物理、化學、生物學等多個方面進行分析。武漢優(yōu)勢光譜共焦位移傳感器
采用入射光纖和接收光纖分離的方式,發(fā)射光和反射光從不同的光路中傳輸,從而避免光線在傳輸過程中產生內部干擾,提高了光譜共焦系統(tǒng)的信噪比;而且通過設置發(fā)射光和反射光的單獨通道,光路更順暢,發(fā)射光和反射光分別在入射光纖和接收光纖中傳播時不會出現自身反射,從而避免光信號的干擾和能量損失。而傳統(tǒng)的光路設置過程中,采用的是Y型光纖,入射光纖和接收光纖在探頭內耦合成一條光纖,形成Y型光纖,這樣會產生內部串擾,降低信噪比,影響有效信號的提取和整個系統(tǒng)的穩(wěn)定性。而本方案中的入射光纖和接收光纖單獨進行設置,可以避免傳統(tǒng)Y型光纖的問題,使光的傳播更加穩(wěn)定。標準光譜共焦位移傳感器廠家現貨基于白光 LED 的光譜共焦位移傳感器是一種新型的傳感器。
光譜共焦位移傳感器是一種具有超高精度和超高穩(wěn)定性的非接觸式位移傳感器。與激光三角法相比,光譜共焦具有更高的分辨率,并且由于光發(fā)射和接收同光路,不會出現激光三角法光路容易被遮擋或被測目標表面過于光滑而接收不到目標反射光的情況,對被測物體適應性強,適用于手機玻璃的檢測,凹坑、小孔的測量以及表面形貌的掃描恢復。 光譜共焦傳感器是一種基于光學色散原理的非接觸式位移傳感器,目的是建立距離與波長間的對應關系。傳統(tǒng)的激光三角法測量技術已經比較成熟,運用也比較widely,但由于CCD相機接收反射光范圍的限制,不能用于可以透光的透明材料和表面有凹坑缺陷玻璃的測量。光譜共焦位移傳感器由于其運用同光路的光纖,只要光能照射的區(qū)域就能夠沿原路返回,可以解決傳統(tǒng)的激光三角法測量不了的領域,對一些高反射、高深寬比、陡峭內壁表面有缺陷的玻璃間隙進行測量,且測量精度能夠達到亞微米級別。
為使本實用新型的目的、技術方案及優(yōu)點更加清楚、明確,以下參照附圖并舉實施例對本實用新型進一步詳細說明。應當理解,此處所描述的具體實施例only用以解釋本實用新型,并不用于限定本實用新型。本實用新型提出一種光譜共焦位移傳感器,包括光源耦合器1000,所述光源耦合器1000包括有用于產生多色光的多色光光源1100;多色光光源1100可使用激光熒光系統(tǒng),也可使用LED燈發(fā)光照射熒光粉產生白光,還可以是LED燈直接產生白光,光源耦合器1000產生的光能可以適當調節(jié),同時通過反饋控制實現光源耦合器1000產生持續(xù)的、亮度恒定不變的多色光,從而使光能量和測量更加穩(wěn)定;光源耦合部分設置有帶通濾光片1200,讓有效的多色光通過,對無效的紅外光和熱量進行過濾,避免進入其他部件而造成熱變形,因此,對整體系統(tǒng)的性能有改善作用。光譜共焦技術的研究和應用將推動科學技術的進步。
傳統(tǒng)的探頭中采用的是分光鏡,分光鏡有一定厚度,使光波產生了垂直光軸方向的橫向偏移,而波長不同,其橫向偏移不相等,導致多色光的光軸發(fā)生分離,經過色散鏡頭后的聚焦點上不在光軸上,其連線也不是一條直線,所以會產生較大的軸向像差和橫向像差而降低MTF值,使整個系統(tǒng)產生較大誤差,難以保證整個系統(tǒng)的測量精度。因此,本方案采用的半透半反光學鏡2300實現所有多色光的波長共光軸,不發(fā)生光軸偏移,即發(fā)射光線和接收光線沿光軸完全對稱,而且沒有垂直光軸方向的偏移,可以更好的消除像差,同時其結構簡單,提高機械結構的可加工性。點光譜如何測量物體表面粗糙度的?安徽光譜共焦位移傳感器供應
光譜共集技術的精度可以達到納米級別。武漢優(yōu)勢光譜共焦位移傳感器
本發(fā)明提供一種光譜共焦傳感器和測量方法。該光譜共焦傳感器包括:光源部,用于射出具有不同波長的多個光束;多個光學頭,用于將從所述光源部射出的所述多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點反射的測量光:分光器,其包括:線傳感器,以及光學系統(tǒng),其包括用于使從所述多個光學頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射的衍射光柵,并且向所述線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個測量光束:以及位置計算部,用于基于所述線傳感器的所述多個受光區(qū)域各自的受光位置來計算作為所述多個光學頭的測量對象的多個測量點的位置武漢優(yōu)勢光譜共焦位移傳感器