惠州3C電子產品DLC涂層加工

在討論DLC涂層前有必要介紹一下PVD處理技術，并理清一個活塞環(huán)行業(yè)內存在的概念性問題。所謂PVD即英文Physical Vapor Deposition的簡稱，意思為物理的氣相沉積，它本是鍍膜行業(yè)一種常用的鍍膜處理方法。物理的氣相沉積法（PVD）又可分為真空鍍，真空濺射和離子鍍等等，在活塞環(huán)DLC涂層上采用的濺射+離子源技術是把工件經清洗烘干等前處理后放進封閉的腔室內通過抽真空、蒸發(fā)，電離或濺射等過程，比較終在工件表面形成金屬化合物過渡層和摻雜DLC涂層。金屬離子來源于靶材，PVD處理時根據不同的金屬靶材和反應氣體，會生成不同種類的涂層，如：TiN（金黃色）、ZrN（青黃色）、CrN（銀灰色）、DLC（黑色）等等。真空涂層機DLC涂層的冷卻方法也不同，主要是控制冷卻速度。惠州3C電子產品DLC涂層加工

AlCrN涂層的制備需要關注的問題包括：①AlCrN物相織構的有效控制。理想的AlCrN涂層應具備（111）晶面的擇優(yōu)取向；②AlCrN涂層制備過程中，其導電性的影響；③AlCrN涂層表面的光整性及其切削過程中與被加工材料的粘連性。與TiAlN相比略顯粗糙，高倍下呈片狀或點狀結構，并伴有夾雜。常溫下CrAlN具有更高的硬度，可明顯減少磨損和摩擦；而在實際應用中AlCrN則更是表現(xiàn)出優(yōu)良的抗高溫氧化性能，即使溫度達到1000℃時其硬度也可保持在27GPa以上。對于切削刀具的涂層，在切削刃部則易產生堆積。在加工過程中，原始態(tài)的AlCrN涂層易于與鐵基材料發(fā)生粘連，影響加工質量，因此其后處理至關重要。青島模具DLC涂層淺析DLC涂層在醫(yī)療器械的應用。

近年來，DLC涂層在產業(yè)領域得到了越來越普遍的技術應用，尤其是自20世紀90年代中期以來，作為汽車零部件保護性涂層得到快速發(fā)展。DLC涂層摩擦性能也是其優(yōu)點，它摩擦系數很低，是一種優(yōu)異的表面抗磨損改性膜5。DLC涂層還有一個特點，就是它的耐腐蝕性，DLC涂層的耐腐蝕非常好，像這類化學涂層，在應用中存在很大的可能接觸一些酸性物料，所以它的耐腐蝕性使它的地位，在化學工業(yè)中，堅不可摧。DLC不但具有高硬度（Hv3500），還具有極低的摩擦系數（~0.08），使刀具在切削過程中很大程度上降低了由于摩擦產生的熱量，增強了排削性能，從而使刀具平均使用壽命提高3倍，被加工亞克力表面質量遠好于不涂層或其它涂層刀具。

DLC涂層作為一種新型結構材料和功能材料，其結構、性能參數檢測較傳統(tǒng)鍍鉻及氮化處理復雜，一般采用光譜儀、光電子能譜儀進行涂層結構分析（碳以sp3和 sp2鍵的形式存在）；采用干涉顯微鏡測量涂層厚度（3～20μm）；采用涂層附著力劃痕試驗機測量結合強度（50N以上）；采用摩擦磨損實驗機測量摩擦系數（0.2以下）；采用顯微硬度計測量涂層硬度（HV0.025，15 1500～2800），其涂層硬度測量值與涂層的厚度、負載及基體的硬度有關，在測試硬度時，涂層的厚度往往達不到測試時所加負載需要的比較低厚度要求，測試數據均為涂層/基體硬度。常溫下CrAlN具有更高的硬度，可明顯減少磨損和摩擦。

dlc涂層是一種由碳元素組成，與鉆石性質相似，同時又有石墨原子組成的物質。類金剛石dlc涂層。dlc涂層是一種無定形薄膜，由于其硬度高、彈性模量大、摩擦小、耐磨性好、真空摩擦學性能好等特點，被普遍應用于摩擦涂層中，受到摩擦學界的重視?，F(xiàn)有的dlc涂層薄膜制備方法有很多種，不同的制備方法所使用的碳源和離子能量到達基體表面時，沉積的dlc薄膜在結構和性能上有很大的差異，并且具有不同的摩擦特性。dlc膜的硬度和彈性模量隨沉積方法的不同而有很大的差別，采用磁濾陰極電弧沉積法可以得到硬度達到甚至超過金剛石的dlc膜，dlc膜的硬度可達50GPa以上，而離子源結合非平衡磁控濺射沉積法的硬度可達21GPa。PVD意思為物理的氣相沉積，它本是鍍膜行業(yè)一種常用的鍍膜處理方法。中山3C電子產品DLC涂層技術

DLC涂層作為一種新型結構材料和功能材料，其結構、性能參數檢測較傳統(tǒng)鍍鉻及氮化處理復雜?；葜?C電子產品DLC涂層加工

DLC薄膜通常是非晶的（即沒有占主導地位的晶格結構），由石墨和金剛石相的混合物組成。膜性能的控制強烈地依賴于所選擇的沉積技術的通量特性、膜內的金屬和氫含量、石墨和金剛石比、襯底偏置電壓、離子能量和離子密度以及襯底溫度。DLC膜對鋼的摩擦系數一般在0.05-0.20之間，而膜硬度和金剛石含量可以根據具體應用而定制。含金屬和氫的DLC(Me-DLC或a-C:H:Me)在500-2000HV范圍內具有35%金剛石的硬度，無金屬DLC(C-DLC或a-C:H)通常為1500-4000HV和高達75%金剛石，而四面體非晶碳(ta-C)在4000-9000HV范圍內具有80-85%金剛石?；葜?C電子產品DLC涂層加工

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