一種常見的CVD涂層是采用三種氣體——四氯化鈦(TiCl4)、氫氣(H2)和氮?dú)猓∟2)——來產(chǎn)生氮化鈦(TiN)+氯化氫(HCl)。HCl是該工藝的二次產(chǎn)物,必須按照嚴(yán)格的環(huán)保法規(guī)進(jìn)行處理。CVD法的優(yōu)勢包括較好的涂層粘附性,以及涂層分布的均勻性。CVD法的缺點(diǎn)是:涂層時(shí)的高溫會(huì)對(duì)基體產(chǎn)生不利影響,適用的涂層材料不多(因?yàn)橥繉硬牧鲜且詺鈶B(tài)形式提供的),以及工藝循環(huán)時(shí)間長。PVD涂層是一種相對(duì)較新的刀具涂層方法,在刀具行業(yè)正變得日益流行。PVD法是在真空環(huán)境中,將涂層材料從材料源(靶材)經(jīng)過傳送空間轉(zhuǎn)移到基體上。該方法采用加熱或電源供能的方式,將涂層材料氣化,然后使氣化的材料附著在基體上。真空涂層機(jī)DLC涂層的冷卻方法也不同,主要是控制冷卻速度。廣東PCB銑刀鉆頭DLC涂層處理廠家
PVD涂層是工業(yè)生產(chǎn)常用的刀具涂層,也是發(fā)展時(shí)刻較長的刀具涂層,在切削刀具、工模具等精加工行業(yè)有廣泛應(yīng)用。不過,跟著工業(yè)化生產(chǎn)水平的提高,關(guān)于刀具涂層的要求也越來越高。雖然制備辦法在不斷進(jìn)步,然而制備過程中依然難免會(huì)存在某些缺點(diǎn),這也是不可避免的。一、PVD涂層制備過程中的常見外表缺點(diǎn)1、大液滴是PVD涂層制備過程中,高能離子轟擊靶材獲得高堆積功率工況下的典型缺點(diǎn),一般顆粒的三維尺度比較均勻,大于1.5um,是嚴(yán)重影響刀具加工精度的涂層缺點(diǎn),對(duì)刀具的重復(fù)定位精度和加工件的外表質(zhì)量有影響。2、結(jié)瘤與片狀凸出是由于真空室內(nèi)的顆?;蛘呋w外表的顆粒在涂層堆積曾經(jīng)附著在基體外表,跟著堆積存在于涂層當(dāng)中,往往是較為松軟的涂層缺點(diǎn),缺點(diǎn)的面積尺度往往的大于高度,在運(yùn)用中易于剝落。3、空泛或盤形坑PVD涂層中存在與涂層的結(jié)合不牢的外來顆粒在高應(yīng)力效果下進(jìn)行自發(fā)掉落,構(gòu)成空泛缺點(diǎn);基體之間存在污染,在真空室冷卻時(shí)由于熱應(yīng)力效果而掉落構(gòu)成盤形坑或露出基體缺點(diǎn)。廣東PCB銑刀鉆頭DLC涂層處理廠家DLC涂層細(xì)膩光滑,自潤滑性好,摩擦系數(shù)通常在0.1以下。
PVD技術(shù)在高速鋼刀具領(lǐng)域的成功應(yīng)用引起了世界各國制造業(yè)的高度重視,人們?cè)诟傁嚅_發(fā)高性能、高可靠性涂層設(shè)備的同時(shí),也對(duì)其應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)展尤其是在硬質(zhì)合金、陶瓷類刀具中的應(yīng)用進(jìn)行了更加深入的研究。研究結(jié)果表明:與CVD工藝相比,PVD工藝處理溫度低,在600℃以下時(shí)對(duì)刀具材料的抗彎強(qiáng)度無影響;薄膜內(nèi)部應(yīng)力狀態(tài)為壓應(yīng)力,更適于對(duì)硬質(zhì)合金精密復(fù)雜刀具的涂層;PVD工藝對(duì)環(huán)境無不利影響,符合現(xiàn)代綠色制造的發(fā)展方向。隨著高速切削加工時(shí)代的到來,高速鋼刀具應(yīng)用比例逐漸下降、硬質(zhì)合金刀具和陶瓷刀具應(yīng)用比例上升已成必然趨勢,因此,工業(yè)發(fā)達(dá)國家自九十年代初就開始致力于硬質(zhì)合金刀具PVD涂層技術(shù)的研究,至九十年代中期取得了突破性進(jìn)展,PVD涂層技術(shù)已普遍應(yīng)用于硬質(zhì)合金立銑刀、鉆頭、階梯鉆、油孔鉆、鉸刀、絲錐、可轉(zhuǎn)位銑刀片、異形刀具、焊接刀具等的涂層處理。
DLC涂層在醫(yī)療器械的應(yīng)用:近年研究發(fā)現(xiàn),以DLC涂層具有很好的生物相容性,它對(duì)蛋白質(zhì)的吸附率高,對(duì)血小板的吸附率低,促進(jìn)材料表面白蛋白和內(nèi)皮細(xì)胞的吸附以及減小血小板吸附,從而減少血液凝固的可能性,使生物組織與植入的人工材料和平相處,不發(fā)生排斥反應(yīng),可作為人工關(guān)節(jié)材料、齒科材料、人工骨、人工心瓣材料、手術(shù)針和醫(yī)用導(dǎo)管等的表面涂層。DLC涂層在在刀具上的應(yīng)用:采用涂層技術(shù)可有效提高切削刀具使用壽命,使刀具獲得優(yōu)良的綜合機(jī)械性能,從而大幅度提高機(jī)械加工效率。因此,涂層技術(shù)與材料、切削加工工藝一起并稱為切削刀具制造領(lǐng)域的三大關(guān)鍵技術(shù)。涂層刀具是利用氣相沉積方法在較強(qiáng)度的硬質(zhì)合金或高速鋼基體表面涂覆幾個(gè)微米的高硬度、高耐磨性的難熔金屬或非金屬化合物涂層而獲得的。常用的涂層材料包括:金剛石、DLC、TiN、TiC、CrN、TiAIN、Al2O3、TiB2等。在PVD & PaCVD涂層組成和技術(shù)中,DLC涂層作為一個(gè)特的類別而脫穎而出。
DLC薄膜通常是非晶的(即沒有占主導(dǎo)地位的晶格結(jié)構(gòu)),由石墨和金剛石相的混合物組成。膜性能的控制強(qiáng)烈地依賴于所選擇的沉積技術(shù)的通量特性、膜內(nèi)的金屬和氫含量、石墨和金剛石比、襯底偏置電壓、離子能量和離子密度以及襯底溫度。DLC膜對(duì)鋼的摩擦系數(shù)一般在0.05-0.20之間,而膜硬度和金剛石含量可以根據(jù)具體應(yīng)用而定制。含金屬和氫的DLC(Me-DLC或a-C:H:Me)在500-2000HV范圍內(nèi)具有35%金剛石的硬度,無金屬DLC(C-DLC或a-C:H)通常為1500-4000HV和高達(dá)75%金剛石,而四面體非晶碳(ta-C)在4000-9000HV范圍內(nèi)具有80-85%金剛石。溫度對(duì)PVD涂層有什么影響?東莞五金件低溫涂層是什么
DLC(類金剛石)涂層作為一種較為常見的PVD涂層,和金剛石幾乎擁有一樣的特性。廣東PCB銑刀鉆頭DLC涂層處理廠家
現(xiàn)在dlc涂層也適用于剪刀、剃須刀等各種刀片。DLC膜減少了葉片與蒙皮之間的摩擦,提高了葉片的性能,延長了使用壽命。利用DLC薄膜優(yōu)異的摩擦性能,葉片的使用壽命明顯延長,尤其是表面摩擦系數(shù)降低后,噪音降低,深受用戶歡迎。dlc涂層還可以在很多關(guān)鍵部位發(fā)揮其優(yōu)異的性能,比如在制造的斯特林制冷機(jī)活塞中的應(yīng)用,利用其低摩擦系數(shù)降低摩擦,提高耐磨性,滿足無油潤滑和使用壽命的要求。dlc涂層在模具中的應(yīng)用還有很多其他的例子,如粉末冶金成型模具、塑料成型模具、引線框架彎曲模具、玻璃板成型模具、鎂合金加工模具、軸承等。廣東PCB銑刀鉆頭DLC涂層處理廠家
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