DLC是一種由碳元素組成的物質,在性質上類似于DIAMOND-LIKECRBON。DLC是一種非晶膜,因其硬度高、彈性模量大、摩擦因數低、耐磨性好、真空摩擦性好,非常適合作為耐磨涂層,引起了摩擦界的重視。目前制備DLC膜的方法很多,不同制備方法使用的碳源和到達基體表面的離子能量不同,沉積的DLC涂層結構和性能差別很大,摩擦性能也不同。下面就來了解一下DLC涂層沉積設備的系統(tǒng)組成都有哪些?一、熱水冷卻系統(tǒng)。在沉積室內,加熱系統(tǒng)和水冷系統(tǒng)均布于沉積室四周,可控制加熱溫度、速度和水量,并設有相應的報警器,旋轉系統(tǒng)設在沉積室底部,絕緣陶瓷絕緣,旋轉速度可控。二、真空系統(tǒng)。本機由機械泵、羅茨泵、擴散泵及相應的控制閥、測量元件組成,可根據工藝要求自由切換高、低真空。三、供氣系統(tǒng)。煤氣供應系統(tǒng)位于沉積室頂部,氣體種類包括H2、N2、Ar、CHa、C2H2、Si氣體,同時在沉積室頂部預留兩個通道接口,便于日后添加其它氣體。含有Si的過渡層是已確認的有利于DLC涂層與基體結合力的一種涂層,為得到Si,通常使用SiH4作為原料氣,但SiH4卻具有較高危險性,因此采用SiH4作為Si的含Si氣體源。次晶態(tài)金剛石顯示出優(yōu)越的力學性能和熱穩(wěn)定性,在G端技術領域和極端環(huán)境應用領域具有重要的應用前景。高精密模具類金剛石原理
PVD涂層薄膜的優(yōu)點:擁有較高硬度,低摩擦系數、并且還具有了很好的耐磨性和化學的穩(wěn)定性。PVD不只只提高了薄膜對于刀具基體材料的結合強度,涂層的成分也是由于代的TiC、TiCN、ZrN、CrN、MoS2、TiAlN、TiAlCN、TiN-AlN、CNx、DLC和ta-C等多元復合涂層。PVD涂層是當前國際上被普遍使用的先進的表面涂層處理技術。它的工作原理就是在真空的條件下,利用氣體進行放電使被蒸發(fā)物質部分離化掉,在氣體離子或被蒸發(fā)物質離子轟擊作用的同時把蒸發(fā)物或其反應物沉積在基材上。他還具有了沉積速度快和表面涂層清潔的特點,而且它還特別具有了膜層附著力很強、繞性好、可鍍材料普遍這些優(yōu)點。廣東汽車栓塞類金剛石處理廠家類金剛石涂層在對某些材料(Al、Ti及其復合材料)的機械加工方面具有明顯優(yōu)勢。
DLC涂層加工是屬于亞穩(wěn)態(tài)的材料的,因為它本身的熱穩(wěn)定性很好,所以DLC涂層才會在機械行業(yè)當中有了一席之地,并且DLC涂層的力學性能好,硬度大,彈性好,所以才使得DLC在很多工業(yè)刀具中脫穎而出,得到了廣大消費者的普遍使用。涂層的結構與材料,以及涂層覆蓋過程當中所使用的工藝將決定了這些涂層的屬性。但是由于這個可以實現的屬性所覆蓋的范圍廣闊,也就導致了DLC涂層在很多方面都大有用武之地。由于DLC還具有很高的耐磨性和杰出的摩擦性能以及抗粘屬性。
醫(yī)用器械實用的PVD涂層:1.氮化鈦(TiN),鍍層金色,其厚度范疇0.0001至0.0002英寸,維氏硬度范疇為2,400至2,600HV。PVD涂層2.鋁鈦氮化物(AlTiN),涂層炭黑色,厚度范疇0.0001至0.0002英寸,硬度范疇為4,000至4,200HV。3.氮化鉻(CrN,鍍層銀色,厚度范疇0.0001至0.0005英寸,硬度范疇為2,200至2,400HV。PVD涂層4.Alpha是一種多層涂層,其頂層具備氮化鋯(ZrN)并產生銀-金色。它的厚度范疇為0.0001至0.0002英寸,硬度比較高,為4,400至4,600HV。DLC類金剛石涂層工藝流程及參數。
一種常見的CVD涂層是采用三種氣體——四氯化鈦(TiCl4)、氫氣(H2)和氮氣(N2)——來產生氮化鈦(TiN)+氯化氫(HCl)。HCl是該工藝的二次產物,必須按照嚴格的環(huán)保法規(guī)進行處理。CVD法的優(yōu)勢包括較好的涂層粘附性,以及涂層分布的均勻性。CVD法的缺點是:涂層時的高溫會對基體產生不利影響,適用的涂層材料不多(因為涂層材料是以氣態(tài)形式提供的),以及工藝循環(huán)時間長。PVD涂層是一種相對較新的刀具涂層方法,在刀具行業(yè)正變得日益流行。PVD法是在真空環(huán)境中,將涂層材料從材料源(靶材)經過傳送空間轉移到基體上。該方法采用加熱或電源供能的方式,將涂層材料氣化,然后使氣化的材料附著在基體上。類金剛石涂層是一種在微觀結構上含有金剛石成分的涂層。東莞DLC類金剛石價格
利晟納米簡述類金剛石涂層的制備方法。高精密模具類金剛石原理
PVD技術在高速鋼刀具領域的成功應用引起了世界各國制造業(yè)的高度重視,人們在競相開發(fā)高性能、高可靠性涂層設備的同時,也對其應用領域的擴展尤其是在硬質合金、陶瓷類刀具中的應用進行了更加深入的研究。研究結果表明:與CVD工藝相比,PVD工藝處理溫度低,在600℃以下時對刀具材料的抗彎強度無影響;薄膜內部應力狀態(tài)為壓應力,更適于對硬質合金精密復雜刀具的涂層;PVD工藝對環(huán)境無不利影響,符合現代綠色制造的發(fā)展方向。隨著高速切削加工時代的到來,高速鋼刀具應用比例逐漸下降、硬質合金刀具和陶瓷刀具應用比例上升已成必然趨勢,因此,工業(yè)發(fā)達國家自九十年代初就開始致力于硬質合金刀具PVD涂層技術的研究,至九十年代中期取得了突破性進展,PVD涂層技術已普遍應用于硬質合金立銑刀、鉆頭、階梯鉆、油孔鉆、鉸刀、絲錐、可轉位銑刀片、異形刀具、焊接刀具等的涂層處理。高精密模具類金剛石原理
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