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常用的無氫DLC涂層制備方法:1、電弧離子鍍。電弧離子鍍是由Mattox于1964年首先公開了所發(fā)明的技術(shù)。它是在蒸發(fā)鍍膜的同時,用來源于等離子體的離子轟擊膜層。在上世紀70年代諸多電弧離子鍍技術(shù)相繼實用化,主要用于制備刀具涂層。電弧離子鍍技術(shù)屬于冷場致弧光放電,制備過程如下:工件經(jīng)清洗入爐后抽真空。當(dāng)真空度達到6X10-3Pa后,開啟烘烤加熱電源,對工件進行加熱。達到一定溫度后,通入氨氣,真空度降至(3~5)×10-1Pa。接通工件偏壓電源,電壓調(diào)至100~200V。此時產(chǎn)生輝光放電,從陰極弧源表面發(fā)射出碳原子和石墨原子。在工件負偏壓的作用下,沉積到工件形成DLC底層,以提高類金剛石涂層的附著力。2、離子輔助沉積。離子輔助沉積技術(shù)英文縮寫IAD,是一種真空蒸發(fā)為基礎(chǔ)的輔助沉積方法。是借助少量高能離子及大量高能中子的連續(xù)作用,將金屬或金屬化合物蒸氣沉積在工件的一種表面處理過程。真空蒸發(fā)鍍膜過程中沉積的原子或者分子在基體表面的有限遷移率形成柱狀的薄膜結(jié)構(gòu),所以在沉積的過程中對生長的薄膜利用離子源轟擊,將離子的動量傳給沉積的原子或分子,使沉積的分子或者原子的遷移率得到提高。了解DLC涂層在汽車領(lǐng)域的用途。肇慶DLC薄膜DLC涂層處理廠家
從根本上來看,DLC薄膜之所以未能在世界范圍內(nèi)獲得普遍應(yīng)用,主要技術(shù)瓶頸體現(xiàn)在以下幾個方面。①DLC薄膜在沉積過程中產(chǎn)生較高的內(nèi)應(yīng)力,使其與基體(特別是金屬材料)的結(jié)合力差,膜層容易起皮、脫落,限制了DLC薄膜的沉積厚度。為了克服這一問題,可利用多層膜和梯度膜作為過渡層,金屬或非金屬摻雜也是行之有效的手段。②DLC薄膜的熱穩(wěn)定性差,當(dāng)溫度高于200°C時即發(fā)生氫解離石墨化轉(zhuǎn)變,高于450°C時,開始出現(xiàn)明顯的氧化現(xiàn)象及完全氫解離,DLC薄膜性能將明顯變差,從而限制了其使用范圍。目前,主要是通過各種金屬或非金屬摻雜技術(shù)來解決這一問題,達到改善DLC薄膜熱穩(wěn)定性的目的。但是從表現(xiàn)結(jié)果來看,其熱穩(wěn)定性仍未得到明顯改善,如何通過各種結(jié)構(gòu)和成分設(shè)計來有效改善碳基薄膜C-C骨架的穩(wěn)定性仍然是未來技術(shù)突破的重中之重。③碳基薄膜材料存在韌性低、脆性強以及其摩擦學(xué)行為具強環(huán)境敏感性等問題,從目前來看,基于元素摻雜、多相復(fù)合、非晶-納米晶復(fù)合結(jié)構(gòu)構(gòu)筑、薄膜內(nèi)部特殊納米組織調(diào)控、微/納表界面織構(gòu)優(yōu)化等多尺度耦合設(shè)計來實現(xiàn)薄膜材料多界面/多結(jié)構(gòu)的跨尺度構(gòu)筑,可能是獲得強韌性和低環(huán)境敏感性碳基薄膜的突破口。佛山低溫DLC涂層技術(shù)DLC涂層非常適合涂覆鉆頭、刀片、立銑刀、鋸片、絲錐、沖頭、注塑模具等。
DLC涂層具有優(yōu)良的力學(xué)性能。(1)硬度及彈性不同的沉積方法制備的DLC膜硬度及彈性模量差異很大,用磁過濾陰極電弧法可以制備出硬度達到甚至超過金剛石的DLC膜,用陰極電弧法制備的DLC膜硬度可達50GPa以上,而用離子源結(jié)合非平衡磁控濺射法制備的DLC膜硬度達21GPa。膜層內(nèi)的成分對膜層的硬度有一定的影響,Si、N的摻入可以提高DLC膜的硬度。DLC膜具有較高的彈性模量,雖低于金剛石(110GPa),但明顯高于一般金屬和陶瓷的彈性模量。(2)內(nèi)應(yīng)力和結(jié)合強度薄膜的內(nèi)應(yīng)力和結(jié)合強度是決定薄膜的穩(wěn)定性和使用壽命,影響薄膜性能的兩個重要因素,內(nèi)應(yīng)力高和結(jié)合強度低的DLC膜容易在應(yīng)用中產(chǎn)生裂紋、褶皺,甚至脫落,所以制備的DLC膜具有適中的壓應(yīng)力和較高的結(jié)合強度。大部分研究表明,直接在基體上沉積的DLC膜的膜\基結(jié)合強度一般比較低,通過采用Ti\TiN\TiCN\TiC中間梯度過渡層的方法提高DLC膜與基體的結(jié)合強度,在模具鋼上沉積DLC膜的結(jié)合強度達44N-74N,制備的膜導(dǎo)總體厚度可達5um。
dlc涂層即類金剛石涂層,泛指不定性碳的晶體結(jié)構(gòu)材質(zhì)。在該材質(zhì)中碳原子以不同的排列方式錯中夾雜的結(jié)合在一起,從而使得該涂層具有天然的優(yōu)良性能。DLC涂層具有良好的抗粘結(jié)性。dlc膜具有很好的抗粘結(jié)性,特別是對有色金屬(如銅、鋁、鋅等),對塑料、橡膠、陶瓷等也有抗粘結(jié)性。DLC膜表面一般較光潔,對基材的表面光潔度沒有太大的影響,但隨著膜厚的增加,表面光潔度會下降。不同的沉積方法所得到的dlc膜表面光潔度也是不同的,采用離子源技術(shù)沉積的DLC膜表面質(zhì)量明顯優(yōu)于電弧離子鍍。DLC涂層也叫類金剛石涂層,是一種可實現(xiàn)無油自潤滑的涂層。
DLC涂層的工業(yè)化生產(chǎn)開始于上世紀末和本世紀初,和普通的應(yīng)用于刀具、模具上的硬質(zhì)涂層(如TiN,TiAlN,CrN,TiCN等)相比是一種有較廣泛應(yīng)用前景的涂層技術(shù)。目前在世界范圍內(nèi),能將這一技術(shù)很好應(yīng)用的廠家也屈指可數(shù)。DLC是新一代硬質(zhì)涂層技術(shù)和應(yīng)用的典型D表以及發(fā)展方向。從節(jié)約能源和環(huán)境保護的觀點上來看,現(xiàn)代加工業(yè)對不需要冷卻液的干式切削的要求越來越強烈。由于DLC具有極低的摩擦系數(shù)(0.05-0.2)和自潤滑性,當(dāng)干切溫度不超過DLC的熱穩(wěn)定溫度時,DLC涂層刀可作為干切刀使用,可降低刀具前刀面形成積屑瘤的可能性。低摩擦系數(shù)還可適當(dāng)降低切刷力,達到節(jié)能減排的目的。在有冷卻液的切削條件下,相同切屑要素下,DLC涂層刀具加工鋁合金的切削力比沒有涂層刀具和其它涂層刀具下降18%,而且被加工的金屬表面粗糙度可達到Ra.038。DLC涂層即類金剛石涂層,是一種非晶碳膜。佛山低溫DLC涂層技術(shù)
DLC涂層表面處理工藝一般包括加熱、保溫、冷卻三個過程,有時只有加熱和冷卻兩個過程。肇慶DLC薄膜DLC涂層處理廠家
涂層刀具的優(yōu)越性在韌性較好的刀片基體上進行表面涂層,涂覆具有高硬度、高耐磨性、耐高溫材料的薄層(如TiN、TiC等),使刀片具有全i面、良好的綜合性能。未涂層高速鋼的硬度只為62~68HRC(760~960HV),硬質(zhì)合金的硬度只為89~93.5HRA(1300~1850HV);而涂層后的表面硬度可達2000~3000HV以上。1.由于表面涂層材料具有很高的硬度和耐磨性,且耐高溫。故與未涂層的刀片相比,涂層刀具允許采用較高的切削速度,從而提高了切削加工效率;或能在相同的切削速度下,提高刀具壽命。2.由于涂層材料與被加工材料之間的摩擦系數(shù)較小,故涂層刀片的切削力小于未涂層刀片。3.用涂層刀片加工,零件的已加工表面質(zhì)量較好。4.由于涂層刀片的綜合性能良好,故涂層硬質(zhì)合金刀片有較好的通用性,一種涂層硬質(zhì)合金i牌號的刀片具有較寬的使用范圍肇慶DLC薄膜DLC涂層處理廠家
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