長三角類金剛石DLCDLC涂層加工技術(shù)

DLC涂層的熱穩(wěn)定性。由于DLC屬亞穩(wěn)態(tài)的材料，熱穩(wěn)定性差是限制DLC膜應(yīng)用的一個重要因素，在300℃以上退火時即出現(xiàn)了sp3鍵向sp2鍵轉(zhuǎn)變，為此，人們進(jìn)行了大量的工作試圖提高其熱穩(wěn)定性。有研究發(fā)現(xiàn)：Si的加入可以明顯改善DLC膜的熱穩(wěn)定性，含20at%Si的DLC膜在740℃退火時才出現(xiàn)sp3鍵向sp2鍵轉(zhuǎn)變。同樣，金屬(如Ti、W、Cr)的摻入也可提高DLC膜的熱穩(wěn)定性，我們正在對這方面進(jìn)行研究。DLC涂層的耐腐蝕性。純DLC膜具有優(yōu)異的耐蝕性，各類酸、堿甚至王水都很難侵蝕它。但摻雜有其他元素的DLC膜的耐蝕性有所下降，這是由于摻雜的元素首先被侵蝕，從而破壞了膜的連續(xù)性所致。傳統(tǒng)的DLC涂層通常不到5微米，很容易被刮擦掉，遠(yuǎn)遠(yuǎn)達(dá)不到發(fā)動機(jī)的實際使用壽命。長三角類金剛石DLCDLC涂層加工技術(shù)

DLC涂層是一種由石墨原子組成的碳材料，類似于鉆石。PVD涂層是物理i氣相沉積，是指通過PVD加工制作各種涂層的涂層。那么DLC涂層和PVC涂層有什么區(qū)別？一、特點不同PVD涂層具有耐磨、耐腐蝕、裝飾、導(dǎo)電、絕緣、光導(dǎo)、壓電、磁性、潤滑等特點。DLC涂層具有硬度高、摩擦系數(shù)低、耐磨、耐腐蝕、附著力好、環(huán)保等特點。二、方法不同PVD涂層方法有：真空蒸鍍、濺射鍍、電弧等離子體鍍、離子鍍、分子束延伸等。DLC涂層包括真空蒸發(fā)、濺射、等離子體輔助化學(xué)氣相沉積、離子注射等。三、用途不同PVD涂層廣泛應(yīng)用于航空航天、電子、光學(xué)、機(jī)械、建筑、輕工、冶金、材料等領(lǐng)域。DLC涂層廣泛應(yīng)用于鉆頭、銑刀、光盤模具及其輔助模具、剪刀、刮刀、粉末冶金模具、塑料模具、引線框彎曲模具、玻璃模具、鎂合金加工模具、軸承等機(jī)械功能領(lǐng)域。中山手機(jī)外殼DLCDLC涂層加工技術(shù)DLC涂層具有極高硬度，材料的高壓沖刷與顆粒很難對其造成損傷，從而延長模具壽命。

淺析制備工藝哪些參數(shù)影響DLC涂層摩擦系數(shù)？離子能量。離子能量即是指偏壓，依據(jù)相關(guān)研討，跟著偏壓升高，DLC涂層含氫量逐漸下降，而且添加sp3含量，可有效改進(jìn)DLC涂層內(nèi)應(yīng)力，增大膜基結(jié)合力，其突沖系數(shù)遠(yuǎn)比沒有添加偏壓時低得多。纖細(xì)顆粒。傳統(tǒng)陰極弧堆積辦法制備的DLC膜外表可能包括很多的納米/微米顆粒，添加外表粗糙度。經(jīng)過添加過濾設(shè)備(磁過濾器或機(jī)械過濾器)對顆粒進(jìn)行過濾和阻擋，使薄膜功能得以改進(jìn)。經(jīng)過直流或射頻等離子輔助化學(xué)氣相堆積、濺射和離子束堆積等辦法也可堆積十分潤滑的涂層(納米尺寸外表粗糙度)，然后削減乃至消除機(jī)械互鎖效應(yīng)對DLC膜突沖學(xué)功能的影響。

 DLC類涂層當(dāng)中z普遍的是通過各種PA-CVD（等離子輔助CVD，通過射頻、微波或其他等離子激i活方式）制備的含氫類DLC。含氫類DLC涂層具有相對高的顯微硬度（一般在2000～3000HV）和極低的摩擦系數(shù)（0.05～0.15，干式）。通過PA-CVD方法制備的含氫DLC涂層表面粗糙度非常低。Z近，它們已經(jīng)成為汽車引擎零部件，如梃桿、活塞桿和各種柴油噴射系統(tǒng)零部件涂層的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。另一類DLC涂層，ta-C涂層正在越來越引起人們的興趣。因為此類涂層具有非常高的硬度及其帶來的非常好的耐摩擦性能。另外，無氫類ta-C涂層結(jié)合某些潤滑劑能夠明顯減少摩擦，例如在尼桑汽車的發(fā)動機(jī)氣閥機(jī)構(gòu)上就有此類技術(shù)的應(yīng)用。此類DLC涂層一般通過石墨靶的電弧蒸發(fā)來獲得。涂層的特點是非常高的硬度值，一般在4000～7000HV，并且?guī)缀醪缓瑲?。所以常把此類涂層叫做無氫類DLC涂層。在ta-C類DLC涂層中，碳原子以類似水晶體4晶點結(jié)構(gòu)（四面體）為主體。DLC涂層非常適合涂覆鉆頭、刀片、立銑刀、鋸片、絲錐、沖頭、注塑模具等。

反響氣源的組成對DLC涂層結(jié)構(gòu)影響很大，特別是對DLC涂層的氫氣結(jié)構(gòu)有重要影響。首先，原子氫對石墨以及其他非金剛石相碳具有擇優(yōu)刻蝕的效果。堆積金剛石薄膜過程中，在沒有超平衡氫原子參與時，甲烷分解為石墨和金剛石鍵價結(jié)構(gòu)的速率是處于同一個數(shù)量級的?？墒钱?dāng)甲烷和氫氣的混合氣體中引入超平衡原子氫后，甲烷的熱分解效果和原子氫的刻蝕效果加在一起，就出現(xiàn)了金剛石的成長速率為正，石墨的成長速率為負(fù)的情況，即原子氫刻蝕石墨的速度遠(yuǎn)高于刻蝕金剛石的速度。因而，當(dāng)反響氣源中引入原子氫有利于添加DLC膜中sp3相含量，安穩(wěn)隨機(jī)共價鍵網(wǎng)絡(luò)，阻止其轉(zhuǎn)化為石墨相。其次，反響氣源中氫氣比例越高，DLC膜中含氫量越高，越有利于完成超i低突沖系數(shù)。經(jīng)過改變DLC膜中的氫含量，突沖因數(shù)可改變幾個數(shù)量級。DLC涂層中碳的存在形式有金剛石,石墨,富勒烯,碳納米管和石墨烯等。珠三角零配件低摩擦DLC涂層應(yīng)用

DLC涂層表面仍含有大量的鎢，這表明與傳統(tǒng)添加劑相比，DLC涂層表面的磨損更小。長三角類金剛石DLCDLC涂層加工技術(shù)

DLC涂層加工的主要作用有以下三點:(1)保護(hù)作用。鋁合金型材在使用過程中，長期暴露于空氣中，會受到氧、水分、酸物、鹽霧及各種腐蝕性氣體、紫外光線等的侵蝕和破壞。在需要受到保護(hù)的工件表面通過一定的涂裝工藝方法形成具有一定厚度的涂層(即保護(hù)層)，從而起到保護(hù)作用。(2)裝飾作用。涂料可以配制出多種多樣的顏色，加上涂層平整光亮，甚至可以做出各種立體質(zhì)感的效果，如錘紋、橘紋、晶紋、絨面等，使產(chǎn)品形成美麗的造型和外觀以及所需要的特種性能，起到美化人類生活環(huán)境的作用。(3)其他作用。涂層除了具有保護(hù)和裝飾作用外，還具有許多特殊的功能，如電絕緣、導(dǎo)靜電、防污、耐熱、耐磨、保溫、反光、防噪聲、減震、防滑、防紫外線等。涂層的這些特殊功能，增強(qiáng)了產(chǎn)品的使用性能，拓寬了產(chǎn)品的適用范圍，使涂層產(chǎn)品在國民經(jīng)濟(jì)領(lǐng)域的應(yīng)用越來越廣長三角類金剛石DLCDLC涂層加工技術(shù)

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