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反響氣源的組成對DLC涂層結(jié)構(gòu)影響很大,特別是對DLC涂層的氫氣結(jié)構(gòu)有重要影響。首先,原子氫對石墨以及其他非金剛石相碳具有擇優(yōu)刻蝕的效果。堆積金剛石薄膜過程中,在沒有超平衡氫原子參與時,甲烷分解為石墨和金剛石鍵價結(jié)構(gòu)的速率是處于同一個數(shù)量級的??墒钱敿淄楹蜌錃獾幕旌蠚怏w中引入超平衡原子氫后,甲烷的熱分解效果和原子氫的刻蝕效果加在一起,就出現(xiàn)了金剛石的成長速率為正,石墨的成長速率為負的情況,即原子氫刻蝕石墨的速度遠高于刻蝕金剛石的速度。因而,當反響氣源中引入原子氫有利于添加DLC膜中sp3相含量,安穩(wěn)隨機共價鍵網(wǎng)絡,阻止其轉(zhuǎn)化為石墨相。其次,反響氣源中氫氣比例越高,DLC膜中含氫量越高,越有利于完成超i低突沖系數(shù)。經(jīng)過改變DLC膜中的氫含量,突沖因數(shù)可改變幾個數(shù)量級。DLC涂層廠多弧鍍膜與磁控濺射法鍍膜各有優(yōu)劣。廣東手表外殼DLCDLC涂層視頻
DLC涂層的應用方向有哪些?(1)鉆頭、銑刀DLC膜可以應用于鉆頭和銑刀上,特別是摻雜金屬的DLC膜,它不僅具有高的硬度,還具有低的摩擦系數(shù)、抗有色金屬粘結(jié)。(2)光盤模具及其輔助模具光盤模具是生產(chǎn)CD、CDR、DVD的重要工具,為了減少它與母盤(鎳盤)的摩擦,希望模具表面硬且摩擦系數(shù)小,目前,國外大多采用DLC膜層,提高了模具的壽命和盤片的質(zhì)量。鍍膜之后有硬度高,摩擦系數(shù)低,耐磨,耐腐蝕,抗粘結(jié)性好且環(huán)保等特點。(3)芯軸DLC膜的耐磨減摩及耐腐蝕性,可顯著提高齒輪、芯軸等運動部件的使用性能及壽命。汕頭模具DLCDLC涂層加工DLC涂層兼?zhèn)涓哂捕龋ǎ綡V2700)及較低的干摩擦系數(shù)(0.06-0.1),是一種可實現(xiàn)無油自潤滑的涂層。
無氫DLC涂層有哪些性能優(yōu)勢?1、彈性模量.無氫DLC涂層具有較高的彈性模量,雖低于金剛石(110GPa),但明顯高于一般金屬和陶瓷的彈性模量。彈性模量是指單向應力狀態(tài)下應力除以該方向的應變,是描述物質(zhì)彈性的物理量。從宏觀角度來說,彈性模量是衡量物體抵抗彈性變形能力大小的尺度,從微觀角度來說,則是原子、離子或分子之間鍵合強度的反映。2、內(nèi)應力涂層的內(nèi)應力是決定涂層的穩(wěn)定性和使用壽命,影響涂層性能的重要因素之一。內(nèi)應力過高的無氫DLC涂層容易在應用過程中產(chǎn)生裂紋,甚至脫落。因此無氫DLC涂層應具有適中的內(nèi)應力。所謂內(nèi)應力,是指當外部荷載去掉以后,仍殘存在物體內(nèi)部的應力。它是由于材料內(nèi)部宏觀或微觀的組織發(fā)生了不均勻的體積變化而產(chǎn)生的。
應用于活塞環(huán)上的DLC主要采用磁控濺射技術(shù)和離子束技術(shù)多層復合沉積而成。等離子體源在相應的電源和反應氣體的共同作用下,將原材料變成大量微觀帶電的等離子體。這些提供涂層主要成分的等離子體隨著鍍膜設備內(nèi)產(chǎn)生的電磁場的分布,有規(guī)律地做定向運動,Z終在需要沉積的工件位置,逐漸形成宏觀可見的、具有一定厚度的涂層。其中,磁控濺射技術(shù)沉積速率高,穩(wěn)定性高,均勻性好,結(jié)合力強,需要沉積的材料只要制作成相應的塊狀靶材即可安裝在靶座上;在涂層沉積過程中,該技術(shù)負責沉積與基材接觸的底層以及介于底層和Z外層的功能層之間的過渡層。離子束技術(shù)主要用來沉積功能層,含碳的反應氣體在離子束源產(chǎn)生的強電場作用下被電離成等離子體并沉積到上述過渡層上。因為是氣體作為碳元素的來源,所以沉積出的涂層結(jié)構(gòu)更為致密,表面更為光滑和黑亮。過渡層的存在能夠有效地提高納米硬度范圍,從而能夠?qū)崿F(xiàn)功能層厚度的增加,并且可以有效緩沖后功能層帶來的巨大應力,提高復合薄膜與基材的結(jié)合力。同時,由于過渡層的表面微觀結(jié)構(gòu)良好,不會破壞DLC自身的粗糙度,從而保證復合涂層具有較低的摩擦系數(shù)近年來出現(xiàn)的含氫DLC涂層(以下簡稱DLC)和無氫DLC涂層(以下簡稱TaC)作為一種新的涂層材料和技術(shù)。
硬質(zhì)合金刀具涂層方法近半個世紀以來,為提升刀具性能刀具表面涂層技術(shù)已成為主流,鍍層就像刀具的盔甲一樣,具有強大的防護、耐酸、耐氧化抗磨耗等特性,能夠提高刀具表面硬度與熱穩(wěn)定係數(shù),并降低摩擦係數(shù)以提升切削速度,從而提高加工效率也提升刀具壽命。刀具涂層技術(shù)可分為CVD(化學)與PVD(物理)兩大類:CVDCVD為化學氣相沉積(chemicalvapordeposition),利用生產(chǎn)純度高與效能佳的固態(tài)材料化學技術(shù),被廣泛應用在硬質(zhì)合金可轉(zhuǎn)為刀具的表面處理,像是半導體產(chǎn)業(yè)會使用此技術(shù)來成長薄膜。CVD是將反應源以氣體形式通入反應腔中,經(jīng)由氧化、還原與基板反應進行化學的反應,進而生成物藉由內(nèi)擴散作用而沉積至基板表面上。而反應過程中也有可能會產(chǎn)生不同的副產(chǎn)品,但大多會隨著氣流帶走,并不會留在反應腔中。CVD技術(shù)主要用于硬質(zhì)和金車削類的刀具涂層,適合用于中型、重型切削的高速加工,且比較起來CVD設備簡單、工藝成熟,沉積物種類多,速率高易控制,有高度的滲透性與均勻性,能獲得不同組織的多層涂層且厚薄均勻,重要的是工藝成本低,適合大量生產(chǎn)。DLC類金剛石涂層應用領域。廣東手表外殼DLCDLC涂層視頻
DLC涂層表面處理工藝一般包括加熱、保溫、冷卻三個過程,有時只有加熱和冷卻兩個過程。廣東手表外殼DLCDLC涂層視頻
DLC類涂層當中z普遍的是通過各種PA-CVD(等離子輔助CVD,通過射頻、微波或其他等離子激i活方式)制備的含氫類DLC。含氫類DLC涂層具有相對高的顯微硬度(一般在2000~3000HV)和極低的摩擦系數(shù)(0.05~0.15,干式)。通過PA-CVD方法制備的含氫DLC涂層表面粗糙度非常低。Z近,它們已經(jīng)成為汽車引擎零部件,如梃桿、活塞桿和各種柴油噴射系統(tǒng)零部件涂層的工業(yè)標準。另一類DLC涂層,ta-C涂層正在越來越引起人們的興趣。因為此類涂層具有非常高的硬度及其帶來的非常好的耐摩擦性能。另外,無氫類ta-C涂層結(jié)合某些潤滑劑能夠明顯減少摩擦,例如在尼桑汽車的發(fā)動機氣閥機構(gòu)上就有此類技術(shù)的應用。此類DLC涂層一般通過石墨靶的電弧蒸發(fā)來獲得。涂層的特點是非常高的硬度值,一般在4000~7000HV,并且?guī)缀醪缓瑲?。所以常把此類涂層叫做無氫類DLC涂層。在ta-C類DLC涂層中,碳原子以類似水晶體4晶點結(jié)構(gòu)(四面體)為主體。廣東手表外殼DLCDLC涂層視頻
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