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金剛石涂層工藝流程:1、工件基體處理。這一步是比較重要的,將工件拋光到小于Ra0.2um,涂覆處理后的工件才可得到滿意的表面質量,這對成形一些具有光學性能要求的零件是非常重要的,類似成形光學鏡頭和成形LED零件等。操作的時候需要注意基體表面處理不能留有死角,這影響到膜層是否能與基體牢固地結合。2、充分清洗。將要涂覆的工件進行充分清洗,涂覆的母材、質量水平和幾何形狀決定了清洗的工藝。工件裝在設定的夾具上,夾具是在使腔體裝載尺寸優(yōu)化和保證涂覆均勻的基礎上設計的。清洗方法為真空室抽真空至10-6托(高真空)來排除系統(tǒng)中的任何污染物,真空室中通入惰性氣體并使其離子化,導致產生輝光放電(等離子體),這是氣體清洗階段使零件做好金屬沉淀準備。3、金屬沉淀。在用于沉淀的固體金屬上(指靶材)加載高電流、低電壓電弧,金屬被蒸發(fā)并且瞬間離子化,屬離子在高能量的作用下通過惰性氣體或活性氣體進入腔體并沉淀在工件上。在金屬沉淀過程中蒸發(fā)了的金屬(靶材)保持不變。在激i活的沉淀過程中,改變氣體的體積或種類將會改變膜層的性質,形成像碳化物、氮化物或氧化物的陶瓷。同樣,通過改變靶材的材質也可以產生不同的膜層。近年來出現(xiàn)的含氫DLC涂層(以下簡稱DLC)和無氫DLC涂層(以下簡稱TaC)作為一種新的涂層材料和技術。汕頭DLC鍍膜DLC涂層哪家好
DLC涂層具有優(yōu)良的力學性能。(1)硬度及彈性不同的沉積方法制備的DLC膜硬度及彈性模量差異很大,用磁過濾陰極電弧法可以制備出硬度達到甚至超過金剛石的DLC膜,用陰極電弧法制備的DLC膜硬度可達50GPa以上,而用離子源結合非平衡磁控濺射法制備的DLC膜硬度達21GPa。膜層內的成分對膜層的硬度有一定的影響,Si、N的摻入可以提高DLC膜的硬度。DLC膜具有較高的彈性模量,雖低于金剛石(110GPa),但明顯高于一般金屬和陶瓷的彈性模量。(2)內應力和結合強度薄膜的內應力和結合強度是決定薄膜的穩(wěn)定性和使用壽命,影響薄膜性能的兩個重要因素,內應力高和結合強度低的DLC膜容易在應用中產生裂紋、褶皺,甚至脫落,所以制備的DLC膜具有適中的壓應力和較高的結合強度。大部分研究表明,直接在基體上沉積的DLC膜的膜\基結合強度一般比較低,通過采用Ti\TiN\TiCN\TiC中間梯度過渡層的方法提高DLC膜與基體的結合強度,在模具鋼上沉積DLC膜的結合強度達44N-74N,制備的膜導總體厚度可達5um。中山刀具DLCDLC涂層處理DLC涂層主要有兩種方式實現(xiàn),一種是CVD,化學氣相沉積,還有一種是PVD。
制備較厚無氫DLC涂層的方法:生產無氫DLC涂層的技術還有待發(fā)展,生產超過5微米技術已經(jīng)比較少見,原因是由于金剛石涂層的硬度高,與基底的結合力問題不好解決,另外沉積過程中金剛石涂層本身的內應力也非常大,所以無氫DLC涂層工藝的難度很高。從生產設備的角度來看,如果需要沉積厚度超過50微米的涂層,涂層本身沉積速率比較低的情況下,需要很長的沉積時間,所以弧源的設計和供氣方式都有很高的設計要求。德國研究所設計了一種石墨柱弧的弧源,利用高能量的激光系統(tǒng),轟擊石墨柱弧的表面,在沒有離子源輔助沉積的情況下,生產出了厚度超過50微米的純碳無氫DLC涂層,主要應用在汽車零部件方面,高性能汽車的曲軸、活塞、活塞環(huán)、氣門頂桿等。該制備方法需要長期在復雜的摩擦條件下可靠工作,需要很高的耐磨和潤滑性能,但質量優(yōu)異,在超過30年的時間里可以免維護。
dlc涂層即類金剛石涂層,泛指不定性碳的晶體結構材質。在該材質中碳原子以不同的排列方式錯中夾雜的結合在一起,從而使得該涂層具有天然的優(yōu)良性能。DLC涂層具有良好的抗粘結性。dlc膜具有很好的抗粘結性,特別是對有色金屬(如銅、鋁、鋅等),對塑料、橡膠、陶瓷等也有抗粘結性。DLC膜表面一般較光潔,對基材的表面光潔度沒有太大的影響,但隨著膜厚的增加,表面光潔度會下降。不同的沉積方法所得到的dlc膜表面光潔度也是不同的,采用離子源技術沉積的DLC膜表面質量明顯優(yōu)于電弧離子鍍。DLC涂層因其內應力較大,涂層的結合力是穩(wěn)定性的關鍵。
DLC涂層表面非常光滑,有著耐磨和固體潤滑功能。其應用非常廣,在不同工業(yè)領域都能找到它的應用例子。涂層(coating)是涂料一次施涂所得到的固態(tài)連續(xù)膜,是為了防護,絕緣,裝飾等目的,涂布于金屬,織物,塑料等基體上的塑料薄層。涂料可以為氣態(tài)、液態(tài)、固態(tài),通常根據(jù)需要噴涂的基質決定涂料的種類和狀態(tài)。依據(jù)所用涂料的種類而有不同的稱呼,如底漆的涂層稱為底漆層,面漆的涂層稱為面漆層。一般涂料所得涂層較薄,約在20~50微米,厚漿型涂料則一次可得厚達1毫米以上的涂層。是為了防護,絕緣,裝飾等目的,涂布于金屬,織物,塑料等基體上的塑料薄層。DLC具有良好的耐磨、減磨特性,是一種優(yōu)異的表面抗磨損改性膜。DLC膜在在紅外區(qū)具有很高的透過率,在可見光區(qū)有一定程度的吸收,它的折射率一般在1.5-2.5,受沉積技術的影響而有所不同,根據(jù)工藝條件不同而改變。另外,DLC具有優(yōu)異的抗腐蝕能力,耐酸、耐堿。正是由于DLC的這些特性,DLC一直被普遍用在紅外窗口器件上,用于保護涂層。DLC是一種由碳元素構成、在性質上和鉆石類似,同時又具有石墨原子組成結構的物質。廣州DLC加工DLC涂層價格
淺談DLC涂層設備的技術原理。汕頭DLC鍍膜DLC涂層哪家好
無氫DLC涂層有哪些性能優(yōu)勢?1、彈性模量.無氫DLC涂層具有較高的彈性模量,雖低于金剛石(110GPa),但明顯高于一般金屬和陶瓷的彈性模量。彈性模量是指單向應力狀態(tài)下應力除以該方向的應變,是描述物質彈性的物理量。從宏觀角度來說,彈性模量是衡量物體抵抗彈性變形能力大小的尺度,從微觀角度來說,則是原子、離子或分子之間鍵合強度的反映。2、內應力涂層的內應力是決定涂層的穩(wěn)定性和使用壽命,影響涂層性能的重要因素之一。內應力過高的無氫DLC涂層容易在應用過程中產生裂紋,甚至脫落。因此無氫DLC涂層應具有適中的內應力。所謂內應力,是指當外部荷載去掉以后,仍殘存在物體內部的應力。它是由于材料內部宏觀或微觀的組織發(fā)生了不均勻的體積變化而產生的。汕頭DLC鍍膜DLC涂層哪家好
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