近年來，DLC涂層在工業(yè)領(lǐng)域得到了越來越普遍的技術(shù)應(yīng)用，尤其是自20世紀90年代中期以來，作為汽車零部件保護性涂層得到快速發(fā)展。DLC涂層具有獨特的高硬度和低摩擦系數(shù)，并且具有極強地不與金屬材料粘結(jié)的性能。因此，這種涂層技術(shù)成為汽車行業(yè)應(yīng)用的理想選擇。DLC涂層的分類：DLC（金剛石膜）涂層設(shè)備主要是（集）直流磁控濺射、中頻濺射和電弧離子蒸騰三種技能，結(jié)合線性離化源和脈沖偏壓涂層可提高沉積顆粒細化膜功能，可在金屬產(chǎn)品和非金屬表面涂合金膜、化合物膜、多層復合膜等。DLC涂層設(shè)備技術(shù)作為一種生產(chǎn)特定膜層的技術(shù)，普遍應(yīng)用于實際生產(chǎn)日。DLC涂層設(shè)備技能有蒸騰涂層、濺射涂層和離子涂層三種方式。DLC涂層設(shè)備在中間設(shè)置真空室，在真空室左右兩側(cè)設(shè)置左右門，蒸騰DLC涂層設(shè)備配備蒸騰設(shè)備和磁控設(shè)備。蒸騰DLC涂層設(shè)備可在雙門上預留兩個設(shè)備的接口，以備需要時更換。DLC 類金剛石涂層和金屬膜涂層均為PVD 涂層。珠海類金剛石原理
DLC是一種由碳元素組成的物質(zhì)，在性質(zhì)上類似于DIAMOND-LIKECRBON。DLC是一種非晶膜，因其硬度高、彈性模量大、摩擦因數(shù)低、耐磨性好、真空摩擦性好，非常適合作為耐磨涂層，引起了摩擦界的重視。目前制備DLC膜的方法很多，不同制備方法使用的碳源和到達基體表面的離子能量不同，沉積的DLC涂層結(jié)構(gòu)和性能差別很大，摩擦性能也不同。下面就來了解一下DLC涂層沉積設(shè)備的系統(tǒng)組成都有哪些？一、熱水冷卻系統(tǒng)。在沉積室內(nèi)，加熱系統(tǒng)和水冷系統(tǒng)均布于沉積室四周，可控制加熱溫度、速度和水量，并設(shè)有相應(yīng)的報警器，旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)設(shè)在沉積室底部，絕緣陶瓷絕緣，旋轉(zhuǎn)速度可控。二、真空系統(tǒng)。本機由機械泵、羅茨泵、擴散泵及相應(yīng)的控制閥、測量元件組成，可根據(jù)工藝要求自由切換高、低真空。三、供氣系統(tǒng)。煤氣供應(yīng)系統(tǒng)位于沉積室頂部，氣體種類包括H2、N2、Ar、CHa、C2H2、Si氣體，同時在沉積室頂部預留兩個通道接口，便于日后添加其它氣體。含有Si的過渡層是已確認的有利于DLC涂層與基體結(jié)合力的一種涂層，為得到Si，通常使用SiH4作為原料氣，但SiH4卻具有較高危險性，因此采用SiH4作為Si的含Si氣體源。珠海類金剛石原理類金剛石涂層的物理Q相沉積法。
類金剛石(Diamond-likecarbon,DLC)涂層具有良好的減摩、耐磨性能,已成為當前研究的熱點.由于受基體材料的成分,以及DLC涂層材料與基體材料的性質(zhì)不同的影響,制備的涂層內(nèi)應(yīng)力較大,與基體的結(jié)合力差.添加過渡層,摻雜第三元素和制備多層結(jié)構(gòu)涂層是提高界面結(jié)合力與熱穩(wěn)定性的有效措施.介紹了類金剛石薄膜的性質(zhì)、制備工藝以及在金屬加工、汽車零部件、醫(yī)療器械、航空航天等領(lǐng)域的應(yīng)用,展望了類金剛石涂層的應(yīng)用前景與發(fā)展趨勢.DLC膜的耐磨性、減摩性和耐腐蝕性可以明顯提高齒輪和芯軸等運動部件的使用性能和壽命。
一種常見的CVD涂層是采用三種氣體——四氯化鈦（TiCl4）、氫氣（H2）和氮氣（N2）——來產(chǎn)生氮化鈦（TiN）+氯化氫（HCl）。HCl是該工藝的二次產(chǎn)物，必須按照嚴格的環(huán)保法規(guī)進行處理。CVD法的優(yōu)勢包括較好的涂層粘附性，以及涂層分布的均勻性。CVD法的缺點是：涂層時的高溫會對基體產(chǎn)生不利影響，適用的涂層材料不多（因為涂層材料是以氣態(tài)形式提供的），以及工藝循環(huán)時間長。PVD涂層是一種相對較新的刀具涂層方法，在刀具行業(yè)正變得日益流行。PVD法是在真空環(huán)境中，將涂層材料從材料源（靶材）經(jīng)過傳送空間轉(zhuǎn)移到基體上。該方法采用加熱或電源供能的方式，將涂層材料氣化，然后使氣化的材料附著在基體上。DLC涂層(類金剛石涂層)的優(yōu)點。
PVD鍍層和DLC涂層區(qū)別：一、特性不同：1、PVD鍍：PVD鍍具有耐磨、耐腐蝕、裝飾、導電、絕緣、光導、壓電、磁性、潤滑、超導等特性。2、DLC：DLC具有硬度高，摩擦系數(shù)低，耐磨，耐腐蝕，抗粘結(jié)性好且環(huán)保等特性。二、方法不同：1、PVD鍍：PVD鍍的方法有，真空蒸鍍、濺射鍍膜、電弧等離子體鍍、離子鍍膜，及分子束外延等。2、DLC：DLC的方法有真空蒸發(fā)、濺射、等離子體輔助化學氣相沉積、離子注入等。DLC膜的耐磨性、減摩性和耐腐蝕性可以明顯提高齒輪和芯軸等運動部件的使用性能和壽命。類金剛石涂層,是一類物理和化學性質(zhì)類似于金剛石且具有獨特摩擦學特性的非晶碳膜。清遠醫(yī)療手術(shù)刀頭類金剛石供應(yīng)商
DLC類金剛石涂層相關(guān)注意事項。珠海類金剛石原理
國內(nèi)外一些研究者另辟蹊徑,將傳統(tǒng)的表面處理技術(shù)如滲碳、氮化、鍍鉻等與現(xiàn)代的PVD、CVD等處理技術(shù)相結(jié)合,選擇不同的金屬和金屬氮化物、碳化物作為過渡層，DLC層摻雜金屬合金。這些工作都不同程度的改進了DLC涂層的力學、摩擦磨損以及各種物理化學性能，從而解決了DLC涂層應(yīng)用于活塞環(huán)的一些技術(shù)瓶頸。目前在活塞環(huán)上主要是采用先將活塞環(huán)做氣體氮化或離子氮化,然后再與DLC涂層結(jié)合的復合處理方式,以鉻、鎢等氮化物為過渡層，由于氮化后的活塞環(huán)基體表面有較深的硬化層,具有一定的硬度、耐磨性和殘余壓應(yīng)力,構(gòu)成了DLC涂層理想支承體,其承載能力遠遠超過未氮化基材.涂層的附著性能都大為提高。同時由于進行了全表面的氮化處理，進而提高了活塞環(huán)的整體耐磨性。珠海類金剛石原理
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