中山ALCRNDLC涂層技術(shù)

利晟納米中山DLC涂層具有優(yōu)良的力學(xué)性能。（1）硬度及彈性不同的沉積方法制備的DLC膜硬度及彈性模量差異很大，用磁過(guò)濾陰極電弧法可以制備出硬度達(dá)到甚至超過(guò)金剛石的DLC膜，用陰極電弧法制備的DLC膜硬度可達(dá)50GPa以上，而用離子源結(jié)合非平衡磁控濺射法制備的DLC膜硬度達(dá)21GPa。膜層內(nèi)的成分對(duì)膜層的硬度有一定的影響，Si、N的摻入可以提高DLC膜的硬度。DLC膜具有較高的彈性模量，雖低于金剛石（110GPa），但明顯高于一般金屬和陶瓷的彈性模量。（2）內(nèi)應(yīng)力和結(jié)合強(qiáng)度薄膜的內(nèi)應(yīng)力和結(jié)合強(qiáng)度是決定薄膜的穩(wěn)定性和使用壽命，影響薄膜性能的兩個(gè)重要因素，內(nèi)應(yīng)力高和結(jié)合強(qiáng)度低的DLC膜容易在應(yīng)用中產(chǎn)生裂紋、褶皺，甚至脫落，所以制備的DLC膜具有適中的壓應(yīng)力和較高的結(jié)合強(qiáng)度。大部分研究表明，直接在基體上沉積的DLC膜的膜\基結(jié)合強(qiáng)度一般比較低，通過(guò)采用Ti\TiN\TiCN\TiC中間梯度過(guò)渡層的方法提高DLC膜與基體的結(jié)合強(qiáng)度，在模具鋼上沉積DLC膜的結(jié)合強(qiáng)度達(dá)44N-74N，制備的膜導(dǎo)總體厚度可達(dá)5um。DLC涂層的硬度可達(dá)到3000-5000HV，比普通鋼材高出數(shù)倍，甚至是金剛石的硬度的一半。中山ALCRNDLC涂層技術(shù)

中山DLC涂層有哪些性能優(yōu)勢(shì)？1、彈性模量.無(wú)氫DLC涂層具有較高的彈性模量，雖低于金剛石（110GPa），但明顯高于一般金屬和陶瓷的彈性模量。彈性模量是指單向應(yīng)力狀態(tài)下應(yīng)力除以該方向的應(yīng)變，是描述物質(zhì)彈性的物理量。從宏觀角度來(lái)說(shuō)，彈性模量是衡量物體抵抗彈性變形能力大小的尺度，從微觀角度來(lái)說(shuō)，則是原子、離子或分子之間鍵合強(qiáng)度的反映。2、內(nèi)應(yīng)力涂層的內(nèi)應(yīng)力是決定涂層的穩(wěn)定性和使用壽命，影響涂層性能的重要因素之一。內(nèi)應(yīng)力過(guò)高的無(wú)氫DLC涂層容易在應(yīng)用過(guò)程中產(chǎn)生裂紋，甚至脫落。因此無(wú)氫DLC涂層應(yīng)具有適中的內(nèi)應(yīng)力。所謂內(nèi)應(yīng)力，是指當(dāng)外部荷載去掉以后，仍殘存在物體內(nèi)部的應(yīng)力。它是由于材料內(nèi)部宏觀或微觀的組織發(fā)生了不均勻的體積變化而產(chǎn)生的。江門DLC薄膜DLC涂層DLC涂層冷卻辦法因工藝不同而不同，主要是操控冷卻速度。

從根本上看，中山DLC薄膜之所以未能在世界范圍內(nèi)獲得普遍應(yīng)用，主要技術(shù)瓶頸體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面。①DLC薄膜在沉積過(guò)程中產(chǎn)生較高的內(nèi)應(yīng)力，使其與基體（特別是金屬材料）的結(jié)合力差，膜層容易起皮、脫落，限制了DLC薄膜的沉積厚度。為了克服這一問(wèn)題，可利用多層膜和梯度膜作為過(guò)渡層，金屬或非金屬摻雜也是行之有效的手段。②DLC薄膜的熱穩(wěn)定性差，當(dāng)溫度高于200°C時(shí)即發(fā)生氫解離石墨化轉(zhuǎn)變，高于450°C時(shí)，開(kāi)始出現(xiàn)明顯的氧化現(xiàn)象及完全氫解離，DLC薄膜性能將明顯變差，從而限制了其使用范圍。目前，主要是通過(guò)各種金屬或非金屬摻雜技術(shù)來(lái)解決這一問(wèn)題，達(dá)到改善DLC薄膜熱穩(wěn)定性的目的。但是從表現(xiàn)結(jié)果來(lái)看，其熱穩(wěn)定性仍未得到明顯改善，如何通過(guò)各種結(jié)構(gòu)和成分設(shè)計(jì)來(lái)有效改善碳基薄膜C-C骨架的穩(wěn)定性仍然是未來(lái)技術(shù)突破的重中之重。③碳基薄膜材料存在韌性低、脆性強(qiáng)以及其摩擦學(xué)行為具強(qiáng)環(huán)境敏感性等問(wèn)題，從目前來(lái)看，基于元素?fù)诫s、多相復(fù)合、非晶-納米晶復(fù)合結(jié)構(gòu)構(gòu)筑、薄膜內(nèi)部特殊納米組織調(diào)控、微/納表界面織構(gòu)優(yōu)化等多尺度耦合設(shè)計(jì)來(lái)實(shí)現(xiàn)薄膜材料多界面/多結(jié)構(gòu)的跨尺度構(gòu)筑，可能是獲得強(qiáng)韌性和低環(huán)境敏感性碳基薄膜的突破口。

中山DLC涂層加工在汽車發(fā)動(dòng)機(jī)零件上的應(yīng)用。汽車發(fā)動(dòng)機(jī)中的活塞環(huán)安裝在活塞側(cè)壁的凹槽內(nèi)，環(huán)外圓面緊貼在氣缸內(nèi)壁。隨著活塞在氣缸內(nèi)上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)，環(huán)面不斷地刮擦氣缸內(nèi)壁，產(chǎn)生較大的摩擦功損耗，工況比較惡劣，影響到發(fā)動(dòng)機(jī)整機(jī)的能耗和使用壽命；含氫DLC涂層（以下簡(jiǎn)稱DLC）和無(wú)氫DLC涂層（以下簡(jiǎn)稱TaC）作為一種新的涂層材料和技術(shù)，因?yàn)榫哂懈觾?yōu)異的性能得到業(yè)界的普遍重視。與CrN相比，DLC可以有效減少摩擦，進(jìn)一步降低摩擦功損耗，重要的一點(diǎn)是更加不易拉缸。在以非燃油為燃料的新能源汽車發(fā)動(dòng)機(jī)中，DLC涂層的活塞環(huán)可以在無(wú)潤(rùn)滑油的干態(tài)摩擦條件下起到良好的潤(rùn)滑和耐磨減磨的作用，這也是目前解決這類活塞環(huán)壽命和節(jié)能問(wèn)題的主要手段。DLC涂層在裝飾上的應(yīng)用手機(jī)外殼、G端手表、五金衛(wèi)浴等也普遍使用DLC涂層。硬質(zhì)DLC涂層在酸性環(huán)境下具有良好的耐腐蝕性能，能夠長(zhǎng)時(shí)間保持涂層表面的光潔度和機(jī)械強(qiáng)度。

與電焊類似，DLC涂層在一定工藝氣壓下，引弧針與蒸騰離子源時(shí)間短接觸，斷開(kāi)，使氣體放電。由于多弧鍍的成因主要是借助于不時(shí)移動(dòng)的弧斑，在蒸騰源表面上連續(xù)構(gòu)成熔池，使金屬蒸騰后，堆積在基體上而得到薄膜層的，與磁控濺射相比，它不但有靶材使用率高，更具有金屬離子離化率高，薄膜與基體之間別離力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn)。此外，多弧鍍涂層色彩較為安穩(wěn)，特別是在做TiN涂層時(shí)，每一批次均簡(jiǎn)單得到相同安穩(wěn)的金黃色，令磁控濺射法望塵莫及。DLC涂層鍍鈦廠多弧鍍的缺乏之處是，在用傳統(tǒng)的DC電源做低溫涂層條件下，當(dāng)涂層厚度抵達(dá)0.3μm時(shí)，堆積率與反射率接近，成膜變得非常困難。并且，薄膜表面初步變朦。多弧鍍另一個(gè)不足之處是，由于金屬是熔后蒸騰，因此堆積顆粒較大，致密度低，耐磨性比磁控濺射法成膜差。可見(jiàn)，鍍鈦廠多弧鍍膜與磁控濺射法鍍膜各有好壞，為了盡可能地發(fā)揮它們各自的優(yōu)越性，完結(jié)互補(bǔ)，將多弧技術(shù)與磁控技術(shù)合而為一的涂層機(jī)應(yīng)運(yùn)而生。類金剛石（DLC）涂層是工業(yè)領(lǐng)域常用的刀具涂層之一。中山DLC薄膜DLC涂層處理

dlc涂層具有高硬度,低摩擦系數(shù),良好的抗粘附性和化學(xué)穩(wěn)定性等優(yōu)勢(shì)。中山ALCRNDLC涂層技術(shù)

淺談中山DLC涂層的摩擦性能。DLC膜不但具有優(yōu)異的耐磨性，而且具有很低的摩擦系數(shù)，一般低于0.2，是一種優(yōu)異的表面抗磨損改性膜。DLC的摩擦系數(shù)隨制備工藝的不同和膜中成分的變化而變化，其摩擦系數(shù)比較低可達(dá)0.005。摻雜金屬元素可能降低其摩擦系數(shù)，但加入H能提高潤(rùn)滑作用，環(huán)境也對(duì)摩擦系數(shù)有一定的影響。但總的來(lái)說(shuō)，DLC膜與傳統(tǒng)的硬質(zhì)薄膜(如上述的TiN、TiC、TiAlN等)相比，在摩擦系數(shù)方面具有明顯優(yōu)勢(shì)，這些傳統(tǒng)硬質(zhì)薄膜的摩擦系數(shù)都在0.4以上。因此，DLC膜有可能在許多摩擦學(xué)領(lǐng)域替代這些傳統(tǒng)硬膜。中山ALCRNDLC涂層技術(shù)

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