金剛石DCL涂層的質(zhì)量檢驗(yàn).涂覆完成后,就要對成形工件的膜層質(zhì)量進(jìn)行檢驗(yàn),檢測膜層厚度是否均勻、工件的光澤、膜層是否出現(xiàn)分層及尺寸是否在控制范圍內(nèi)。如果膜層出現(xiàn)問題、厚度超差、結(jié)合力不強(qiáng)等問題需要及時(shí)解決,下面我們來了解一下相應(yīng)的解決辦法是什么吧!1、檢驗(yàn)?zāi)泳鶆蚨葯z驗(yàn)成形后的膜層如果出現(xiàn)光澤不均勻、有花紋,應(yīng)該是靶材的材質(zhì)的純凈度不夠,雜質(zhì)多就會(huì)導(dǎo)致膜層不均勻。也可能是涂覆設(shè)備的故障。解決辦法:所以如果檢驗(yàn)出了膜層的問題可以先檢測設(shè)備是否故障,如果設(shè)備穩(wěn)定正常的話則必須更換靶材。2、檢驗(yàn)?zāi)雍穸葯z驗(yàn)?zāi)訒r(shí)如果發(fā)現(xiàn)厚度超差的情況,可能是處理時(shí)間過長或過短所導(dǎo)致的。解決辦法:在設(shè)備穩(wěn)定正常的情況下,膜層的厚度都是取決于成形的工藝時(shí)間,所以如果出現(xiàn)膜層超差的情況只要調(diào)整處理時(shí)間就可以了。3、檢驗(yàn)結(jié)合力檢驗(yàn)?zāi)雍凸ぜw之間的結(jié)合力,結(jié)合力不強(qiáng)會(huì)出現(xiàn)分層現(xiàn)象。導(dǎo)致這種問題的原因很多,比如工件清洗得不干凈、不徹底,工件的基體沒有拋光到工藝要求或者存在缺陷,成形工藝參數(shù)不合理等。解決辦法:如果出現(xiàn)這種情況的話需要一一排除,找到真正的原因,從而解決基體與膜層分層的問題.DLC涂層還在光學(xué)領(lǐng)域中有普遍的應(yīng)用??p紉機(jī)零部件DLC涂層應(yīng)用
多弧鍍涂層顏色較為穩(wěn)定,特別是在做TiN涂層時(shí),每一次均容易得到相同穩(wěn)定的金黃色,令磁控濺射法望塵莫及。中山dlc涂層廠多弧鍍的缺乏之處是,在用傳統(tǒng)的DC電源做低溫涂層條件下,當(dāng)涂層厚度到達(dá)0.3μm時(shí),堆積率與反射率接近,成膜變得十分艱難。而且,薄膜外表開端變朦。多弧鍍另一個(gè)不足之處是,由于金屬是熔后蒸發(fā),因而堆積顆粒較大,致密度低,耐磨性比磁控濺射法成膜差。可見,dlc涂層廠多弧鍍膜與磁控濺射法鍍膜各有優(yōu)劣,為了盡可能地發(fā)揮它們各自的優(yōu)越性,完成互補(bǔ),將多弧技術(shù)與磁控技術(shù)合而為一的涂層機(jī)應(yīng)運(yùn)而生??p紉機(jī)零部件DLC涂層應(yīng)用DLC涂層可以明顯提高工具或工件的使用壽命。
常用的中山無氫DLC涂層制備方法:1、電弧離子鍍。電弧離子鍍是由Mattox于1964年首先公開了所發(fā)明的技術(shù)。它是在蒸發(fā)鍍膜的同時(shí),用來源于等離子體的離子轟擊膜層。在上世紀(jì)70年代諸多電弧離子鍍技術(shù)相繼實(shí)用化,主要用于制備刀具涂層。電弧離子鍍技術(shù)屬于冷場致弧光放電,制備過程如下:工件經(jīng)清洗入爐后抽真空。當(dāng)真空度達(dá)到6X10-3Pa后,開啟烘烤加熱電源,對工件進(jìn)行加熱。達(dá)到一定溫度后,通入氨氣,真空度降至(3~5)×10-1Pa。接通工件偏壓電源,電壓調(diào)至100~200V。此時(shí)產(chǎn)生輝光放電,從陰極弧源表面發(fā)射出碳原子和石墨原子。在工件負(fù)偏壓的作用下,沉積到工件形成DLC底層,以提高類金剛石涂層的附著力。2、離子輔助沉積。離子輔助沉積技術(shù)英文縮寫IAD,是一種真空蒸發(fā)為基礎(chǔ)的輔助沉積方法。是借助少量高能離子及大量高能中子的連續(xù)作用,將金屬或金屬化合物蒸氣沉積在工件的一種表面處理過程。真空蒸發(fā)鍍膜過程中沉積的原子或者分子在基體表面的有限遷移率形成柱狀的薄膜結(jié)構(gòu),所以在沉積的過程中對生長的薄膜利用離子源轟擊,將離子的動(dòng)量傳給沉積的原子或分子,使沉積的分子或者原子的遷移率得到提高。
淺談中山DLC涂層的摩擦性能。DLC膜不但具有優(yōu)異的耐磨性,而且具有很低的摩擦系數(shù),一般低于0.2,是一種優(yōu)異的表面抗磨損改性膜。DLC的摩擦系數(shù)隨制備工藝的不同和膜中成分的變化而變化,其摩擦系數(shù)比較低可達(dá)0.005。摻雜金屬元素可能降低其摩擦系數(shù),但加入H能提高潤滑作用,環(huán)境也對摩擦系數(shù)有一定的影響。但總的來說,DLC膜與傳統(tǒng)的硬質(zhì)薄膜(如上述的TiN、TiC、TiAlN等)相比,在摩擦系數(shù)方面具有明顯優(yōu)勢,這些傳統(tǒng)硬質(zhì)薄膜的摩擦系數(shù)都在0.4以上。因此,DLC膜有可能在許多摩擦學(xué)領(lǐng)域替代這些傳統(tǒng)硬膜。DLC涂層加工適用于極端磨損情況和高相對速度,甚至是在無潤滑運(yùn)轉(zhuǎn)的條件下使用。
中山DLC涂層具有優(yōu)良的力學(xué)性能。(1)硬度及彈性不同的沉積方法制備的DLC膜硬度及彈性模量差異很大,用磁過濾陰極電弧法可以制備出硬度達(dá)到甚至超過金剛石的DLC膜,用陰極電弧法制備的DLC膜硬度可達(dá)50GPa以上,而用離子源結(jié)合非平衡磁控濺射法制備的DLC膜硬度達(dá)21GPa。膜層內(nèi)的成分對膜層的硬度有一定的影響,Si、N的摻入可以提高DLC膜的硬度。DLC膜具有較高的彈性模量,雖低于金剛石(110GPa),但明顯高于一般金屬和陶瓷的彈性模量。(2)內(nèi)應(yīng)力和結(jié)合強(qiáng)度薄膜的內(nèi)應(yīng)力和結(jié)合強(qiáng)度是決定薄膜的穩(wěn)定性和使用壽命,影響薄膜性能的兩個(gè)重要因素,內(nèi)應(yīng)力高和結(jié)合強(qiáng)度低的DLC膜容易在應(yīng)用中產(chǎn)生裂紋、褶皺,甚至脫落,所以制備的DLC膜具有適中的壓應(yīng)力和較高的結(jié)合強(qiáng)度。大部分研究表明,直接在基體上沉積的DLC膜的膜\基結(jié)合強(qiáng)度一般比較低,通過采用Ti\TiN\TiCN\TiC中間梯度過渡層的方法提高DLC膜與基體的結(jié)合強(qiáng)度,在模具鋼上沉積DLC膜的結(jié)合強(qiáng)度達(dá)44N-74N,制備的膜導(dǎo)總體厚度可達(dá)5um。DLC涂層在新能源領(lǐng)域的應(yīng)用。廣東DLC涂層流程
DLC涂層是工業(yè)領(lǐng)域常用的刀具涂層之一。縫紉機(jī)零部件DLC涂層應(yīng)用
中山DLC涂層處理使用的是一種物理Q相沉積工藝技術(shù)PVD(physicalvapordeposition)。是在真空條件下(1.3x10-2~1.3x10-4Pa),采用低電壓、大電流的電弧放電技術(shù),利用氣體放電使靶材蒸發(fā)并使被蒸發(fā)物質(zhì)與氣體都發(fā)生電離,利用電場的加速作用,使被蒸發(fā)物質(zhì)及其反應(yīng)產(chǎn)物沉積在工件上。DLC涂層是一種在微觀結(jié)構(gòu)上含有金剛石成分的涂層。構(gòu)成DLC的主要元素為碳,碳原子之間的不同結(jié)合方式,Z終產(chǎn)生不同的物質(zhì):金剛石(diamond)--碳碳以sp3鍵的形式結(jié)合;石墨(graphite)一碳碳以sp2鍵的形式結(jié)合。類金剛石(DLC)一碳碳以sp3和sp2健的形式結(jié)合;其涂層結(jié)構(gòu)是由碳的sp3和sp2形態(tài)混合而成的無定型組織(沒有顯性的晶格結(jié)構(gòu)),涂層性能的好壞取決于形成的膜層結(jié)構(gòu)中sp3和sp2各自所占的百分比,sp3所占的比率越高,膜層性能越接近天然金剛石,顯微硬度越高;sp2所占的比率越高,膜層的自潤滑性能越好,摩擦因數(shù)越小,但顯微硬度會(huì)降低(它和金屬之間的摩擦因數(shù)的范圍一般是0.05~O.2)。通過設(shè)定生產(chǎn)流程中的工藝參數(shù)和選擇不同的靶材,可以控制Z終成形膜層的屬性來滿足不同場合的需求??p紉機(jī)零部件DLC涂層應(yīng)用