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在半導(dǎo)體芯片制造這一復(fù)雜且精細(xì)的領(lǐng)域,從芯片光刻、蝕刻到沉積、封裝等每一步,都對環(huán)境條件有著近乎嚴(yán)苛的要求,而精密環(huán)控柜憑借其性能成為保障生產(chǎn)的關(guān)鍵要素。芯片光刻環(huán)節(jié),光刻機(jī)對環(huán)境穩(wěn)定性要求極高。哪怕 0.002℃的溫度波動(dòng),都可能使光刻機(jī)內(nèi)部的精密光學(xué)元件因熱脹冷縮產(chǎn)生細(xì)微形變,導(dǎo)致光路偏差,使光刻圖案精度受損。精密環(huán)控柜憑借超高精度溫度控制,將溫度波動(dòng)控制在極小范圍,確保光刻機(jī)高精度運(yùn)行,讓芯片光刻圖案正常呈現(xiàn)。精密環(huán)境控制設(shè)備內(nèi)部,關(guān)鍵區(qū)域靜態(tài)下溫度穩(wěn)定性高,可達(dá) +/-5mK 精度。河北溫濕度存儲柜
在高濕度環(huán)境中,空氣里水汽含量增大,這對光學(xué)儀器而言,無疑是巨大的威脅。儀器內(nèi)部的鏡片猶如極易受潮的精密元件,當(dāng)水汽附著其上,便會在表面悄然形成一層輕薄且均勻的水膜。這層水膜宛如光線傳播的阻礙,大幅降低光線的透過率,致使成像亮度明顯減弱,對比度也隨之降低,觀測視野仿佛被蒙上一層朦朧的薄紗,原本清晰的景象變得模糊不清。倘若光學(xué)儀器長期處于這樣的高濕度環(huán)境,問題將愈發(fā)嚴(yán)重。水汽會逐漸滲透至鏡片與鏡筒的結(jié)合處,對金屬部件發(fā)起 “攻擊”,使之遭受腐蝕。隨著時(shí)間的推移,金屬部件被腐蝕得千瘡百孔,無法穩(wěn)固地固定鏡片,導(dǎo)致鏡片出現(xiàn)松動(dòng)現(xiàn)象,光路精度被進(jìn)一步破壞。對于那些運(yùn)用鍍膜技術(shù)來提升光學(xué)性能的鏡片,高濕度同樣是一大勁敵,它會使鍍膜層受損,鏡片的抗反射能力大打折扣,進(jìn)而嚴(yán)重影響成像效果,讓光學(xué)儀器難以發(fā)揮應(yīng)有的作用。北京制藥溫濕度配備的智能傳感器,能實(shí)時(shí)捕捉微小的環(huán)境變化,反饋給控制系統(tǒng)及時(shí)調(diào)整。為精密設(shè)備提供穩(wěn)定環(huán)境。
在精密模具制造這一精益求精的領(lǐng)域,溫濕度控制是保障產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵要素。模具型腔對精度有著嚴(yán)苛要求,這就決定了整個(gè)加工過程必須維持高度穩(wěn)定。一旦溫度出現(xiàn)波動(dòng),模具鋼材料會因熱脹冷縮而發(fā)生細(xì)微形變,直接影響型腔尺寸精度。這在注塑成型環(huán)節(jié)影響尤甚,極有可能導(dǎo)致塑料制品出現(xiàn)尺寸偏差、飛邊等明顯缺陷。而當(dāng)濕度異常時(shí),潮濕空氣就像隱藏的 “破壞者”,悄無聲息地侵蝕模具表面,致使模具生銹、腐蝕。這不僅大幅降低模具的使用壽命,還會增加生產(chǎn)成本,對模具在汽車、家電等眾多行業(yè)的應(yīng)用效果產(chǎn)生負(fù)面影響,阻礙相關(guān)產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展。
激光干涉儀用于測量微小位移,精度可達(dá)納米級別。溫度波動(dòng)哪怕只有 1℃,由于儀器主體與測量目標(biāo)所處環(huán)境溫度不一致,二者熱脹冷縮程度不同,會造成測量基線的微妙變化,導(dǎo)致測量位移結(jié)果出現(xiàn)偏差,在高精度機(jī)械加工零件的尺寸檢測中,這種偏差可能使零件被誤判為不合格品,增加生產(chǎn)成本。高濕度環(huán)境下,水汽會干擾激光的傳播路徑,使激光發(fā)生散射,降低干涉條紋的對比度,影響測量人員對條紋移動(dòng)的精確判斷,進(jìn)而無法準(zhǔn)確獲取位移數(shù)據(jù),給精密制造、航空航天等領(lǐng)域的科研與生產(chǎn)帶來極大困擾。精密環(huán)控柜為我司自主研發(fā)的精密環(huán)境控制產(chǎn)品。
在化學(xué)、材料、制藥、微生物、細(xì)胞等實(shí)驗(yàn)室科研中,精密環(huán)控柜為各類實(shí)驗(yàn)提供了穩(wěn)定的環(huán)境條件,是科研工作順利開展的重要支撐。在化學(xué)實(shí)驗(yàn)中,一些化學(xué)反應(yīng)對溫度極為敏感,0.1℃的溫度偏差都可能改變反應(yīng)速率和產(chǎn)物純度。精密環(huán)控柜的高精密溫度控制,確保實(shí)驗(yàn)溫度穩(wěn)定,為化學(xué)反應(yīng)提供理想條件,保證實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性。材料研究中,材料的性能測試需要嚴(yán)格控制環(huán)境溫濕度。例如,對新型半導(dǎo)體材料的性能檢測,環(huán)境濕度的變化可能影響材料的電學(xué)性能。精密環(huán)控柜的溫濕度控制,為材料性能測試提供穩(wěn)定環(huán)境,助力科研人員準(zhǔn)確評估材料性能。在超高水準(zhǔn)潔凈度控制下,該系統(tǒng)設(shè)備工作區(qū)呈現(xiàn)高潔凈度,可優(yōu)于 ISOclass3。三坐標(biāo)測量儀溫濕度潔凈房
在芯片、半導(dǎo)體、精密加工、精密測量等領(lǐng)域,利用其精密溫濕度控制,保證生產(chǎn)環(huán)境的穩(wěn)定。河北溫濕度存儲柜
我司自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù),控制輸出精度達(dá) 0.1%,能精細(xì)掌控溫度變化。溫度波動(dòng)控制可選 ±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等多檔,滿足嚴(yán)苛溫度需求。該系統(tǒng)潔凈度表現(xiàn)優(yōu)異,可達(dá)百級、十級、一級。關(guān)鍵區(qū)域靜態(tài)溫度穩(wěn)定性 ±5mK,內(nèi)部溫度均勻性小于 16mK/m,為芯片研發(fā)等敏感項(xiàng)目營造理想溫場,保障實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)不受溫度干擾。濕度方面,8 小時(shí)內(nèi)穩(wěn)定性可達(dá) ±0.5%;壓力穩(wěn)定性為 +/-3Pa,設(shè)備還能連續(xù)穩(wěn)定工作 144 小時(shí),助力長時(shí)間實(shí)驗(yàn)與制造。在潔凈度上,工作區(qū)潔凈度優(yōu)于 ISO class3,既確保實(shí)驗(yàn)結(jié)果準(zhǔn)確可靠,又保障精密儀器正常工作與使用壽命,推動(dòng)科研與生產(chǎn)進(jìn)步。河北溫濕度存儲柜