溫州硅pin硅光電二極管接法

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2024-05-08

    已被廣泛應(yīng)用于新型太陽(yáng)能電池、光電探測(cè)器和光電存儲(chǔ)器等領(lǐng)域。batio3是一種典型的鈣鈦礦型鐵電材料,其居里溫度大約為120℃,介電常數(shù)在室溫下高達(dá)幾千,具有良好的鐵電性能。對(duì)于一個(gè)對(duì)稱性的晶胞而言,由于正負(fù)電荷中心相互重合,則晶體無(wú)法自發(fā)極化。為了提高鐵電晶體的極化特性,通過(guò)摻雜改變?cè)拥奈灰?,可以使晶胞結(jié)構(gòu)發(fā)生畸變,正負(fù)電荷中心將難以重合,從而產(chǎn)生自發(fā)極化。本發(fā)明中,申請(qǐng)人采用靜電紡絲技術(shù)制備sr摻雜batio3,改變batio3的晶胞結(jié)構(gòu),提高batio3的極化能力,從而在znte表面引入表面極化電場(chǎng),促進(jìn)batio3/znte界面電荷分離,達(dá)到選擇性分離znte載流子的目的,為**光陰極材料的開(kāi)發(fā)提供了一個(gè)普適的方法。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供一種sr摻雜batio3/znte光陰極材料的制備方法。其目的在于利用sr摻雜batio3的極化電場(chǎng)來(lái)促進(jìn)znte光電極材料載流子的**分離,從而提高znte材料光電催化co2還原的活性。本發(fā)明的目的通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):本發(fā)明提供一種sr摻雜batio3/znte光陰極材料的制備方法。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設(shè)在深圳,主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷(xiāo)售工作。世華高專業(yè)研究硅光電二極管。溫州硅pin硅光電二極管接法

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    6)在sio2層104、si3n4層105上刻出接觸孔,然后濺射金屬,濺射完成后刻蝕形成正面金屬電極106;7)在襯底107的背面做金屬化處理形成背面電極108。進(jìn)一步的,所述的襯底107采用電阻率20~100為ohm·cm的低電阻率硅材料;襯底107直接與背面金屬形成良好的歐姆接觸;所述的高反層109是由折射率~~,通過(guò)化學(xué)氣相淀積或光學(xué)鍍膜技術(shù)生成;所述的外延層101的電阻率為500~1000ohm·cm,外延層101的厚度與耗盡區(qū)寬度相當(dāng);所述的保護(hù)環(huán)102為as離子源注入,注入劑量為1e15~2e15。所述的有源區(qū)103為b離子源注入,注入劑量為1e15~2e15;所述的正面金屬電極106是在濺射al之后刻蝕形成。具體的,包括以下操作:1)以在n+摻雜硅材料作為襯底107,在其上通過(guò)化學(xué)氣相淀積或光學(xué)鍍膜生成厚度3~5um的高反層109;其中。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設(shè)在深圳,主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷(xiāo)售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地,負(fù)責(zé)光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開(kāi)關(guān)、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。經(jīng)過(guò)十余年的發(fā)展。惠州硅pin硅光電二極管型號(hào)硅光電二極管供應(yīng)商就找世華高!

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    控制煅燒溫度為350℃,煅燒時(shí)間為3h,即可得sr摻雜batio3/znte光電極。圖1為sr摻雜batio3納米纖維的掃描電鏡圖,可以看到sr摻雜batio3納米纖維表面很光滑,纖維直徑在400nm左右,長(zhǎng)度可達(dá)幾十微米,纖維之間相互交疊,形成三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。圖2為znte水熱生長(zhǎng)在sr摻雜batio3納米纖維表面后的掃描電鏡圖,由圖可知。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設(shè)在深圳,主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷(xiāo)售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地,負(fù)責(zé)光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開(kāi)關(guān)、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。經(jīng)過(guò)十余年的發(fā)展,世華高半導(dǎo)體已成為一家先進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個(gè)銷(xiāo)售機(jī)構(gòu),分布在中國(guó)、印度、泰國(guó)、伊朗、香港等多個(gè)國(guó)家和地區(qū)。znte納米薄片均勻生長(zhǎng)到sr摻雜batio3納米纖維表面,兩者之間形成完美的核殼納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)。實(shí)施例二稱取、,依次加入2ml乙酸、6ml乙醇和6ml水,攪拌一定時(shí)間,使固體粉末完全溶解;然后,加入,攪拌24h,得到紡絲溶液;移取7ml紡絲溶液到10ml注射器中。

    以p型離子注入形成有源區(qū);所述的氧化硅層為熱氧化生成sio2層,所述的氮化硅層為淀積生長(zhǎng)的si3n4層;所述的正面金屬電極是在濺射后經(jīng)刻蝕成形。所述外延層的電阻率為500~1000ohm·cm,外延層厚度wepi根據(jù)耗盡區(qū)寬度wd確定:wepi≈wd,而wd≥w入/2,其中w入=f(λ),w入為入射光入射深度,λ為入射光波長(zhǎng)。一種高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管的制備方法,包括以下操作:1)在襯底上濺射生成高反層;2)高反層開(kāi)設(shè)刻蝕孔;3)高反層上通過(guò)淀積的方法生長(zhǎng)外延層;4)在外延層上通過(guò)離子注入分別形成保護(hù)環(huán)和有源區(qū);5)在保護(hù)環(huán)和有源區(qū)上生成sio2層,然后在sio2層上方生成si3n4層;6)在sio2層、si3n4層上刻出接觸孔,然后濺射金屬,濺射完成后刻蝕形成正面金屬電極;7)在襯底的背面做金屬化處理形成背面電極。所述的襯底采用電阻率20~100為ohm·cm的低電阻率硅材料;襯底直接與背面金屬形成良好的歐姆接觸;所述的高反層是由折射率~~,通過(guò)化學(xué)氣相淀積或光學(xué)鍍膜技術(shù)生成;所述的外延層的電阻率為500~1000ohm·cm,外延層的厚度與耗盡區(qū)寬度相當(dāng);所述的保護(hù)環(huán)為as離子源注入,注入劑量為1e15~2e15。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設(shè)在深圳。硅光電二極管電路圖就找世華高!

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    深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設(shè)在深圳,主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷(xiāo)售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地,負(fù)責(zé)光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開(kāi)關(guān)、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。經(jīng)過(guò)十余年的發(fā)展,世華高半導(dǎo)體已成為一家先進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個(gè)銷(xiāo)售機(jī)構(gòu),分布在中國(guó)、印度、泰國(guó)、伊朗、香港等多個(gè)國(guó)家和地區(qū)。本發(fā)明屬于半導(dǎo)體器件技術(shù)領(lǐng)域,涉及一種高速高響應(yīng)度的硅基光電二極管及其制備方法。背景技術(shù):硅基光電二極管由于其材料成本造工藝簡(jiǎn)單,響應(yīng)度峰值波長(zhǎng)為940nm,在3dsensor、紅外測(cè)距、光通訊等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。由于光在硅中的入射深度跟入射光波長(zhǎng)相關(guān),波長(zhǎng)越長(zhǎng),入射越深,因此為了提高響應(yīng)度,傳統(tǒng)光電二極管均選用高阻材料(電阻率2000~5000ohmcm)來(lái)提升耗盡區(qū)寬度,從而達(dá)到提高響應(yīng)度的目的。隨著光電二極管在光通訊中的廣泛應(yīng)用,光電二極管的響應(yīng)速度要求越來(lái)越高,常規(guī)硅基光電二極管響應(yīng)時(shí)間為納秒級(jí),已無(wú)法滿足數(shù)據(jù)傳輸率1gbps以上的應(yīng)用場(chǎng)景,因此。硅光電二極管具有體積小、功能多、壽命長(zhǎng)、精度高、響應(yīng)速度快-世華高。溫州硅pin硅光電二極管接法

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    便于操作人員將高壓二極管硅疊從石英玻璃罩1中取出;上固定板3的一側(cè)設(shè)有控制面板,控制面板的一側(cè)固定設(shè)有電磁鐵開(kāi)關(guān)、溫度檢測(cè)儀開(kāi)關(guān)、熔深檢測(cè)儀開(kāi)關(guān)和感應(yīng)線圈開(kāi)關(guān),電磁鐵6、溫度檢測(cè)儀13、熔深檢測(cè)儀14分別通過(guò)電磁鐵開(kāi)關(guān)、溫度檢測(cè)儀開(kāi)關(guān)、熔深檢測(cè)儀開(kāi)關(guān)和感應(yīng)線圈開(kāi)關(guān)與外接電源電性連接。深圳市世華高半導(dǎo)體有限公司(SIVAGO)成立于2004年,總部設(shè)在深圳,主要負(fù)責(zé)研發(fā)和銷(xiāo)售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產(chǎn)基地,負(fù)責(zé)光電器件的制造。其產(chǎn)品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開(kāi)關(guān)、光電編碼器、紙張感應(yīng)器和光電耦合器等。經(jīng)過(guò)十余年的發(fā)展,世華高半導(dǎo)體已成為一家先進(jìn)的半導(dǎo)體器件制造商。公司在全球范圍內(nèi)設(shè)有多個(gè)銷(xiāo)售機(jī)構(gòu),分布在中國(guó)、印度、泰國(guó)、伊朗、香港等多個(gè)國(guó)家和地區(qū)。感應(yīng)線圈16通過(guò)感應(yīng)線圈開(kāi)關(guān)與高頻加熱電源電性連接,真空電磁閥9、微型真空泵10、氮?dú)怆姶砰y11和氮?dú)獬錃獗?2均通過(guò)plc控制器4與外接電源電性連接。具體使用時(shí),本實(shí)用新型一種高壓二極管硅疊中頻真空焊接系統(tǒng),將待焊接硅疊放置在石英玻璃罩1下端的下固定板7上,放置好后。溫州硅pin硅光電二極管接法