韶關晶圓運送機械吸臂批發(fā)

    區(qū)熔法分為兩種：水平區(qū)熔法和立式懸浮區(qū)熔法。前者主要用于鍺、GaAs等材料的提純和單晶生長；后者主要用于硅。為什么有橫著和豎著長的不同捏？這是由于硅的熔點高，化學性能活潑，容易受到異物的玷污，所以難以找到適合的器皿來盛方，自然水平區(qū)熔法不能用在硅的生長上啦。區(qū)熔法與直拉法比較大的不同之處在于：區(qū)熔法一般不使用坩鍋，引入的雜質更少，生長的材料雜質含量也就更少。總而言之，單晶硅棒是圓柱形的，使用這種方法得到的單晶硅圓片自然也是圓形的了。就是下圖這個樣的——知道是兩頭的尖尖是如何造成的嗎？Bingo，圖左的尖尖是籽晶，圖右的尖尖是晶棒長到***，從熔融態(tài)里出來后，由于復雜的流體力學原理，以及熔融態(tài)的硅迅速凝固而導致的。 手臂的運動速度要適當，慣性要小.韶關晶圓運送機械吸臂批發(fā)

本發(fā)明針對現有技術中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復定位精度。本發(fā)明結構合理性能穩(wěn)定，維護方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設備要求，適用于各種半導體設備。

為了解決上述技術問題，本發(fā)明通過下述技術方案得以解決：一種晶圓搬運機械手，包括升降軸、旋轉軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座，所述的一級伸展臂與所述伸展電機之間設置有一級關節(jié)，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設置有二級關節(jié)，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設置有三級關節(jié)，所述的伸展電機、所述的一級關節(jié)、所述的二級關節(jié)和所述的三級關節(jié)依次傳動，所述的手指固定座始終保持直線運動。

韶關晶圓運送機械吸臂批發(fā)操作機又定義為“是一種機器，其機構通常由一系列相互鉸接或相對滑動的構件所組成。

進行光刻：

將設計好的電路掩模，置于光刻機的紫外射線下，然后再在它的下面放置Wafer，這一刻，Wafer上被光刻部分的光刻膠被融化掉，刻上了電路圖。然后將光刻膠去除，光刻膠上的圖案要與掩模上的圖案一致，然后進行再次光刻。一般來說一個晶圓的電路要經過多次光刻。而隨著技術革新，極紫光刻出現了，現階段光刻的效率變得比以前更高，甚至于可以達到光刻一次完成。

注射：

在真空下，將導電材料注入晶圓的電路內部。其真空的標準比無菌室或ICU還要高出千萬倍。

整個蛙腿型晶圓搬運機械手共由3個電機實現運動控制。2臺直驅電機負責連接晶圓托盤連桿的同步控制，1臺直流電機負責整個機械手的上升與下降控制。雖然軸數較少，但對控制的精度、平穩(wěn)性和可靠性要求極高。整個控制架構基于CANopen或者EtherCAT。 針對客戶的需求，Copley給出了性價比比較好的解決方案-- Accelnet Plus Module驅動器。Dual axis module同時驅動2臺直驅電機，Single axis module驅動1臺升降直流電機。雙軸模塊式驅動器使系統(tǒng)成本比較好化高精度時間戳保證PVT控制的比較好性能多通道**I/O高精度位置觸發(fā)且多點位置數據存儲客制化編碼器接口協議-Gurley Virtual Absolute多點增益切換小體積可直接安裝于機械手底座內部專業(yè)的技術支持在運動臂上加裝滾動軸承或采用滾珠導軌也能使手臂運動輕快、平穩(wěn)。

多功能一體化機械臂，包括機械臂主體，所述機械臂主體由設置在該機械臂主體底部的底座、設置在底座頂部的后臂及設置在后臂頂部的前臂構成的，該種多功能一體化機械臂，改進了原有產品的缺點，本實用新型多功能一體化機械臂具有成本費用較低、占地面積較小和驅動充足的特點，本機械臂*由底座、前臂和后臂構成的，實現了占地面積小的特點，且在生產過程中由于體積較小，廠家生產成本費較低，同時工人在使用時，移動較為方便，設有的安全離合器、液壓器和液壓室，實現了本新型機械臂驅動充足的特點，在使用過程中完全依靠程序芯片控制，液壓器液壓精細不會對于半導體制造應用來說，常用的機械手臂是用來搬送晶片.韶關晶圓運送機械吸臂批發(fā)

根據機械手運動和工作的要求，如管路、冷卻裝置、行程定位裝置和自動檢測裝置等.韶關晶圓運送機械吸臂批發(fā)

出了通用二自由度空間模塊(TODOM)的概念,并以通用TODOM作為空間機械臂的構造模塊。TO-DOM由兩個旋轉模塊及一個連接模塊共三個基本模塊組成。根據空間機械臂的具體構型需要,將TODOM的三個基本模塊之間的機械接口進行專門設計,即可配置成確定構型的二自由度關節(jié)。由這樣數個不同構型的二自由度關節(jié)可以組裝出具有偶數個自由度的空間機器臂。采用一體化概念設計的TODOM減小了關節(jié)的質量與體積,提高了系統(tǒng)的可靠性。通過對由TODOM構成的一套二自由度關節(jié)進行的試驗初步驗證了TODOM設計概念的合理性及可行性。韶關晶圓運送機械吸臂批發(fā)

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