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抽氣量是真空泵抽速的一個(gè)衡量因素。一般單位用L/S和m3/h來(lái)表示。是彌補(bǔ)漏氣率的參數(shù)。不難理解,理論下抽一個(gè)相同體積的容器,為什么抽氣量大的真空泵很容易抽到我們所需的真空度,而抽氣量小的真空泵很慢甚至無(wú)法抽到我們想要的真空度? 因?yàn)楣苈坊蛘呷萜魇冀K不可能做到不漏氣,而抽氣量大的彌補(bǔ)了漏氣所帶來(lái)的真空度下降的因素,所以,大氣量的很容易抽到理想真空度值。這里建議,在計(jì)算出理論抽氣量的情況下,我們盡量選擇高一級(jí)的抽氣量的真空泵。真空泵在工作第1個(gè)月內(nèi),經(jīng)100小時(shí)更換潤(rùn)滑油,以后每個(gè)500小時(shí),換油一次。水環(huán)式真空泵定制廠家
羅茨真空泵由于在泵腔內(nèi)沒(méi)有工作介質(zhì),實(shí)際上也是屬于干泵。目前,這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機(jī)組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡。分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸汽被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。水環(huán)式真空泵定制廠家微型真空泵面臨的排氣狀況是不一樣的:一類是排氣很順暢,直通大氣;另一類是排氣阻力較大。
擴(kuò)散真空泵抽速在很寬的壓強(qiáng)范圍內(nèi)保持不變,但在壓強(qiáng)較高或很低時(shí),抽速下降很快。當(dāng)泵入口壓強(qiáng)很低時(shí),氣體從前級(jí)通過(guò)射流的反擴(kuò)散會(huì)增加,同時(shí)工作油蒸汽的含氣量和泵壁放氣影響變得明顯。入口壓強(qiáng)較高時(shí),大量氣體分子進(jìn)入射流與蒸汽分子碰撞,射流的定向速度衰減較大,增大了前級(jí)的反流,抽速降低;油擴(kuò)散泵的極限壓強(qiáng)與前級(jí)側(cè)氣體的反擴(kuò)散、泵壁溫度下泵油的飽和蒸汽壓、泵油的裂化程度、蒸汽射流的放氣量以及泵壁的放氣量等因素密切相關(guān),當(dāng)泵的出口壓強(qiáng)小于某一出口壓強(qiáng)p2max時(shí),泵的入口壓強(qiáng)不受出口壓強(qiáng)的影響,氣體的反擴(kuò)散對(duì)泵的極限壓強(qiáng)影響不大。油擴(kuò)散泵的較大出口壓強(qiáng)取決于一級(jí)噴嘴的工作狀態(tài),與蒸汽射流密度、噴嘴蒸汽流量以及一級(jí)噴嘴的結(jié)構(gòu)有關(guān)。
微型真空泵的介質(zhì)溫度問(wèn)題。根據(jù)通過(guò)泵的介質(zhì)氣體的溫度,選擇要普通型的還是要高溫型的。微型泵的可靠性問(wèn)題。根據(jù)微型泵出故障后產(chǎn)生后果的嚴(yán)重性而定,完全根據(jù)自己的要求。好的品的平均無(wú)故障連續(xù)運(yùn)行時(shí)間都大于1000小時(shí),有的高到數(shù)千小時(shí)。特別注意,這項(xiàng)參數(shù)是在滿負(fù)荷、不間斷的運(yùn)行狀態(tài)下測(cè)定的,是比較惡劣的工況,如果實(shí)際使用不是滿載或連續(xù)運(yùn)行,該數(shù)值會(huì)高一些,高多少視泵的工況而定。該性能完全是考驗(yàn)制造商的技術(shù)實(shí)力,從產(chǎn)品外觀上可以看出一些,如采用特制電機(jī)而非普通低價(jià)電機(jī)、體積相當(dāng)?shù)那闆r下重量較重等。根據(jù)產(chǎn)品價(jià)格也可略知一二。微型泵的電磁干擾問(wèn)題。如果有精密電路控制微型泵,視電路抗干擾能力而定,可能需要訂購(gòu)低電磁干擾的微型泵。水環(huán)真空泵是靠泵腔容積的變化來(lái)實(shí)現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣的。
水環(huán)真空泵在泵體中裝有適量的水作為工作液。當(dāng)葉輪按圖中順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)時(shí),水被葉輪拋向四周,由于離心力的作用水形成了一個(gè)決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水環(huán)的下部分內(nèi)表面恰好與葉輪輪轂相切,水環(huán)的上部?jī)?nèi)表面剛好與葉片頂端接觸(實(shí)際上葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入深度)。此時(shí)葉輪輪轂與水環(huán)內(nèi)界面之間形成一個(gè)月牙形空間,而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干個(gè)小腔。如果以葉輪的下部0°為起點(diǎn),那么葉輪在旋轉(zhuǎn)前180°時(shí)小腔的容積由小變大,且與端面上的吸氣口相通,此時(shí)氣體被吸入,當(dāng)吸氣終了時(shí)小腔則與吸氣口隔絕;當(dāng)葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí),小腔由大變小,使氣體被壓縮;當(dāng)小腔與排氣口相通時(shí),氣體便被排出泵外。臥式真空泵的進(jìn)氣口在上,排氣口在下。小型真空泵廠商
往復(fù)真空泵的主要部件有氣缸及在其中做往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)的活塞。水環(huán)式真空泵定制廠家
關(guān)于真空泵的發(fā)展,國(guó)內(nèi)氣冷式直排大氣羅茨泵進(jìn)展很快,技術(shù)上已經(jīng)成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器,其中一部分被冷卻的氣體通過(guò)管道返回泵腔以冷卻轉(zhuǎn)子,從而使壓縮熱得到平衡,所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求,這種泵可以串聯(lián)使用,一般前面加一臺(tái)氣冷式直排大氣羅茨泵,所達(dá)到的極限真空要比前級(jí)泵高一個(gè)數(shù)量級(jí)。這種泵由于在泵腔內(nèi)沒(méi)有工作介質(zhì),實(shí)際上也是屬于干泵。這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機(jī)組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長(zhǎng)期運(yùn)行的考驗(yàn),所以應(yīng)該在國(guó)內(nèi)大力推廣和應(yīng)用。水環(huán)式真空泵定制廠家