上海新型泵生產(chǎn)

來源: 發(fā)布時(shí)間:2022-01-14

往復(fù)式真空泵(又稱活塞式真空泵)屬于低真空獲得設(shè)備,用以從內(nèi)部壓力等于或低于一個(gè)大氣壓的容器中抽除氣體,被抽氣體的溫度一般不超過35C。往復(fù)泵的極限壓力,單級(jí)為4×10~10Pa,雙級(jí)可達(dá)1Pa。它的排氣量較大,抽速范圍15~5500L/S。往復(fù)泵多用于真空浸漬、鋼水真空處理、真空蒸餾、真空結(jié)晶、真空過濾等方面抽除氣體。 往復(fù)式真空泵對(duì)于抽除腐蝕性或含有顆粒狀灰塵的氣體是不適用的。被抽氣體中如果含有灰塵,在泵的進(jìn)口處必須加裝過濾器。真空泵應(yīng)安裝在地面結(jié)實(shí)堅(jiān)固的場(chǎng)所,周圍應(yīng)留有充分的余地,便于檢查、維護(hù)、保養(yǎng)。上海新型泵生產(chǎn)

滑閥泵由于其結(jié)構(gòu)特點(diǎn),容量比旋片泵大得多,因此常常被用在大型真空設(shè)備上。滑閥泵有單級(jí)和雙級(jí)兩種型式。單級(jí)泵的極限壓力對(duì)小泵≤0.6Pa,對(duì)大泵≤1.4Pa(均關(guān)氣鎮(zhèn)),雙級(jí)泵的極限壓力≤0.06Pa(關(guān)氣鎮(zhèn))。目前雙極2H滑閥真空泵抽速為300L/S。 由于滑閥泵的旋轉(zhuǎn)質(zhì)量有較大的偏心,如果滑閥沒有很好的質(zhì)量平衡,在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)會(huì)產(chǎn)生較大的振動(dòng)。但泵旋轉(zhuǎn)質(zhì)心的運(yùn)動(dòng)軌跡是形狀復(fù)雜的封閉曲線,因此小廠很難實(shí)現(xiàn)對(duì)滑閥泵慣性力的完全平衡??梢酝ㄟ^動(dòng)平衡測(cè)試和雙缸或三缸結(jié)構(gòu)做好滑閥的質(zhì)量平衡。奉賢區(qū)有口碑的泵生產(chǎn)廠家真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。

真空泵傳動(dòng)部位磨損是普遍存在的問題,其中包括軸承位、軸承座、軸承室、鍵槽及螺紋等部位,傳統(tǒng)方法以補(bǔ)焊和刷鍍噴涂為主,但兩者均存在一定弊端:補(bǔ)焊高溫產(chǎn)生的熱應(yīng)力無法完全消除,易造成材質(zhì)損傷,導(dǎo)致部件出現(xiàn)彎曲或斷裂;而電刷鍍受涂層厚度限制,容易剝落,且以上兩種方法都是用金屬修復(fù)金屬,無法改變“硬對(duì)硬”的配合關(guān)系,在各力綜合作用下,仍會(huì)造成再次磨損。當(dāng)代西方國(guó)家針對(duì)以上問題多使用高分子復(fù)合材料的修復(fù)方法,而應(yīng)用較多的有美國(guó)美嘉華技術(shù)體系,其具有較強(qiáng)的粘著力,優(yōu)異的抗壓強(qiáng)度等綜合性能。應(yīng)用高分子材料修復(fù),可免拆卸,免機(jī)加工。既無補(bǔ)焊熱應(yīng)力影響,修復(fù)厚度也不受限制,同時(shí)產(chǎn)品所具有的金屬材料不具備的退讓性,可吸收設(shè)備的沖擊震動(dòng),避免再次磨損的可能,并延長(zhǎng)設(shè)備部件的使用壽命,為企業(yè)節(jié)省大量的停機(jī)時(shí)間,創(chuàng)造巨大的經(jīng)濟(jì)價(jià)值。

真空泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子是通過一對(duì)高精度齒輪來實(shí)現(xiàn)其相對(duì)同步運(yùn)轉(zhuǎn)的。主動(dòng)軸通過聯(lián)軸器與電機(jī)聯(lián)接。在傳動(dòng)結(jié)構(gòu)布置上主要有以下兩種:其一是電動(dòng)機(jī)與齒輪放在轉(zhuǎn)子的同一側(cè)如圖。從動(dòng)轉(zhuǎn)子由電動(dòng)機(jī)端齒輪直接傳過去帶動(dòng),這樣主動(dòng)轉(zhuǎn)子軸的扭轉(zhuǎn)變形小,則兩個(gè)轉(zhuǎn)子之間的間隙不會(huì)因主動(dòng)軸的扭轉(zhuǎn)變形大而改變,故使轉(zhuǎn)子之間的間隙在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中均勻。這種傳動(dòng)方式的缺點(diǎn)是:a.主動(dòng)軸上有三個(gè)軸承,增加了泵的加工和裝配難度,齒輪的拆裝及調(diào)整也不便;b.整體結(jié)構(gòu)不勻稱,泵的重心偏向電動(dòng)機(jī)和齒輪箱一側(cè)。真空泵口安裝電磁閥時(shí),閥與真空泵應(yīng)同時(shí)動(dòng)作。

水環(huán)泵初始用作自吸水泵,而后逐漸用于石油、化工、機(jī)械、礦山、輕工、醫(yī)藥及食品等許多工業(yè)部門。在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝過程中,如真空過濾、真空引水、真空送料、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等,水環(huán)泵得到了應(yīng)用。由于真空應(yīng)用技術(shù)的飛躍發(fā)展,水環(huán)泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的,故可抽除易燃、易爆的氣體,此外還可抽除含塵、含水的氣體,因此,水環(huán)泵應(yīng)用日益增多。如圖:(見附加圖片)在泵體中裝有適量的水作為工作液。當(dāng)葉輪按圖中指示的方向順時(shí)針旋轉(zhuǎn)時(shí),水被葉輪拋向四周,由于離心力的作用,水形成了一個(gè)決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水環(huán)的上部分內(nèi)表面恰好與葉輪輪轂相切,水環(huán)的下部?jī)?nèi)表面剛好與葉片頂端接觸(實(shí)際上葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入深度)。此時(shí)葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個(gè)月牙形空間,而這一空間又被葉輪分成葉片數(shù)目相等的若干個(gè)小腔。真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。奉賢區(qū)有口碑的泵生產(chǎn)廠家

真空泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子是通過一對(duì)高精度齒輪來實(shí)現(xiàn)其相對(duì)同步運(yùn)轉(zhuǎn)的。上海新型泵生產(chǎn)

分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。 由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用,既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展,分子泵應(yīng)該是中國(guó)真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先,分子泵要從小到大建立完整系列,以滿足不同場(chǎng)合的需要。上海新型泵生產(chǎn)

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