湖南半導體微納加工外協(xié)

仿生學是近年來發(fā)展起來的一門工程技術與生物科學相結合的交叉學科。仿生學研究生物體的結構、功能和工作原理，并將這些原理移植于工程技術之中，試圖在技術上模仿植物和動物在自然中的功能，發(fā)明性能優(yōu)越的儀器、裝置和機器，創(chuàng)造新技術。就聚合物仿生功能材料而言，在聚合物材料表面加工出不同形式的微納結構就會賦予材料不同的性能。超疏水表面是指水滴在表面的接觸角大于150°，同時滾動角小于10°的一種特殊表面。在過去的20年里，超疏水表面誘人的潛在應用價值已經(jīng)引起了科學家們極大的興趣。自然界中，荷葉表面是超疏水的典型象征，其表面的接觸角高達160°。展示了荷葉的超疏水效果及其表面微觀結構。荷葉表面的這種超疏水特性是由微米乳突和低表面能的蠟狀晶體共同引起的。通過在聚合物材料表面構建類荷葉狀的周期性微納米結構可以獲得具有優(yōu)異超疏水性能的聚合物制品，可用于汽車后視鏡等有防水防霧需求的場合。微納制造技術研發(fā)和應用標志著人類可以在微、納米尺度認識和改造世界。湖南半導體微納加工外協(xié)

當前納米制造技術在環(huán)境友好方面有望大展身手的一些領域：1、照明：對于傳統(tǒng)的白熾光源來說，LEDs是一種高效能的替代，納米技術可用來開發(fā)更多新的光源。2、發(fā)動機/燃料效率：采用納米顆粒燃料添加劑能夠減少柴油機的能耗并改善局部空氣質量。微納材料也用來改善飛機渦輪葉片的熱阻性能，使得發(fā)動機可以在更高的溫度下繼續(xù)運轉，進而提高整個發(fā)動機的效率。3、減重：新型較強度復合材料能夠減輕材料的重量。未來的目標包括：在金屬合金和塑料中摻雜納米管來減少飛機的重量；改進橡膠配方中摻雜入輪胎的納米顆粒；利用通過納米技術制得的汽車等的催化式排氣凈化器優(yōu)化車內(nèi)燃料的燃燒過程。福建真空鍍膜微納加工廠微機電系統(tǒng)、微光電系統(tǒng)、生物微機電系統(tǒng)等是微納米技術的重要應用領域。

微納制造技術一般是指微米、納米級的材料、設計、制造、測量控制和產(chǎn)品的研發(fā)、加工、制造以及應用技術。微納制造技術是繼IT、生物技術之后，21世紀較具發(fā)展?jié)摿Φ难芯款I域和新興產(chǎn)業(yè)之一。微納制造技術較早是由加工精度研究的角度延伸出來的。伴隨著科技進步和制造業(yè)的快速發(fā)展，人們對加工精度的要求越來越高，傳統(tǒng)加工方式的加工精度越來越難以滿足諸多領域的應用和研究需求。這一需求促使人們投入到更高精度加工技術的研發(fā)上。從較初的毫米級（10-3m）到微米級（10-6m）和納米級（10-9m），人類的制造水平逐步由宏觀尺度向微觀尺度邁進，“微納制造技術”的概念也應運而生。

    淺談表面功能微納結構及其加工方法：目前可以實現(xiàn)表面微納結構的加工方法主要有以下幾種。（1）光刻技術，利用電子束或激光光束可以得到加工尺寸在幾十納米的微納結構，該方法優(yōu)勢在于精度高，得到的微納結構形狀可以得到很好的控制；（2）飛秒激光加工技術，由于飛秒激光具有不受衍射極限限制的特點，可以加工出遠小于光斑直徑的尺寸，研究人員通過試驗發(fā)現(xiàn)，采用飛秒激光加工出10nm寬的納米線，在微納加工領域具有獨特優(yōu)勢。另外飛秒激光雙分子聚合技術可以實現(xiàn)納米尺寸結構的加工；（3）自組裝工藝，光刻與自組裝和刻蝕工藝結合，通過自組裝工藝，可以得到6nm左右的納米孔。（4）等離子刻蝕技術，等離子刻蝕技術是應用廣的微納米加工手段，加工精度高，是集成電路制造中關鍵的工藝之一。（5）沉積法，主要包括物相沉積和化學氣相沉積，該方法主要是利用氣相發(fā)生的物理化學過程，在工件表面形成功能型或裝飾性的金屬，可以用來實現(xiàn)微納米結構涂層的制造。（6）微納增材制造技術，微納增材制造技術主要指微納尺度電噴增材制造和微激光增材制造技術，由于微納增材技術可以不受形狀限制，可多材料協(xié)同制造，具有較大的發(fā)展前景。除以上幾種加工技術外。 在硅材料刻蝕當中，硅針的刻蝕需要用到各向同性刻蝕，硅柱的刻蝕需要用到各項異性刻蝕。

納秒和飛秒之間,皮秒激光微納加工應用獨具優(yōu)勢！與傳統(tǒng)的微納加工技術相比，激光微納加工具有如下獨特的優(yōu)點：非接觸加工不損壞工具、能量可調(diào)、加工方式靈活、可實現(xiàn)柔性加工等。其中全固態(tài)皮秒激光具有極窄的脈沖寬度(皮秒)、極高的峰值功率(兆瓦)以及優(yōu)異的光束質量，被廣泛應用于各種金屬、非金屬材料的精密加工。研究表明，脈沖寬度高于10ps的皮秒激光加工過程中有明顯的熱效應存在，而且隨著激光與材料作用時間的增加，工件表面會產(chǎn)生微裂紋以及再鑄層；脈沖寬度低于5ps的皮秒激光與材料作用時會產(chǎn)生非線性效應，這對金屬材料的加工非常不利。因此，適合微納精密加工用的皮秒激光的脈沖寬度在5~10ps之間。為了提高加工效率，重復頻率一般設定在十萬赫茲量級，而平均功率則根據(jù)所加工材料的燒蝕閾值而定。通過光刻技術制作出的微納結構需進一步通過刻蝕或者鍍膜，才可獲得所需的結構或元件。湖南微納加工實驗室

微納加工技術能突顯一個國家工業(yè)發(fā)展水平。湖南半導體微納加工外協(xié)

在微電子與光電子集成中，薄膜的形成方法主要有兩大類，及沉積和外延生長。沉積技術分為物理沉積、化學沉積和混合方法沉積。蒸發(fā)沉積（熱蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)）和濺射沉積是典型的物理方法；化學氣相沉積是典型的化學方法；等離子體增強化學氣相沉積是物理與化學方法相結合的混合方法。薄膜沉積過程，通常生成的是非晶膜和多晶膜，沉積部位和晶態(tài)結構都是隨機的，而沒有固定的晶態(tài)結構。外延生長實質上是材料科學的薄膜加工方法，其含義是：在一個單晶的襯底上，定向地生長出與基底晶態(tài)結構相同或相似的晶態(tài)薄層。其他薄膜成膜方法，如電化學沉積、脈沖激光沉積法、溶膠凝膠法、自組裝法等，也都廣用于微納制作工藝中。不同的表面微納結構可以呈現(xiàn)出相應的功能，隨著科技的發(fā)展，不同功能的微納結構及器件將會得到更多的應用。目前表面功能微納結構及器件，諸如超材料、超表面等充滿“神奇”力量的結構或器件，的發(fā)展仍受到微納加工技術的限制。因此，研究功能微納結構及器件需要從微納結構的加工技術方面進行廣深入的研究，提高微納加工技術的加工能力和效率是未來微納結構及器件研究的重點方向。湖南半導體微納加工外協(xié)

廣東省科學院半導體研究所位于長興路363號，擁有一支專業(yè)的技術團隊。專業(yè)的團隊大多數(shù)員工都有多年工作經(jīng)驗，熟悉行業(yè)專業(yè)知識技能，致力于發(fā)展芯辰實驗室,微納加工的品牌。公司不僅*提供專業(yè)的面向半導體光電子器件、功率電子器件、MEMS、生物芯片等前沿領域，致力于打造***的公益性、開放性、支撐性樞紐中心。平臺擁有半導體制備工藝所需的整套儀器設備，建立了一條實驗室研發(fā)線和一條中試線，加工尺寸覆蓋2-6英寸（部分8英寸），同時形成了一支與硬件有機結合的專業(yè)人才隊伍。平臺當前緊抓技術創(chuàng)新和公共服務，面向國內(nèi)外高校、科研院所以及企業(yè)提供開放共享，為技術咨詢、創(chuàng)新研發(fā)、技術驗證以及產(chǎn)品中試提供支持。，同時還建立了完善的售后服務體系，為客戶提供良好的產(chǎn)品和服務。廣東省科學院半導體研究所主營業(yè)務涵蓋微納加工技術服務，真空鍍膜技術服務，紫外光刻技術服務，材料刻蝕技術服務，堅持“質量保證、良好服務、顧客滿意”的質量方針，贏得廣大客戶的支持和信賴。