廣州刻蝕液

理想情況下，晶圓所有點的刻蝕速率都一致（均勻）。晶圓不同點刻蝕速率不同的情況稱為非均勻性（或者稱為微負載），通常以百分比表示。減少非均勻性和微負載是刻蝕的重要目標。應(yīng)用材料公司一直以來不斷開發(fā)具有成本效益的創(chuàng)新解決方案，來應(yīng)對不斷變化的蝕刻難題。這些難題可能源自于器件尺寸的不斷縮??；所用材料的變化（例如高k薄膜或多孔較低k介電薄膜）；器件架構(gòu)多樣化（例如FinFET和三維NAND晶體管）；以及新的封裝方式（例如硅穿孔（TSV）技術(shù)）。理想情況下，晶圓所有點的刻蝕速率都一致。廣州刻蝕液

干法刻蝕也可以根據(jù)被刻蝕的材料類型來分類。按材料來分，刻蝕主要分成三種：金屬刻蝕、介質(zhì)刻蝕、和硅刻蝕。介質(zhì)刻蝕是用于介質(zhì)材料的刻蝕，如二氧化硅。接觸孔和通孔結(jié)構(gòu)的制作需要刻蝕介質(zhì)，從而在ILD中刻蝕出窗口，而具有高深寬比（窗口的深與寬的比值）的窗口刻蝕具有一定的挑戰(zhàn)性。硅刻蝕（包括多晶硅）應(yīng)用于需要去除硅的場合，如刻蝕多晶硅晶體管柵和硅槽電容。金屬刻蝕主要是在金屬層上去掉鋁合金復(fù)合層，制作出互連線。廣東省科學院半導(dǎo)體研究所。深硅刻蝕是MEMS器件制作當中一個比較重要的工藝。深圳寶安離子刻蝕刻蝕就是用化學的、物理的或同時使用化學和物理的方法，有選擇地把沒有被抗蝕劑掩蔽的那一部分薄膜層除去。

刻蝕較簡單較常用分類是：干法刻蝕和濕法刻蝕。顯而易見，它們的區(qū)別就在于濕法使用溶劑或溶液來進行刻蝕。濕法刻蝕是一個純粹的化學反應(yīng)過程，是指利用溶液與預(yù)刻蝕材料之間的化學反應(yīng)來去除未被掩蔽膜材料掩蔽的部分而達到刻蝕目的。其特點是：濕法刻蝕在半導(dǎo)體工藝中有著普遍應(yīng)用：磨片、拋光、清洗、腐蝕。優(yōu)點是選擇性好、重復(fù)性好、生產(chǎn)效率高、設(shè)備簡單、成本低。干法刻蝕種類比較多，包括光揮發(fā)、氣相腐蝕、等離子體腐蝕等。按照被刻蝕的材料類型來劃分，干法刻蝕主要分成三種：金屬刻蝕、介質(zhì)刻蝕和硅刻蝕。

典型的硅刻蝕是用含氮的物質(zhì)與氫氟酸的混合水溶液。這一配比規(guī)則在控制刻蝕中成為一個重要的因素。在一些比率上，刻蝕硅會有放熱反應(yīng)。加熱反應(yīng)所產(chǎn)生的熱可加速刻蝕反應(yīng)，接下來又產(chǎn)生更多的熱，這樣進行下去會導(dǎo)致工藝無法控制。有時醋酸和其他成分被混合進來控制加熱反應(yīng)。一些器件要求在晶圓上刻蝕出槽或溝。刻蝕配方要進行調(diào)整以使刻蝕速率依靠晶圓的取向。取向的晶圓以45°角刻蝕，取向的晶圓以“平”底刻蝕。其他取向的晶圓可以得到不同形狀的溝槽。多晶硅刻蝕也可用基本相同的規(guī)則。金屬刻蝕主要是在金屬層上去掉鋁合金復(fù)合層，制作出互連線。

等離子刻蝕是將電磁能量（通常為射頻（RF））施加到含有化學反應(yīng)成分（如氟或氯）的氣體中實現(xiàn)。等離子會釋放帶正電的離子來撞擊晶圓以去除（刻蝕）材料，并和活性自由基產(chǎn)生化學反應(yīng)，與刻蝕的材料反應(yīng)形成揮發(fā)性或非揮發(fā)性的殘留物。離子電荷會以垂直方向射入晶圓表面。這樣會形成近乎垂直的刻蝕形貌，這種形貌是現(xiàn)今密集封裝芯片設(shè)計中制作細微特征所必需的。一般而言，高蝕速率（在一定時間內(nèi)去除的材料量）都會受到歡迎。反應(yīng)離子刻蝕（RIE）的目標是在物理刻蝕和化學刻蝕之間達到較佳平衡，使物理撞擊（刻蝕率）強度足以去除必要的材料，同時適當?shù)幕瘜W反應(yīng)能形成易于排出的揮發(fā)性殘留物或在剩余物上形成保護性沉積（選擇比和形貌控制）。采用磁場增強的RIE工藝，通過增加離子密度而不增加離子能量（可能會損失晶圓）的方式，改進了處理過程。當需要處理多層薄膜時，以及刻蝕中必須精確停在某個特定薄膜層而不對其造成損傷時。刻蝕是指用化學或物理方法有選擇地從硅片表面去除不需要的材料的過程。廣州荔灣刻蝕設(shè)備

光刻是平面型晶體管和集成電路生產(chǎn)中的一個主要工藝。廣州刻蝕液

    溫度越高刻蝕效率越高，但是溫度過高工藝方面波動較大，只要通過設(shè)備自帶溫控器和點檢確認?？涛g流片的速度與刻蝕速率密切相關(guān)噴淋流量的大小決定了基板表面藥液置換速度的快慢，流量控制可保證基板表面藥液濃度均勻。過刻量即測蝕量，適當增加測試量可有效控制刻蝕中的點狀不良作業(yè)數(shù)量管控：每天對生產(chǎn)數(shù)量及時記錄，達到規(guī)定作業(yè)片數(shù)及時更換。作業(yè)時間管控：由于藥液的揮發(fā)，所以如果在規(guī)定更換時間未達到相應(yīng)的生產(chǎn)片數(shù)藥液也需更換。首片和抽檢管控：作業(yè)時需先進行首片確認，且在作業(yè)過程中每批次進行抽檢（時間間隔約25min）。1、大面積刻蝕不干凈：刻蝕液濃度下降、刻蝕溫度變化。2、刻蝕不均勻：噴淋流量異常、藥液未及時沖洗干凈等。3、過刻蝕：刻蝕速度異常、刻蝕溫度異常等。 廣州刻蝕液

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