宜春半導(dǎo)體微納加工

ICP（感應(yīng)耦合等離子）刻蝕GaN是物料濺射和化學(xué)反應(yīng)相結(jié)合的復(fù)雜過程?？涛gGaN主要使用到氯氣和三氯化硼，刻蝕過程中材料表面表面的Ga-N鍵在離子轟擊下破裂，此為物理濺射，產(chǎn)生活性的Ga和N原子，氮原子相互結(jié)合容易析出氮氣，Ga原子和Cl離子生成容易揮發(fā)的GaCl2或者GaCl3。光刻（Photolithography)是一種圖形轉(zhuǎn)移的方法，在微納加工當(dāng)中不可或缺的技術(shù)。光刻是一個比較大的概念，其實它是有多步工序所組成的。1.清洗：清洗襯底表面的有機物。2.旋涂：將光刻膠旋涂在襯底表面。3.曝光。將光刻版與襯底對準(zhǔn)，在紫外光下曝光一定的時間。4.顯影：將曝光后的襯底在顯影液下顯影一定的時間，受過紫外線曝光的地方會溶解在顯影液當(dāng)中。5.后烘。將顯影后的襯底放置熱板上后烘，以增強光刻膠與襯底之前的粘附力。未來幾年微納制造系統(tǒng)和平臺的發(fā)展前景包括的方面：智能的、可升級的和適應(yīng)性強的微納制造系統(tǒng)。宜春半導(dǎo)體微納加工

在光刻圖案化工藝中，首先將光刻膠涂在硅片上形成一層薄膜。接著在復(fù)雜的曝光裝置中，光線通過一個具有特定圖案的掩模投射到光刻膠上。曝光區(qū)域的光刻膠發(fā)生化學(xué)變化，在隨后的化學(xué)顯影過程中被去除。較后掩模的圖案就被轉(zhuǎn)移到了光刻膠膜上。而在隨后的蝕刻 或離子注入工藝中，會對沒有光刻膠保護(hù)的硅片部分進(jìn)行刻蝕，較后洗去剩余光刻膠。這時光刻膠的圖案就被轉(zhuǎn)移到下層的薄膜上，這種薄膜圖案化的過程經(jīng)過多次迭代，聯(lián)同其他多個物理過程，便產(chǎn)生集成電路。宜春半導(dǎo)體微納加工微納加工設(shè)備主要有：光刻、刻蝕、鍍膜、濕法腐蝕、絕緣層鍍膜等。

平臺目前已配備各類微納加工和表征測試設(shè)備50余臺套，擁有一條相對完整的微納加工工藝線，可制成2-6英寸樣品，涵蓋了圖形發(fā)生、薄膜制備、材料刻蝕、表征測試等常見的工藝段，可以進(jìn)行常見微納米結(jié)構(gòu)和器件的加工，極限線寬達(dá)到600納米，材料種類包括硅基、化合物半導(dǎo)體等多種類型材料，可以有力支撐多學(xué)科領(lǐng)域的半導(dǎo)體器件加工以及微納米結(jié)構(gòu)的表征測試需求。微納加工平臺支持基礎(chǔ)信息器件與系統(tǒng)等多領(lǐng)域、交叉學(xué)科，開展前沿信息科學(xué)研究和技術(shù)開發(fā)。作為開放共享服務(wù)平臺，支撐的研究領(lǐng)域包括新型器件、柔性電子器件、微流體、發(fā)光芯片、化合物半導(dǎo)體、微機電器件與系統(tǒng)（MEMS）等。以高效、創(chuàng)新、穩(wěn)定、合作共贏的合作理念，歡迎社會各界前來合作。

隨著微電子、微機械、微光學(xué)、介入醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的發(fā)展，微型零件的需求量不斷增加。微注射成形作為一種微成型工藝，具有制品材料、幾何形狀和尺寸適應(yīng)性好、成本低、效率高，以及可連續(xù)化、自動化生產(chǎn)等一系列優(yōu)點，因此越來越受到人們的重視，成為當(dāng)前研究的熱門課題。1985年，世界上第1臺專門用于加工微型塑件的注射裝置Micromelt在德國問世，其它國家緊隨其后，先后開發(fā)出了各種不同類型的微注塑成型機，這為發(fā)展微注塑成型技術(shù)以及實際生產(chǎn)微小塑件都提供了強有力的支持和較有效的保證，微注塑成型技術(shù)進(jìn)入了發(fā)展的黃金時期。高精度的微細(xì)結(jié)構(gòu)具有比較高的曝光精度，但這兩種方法制作效率極低。

微納制造可以應(yīng)用在什么哪些領(lǐng)域？微納制造作為國家新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重大關(guān)鍵技術(shù)之一，對國家裝備實力和國民經(jīng)濟(jì)技術(shù)的發(fā)展起到重要作用。微納制造技術(shù)的進(jìn)步，推動著三大前沿科技的發(fā)展：生物技術(shù)、信息技術(shù)、納米技術(shù)。由于微納制造技術(shù)產(chǎn)品有體積小、集成度高、重量輕、智能化程度高等諸多優(yōu)點，在信息科學(xué)、生物醫(yī)療、航空航天等領(lǐng)域廣的應(yīng)用。微納加工技術(shù)是先進(jìn)制造的重要組成部分，是衡量國家高質(zhì)量的制造業(yè)水平的標(biāo)志之一，具有多學(xué)科交叉性和制造要素極端性的特點，在推動科技進(jìn)步、促進(jìn)產(chǎn)業(yè)發(fā)展、拉動科技進(jìn)步、保障**安全等方面都發(fā)揮著關(guān)鍵作用。微納加工技術(shù)的基本手段包括微納加工方法與材料科學(xué)方法兩種。很顯然，微納加工技術(shù)與微電子工藝技術(shù)有密切關(guān)系。微納加工平臺支持基礎(chǔ)信息器件與系統(tǒng)等多領(lǐng)域、交叉學(xué)科，開展前沿信息科學(xué)研究和技術(shù)開發(fā)。宜春半導(dǎo)體微納加工

提高微納加工技術(shù)的加工能力和效率是未來微納結(jié)構(gòu)及器件研究的重點方向。宜春半導(dǎo)體微納加工

微納制造技術(shù)的發(fā)展，同樣涉及到科研體系問題。嚴(yán)格意義上來說，科研分為三個領(lǐng)域，一個是基礎(chǔ)研究領(lǐng)域，一個是工程化應(yīng)用領(lǐng)域，一個是市場推廣領(lǐng)域。在發(fā)達(dá)國家的科研機制中。幾乎所有的基礎(chǔ)研究領(lǐng)域都是由國家或機構(gòu)直接或間接支持的。這種基礎(chǔ)研究較看重的是對于國家、民生或**的長遠(yuǎn)意義．而不是短期內(nèi)的投入與產(chǎn)出。因而致力于基礎(chǔ)研究的機構(gòu)或者人員。根本不用考慮研究的所謂“市場化”問題。而只是進(jìn)行基礎(chǔ)、理論的研究。另一方面。工程化應(yīng)用領(lǐng)域由專門的機構(gòu)或職能部門負(fù)責(zé)，這些部門從應(yīng)用領(lǐng)域、生產(chǎn)領(lǐng)域、制造領(lǐng)域抽調(diào)**、學(xué)者及相關(guān)專業(yè)人員，對基礎(chǔ)研究的市場應(yīng)用前景進(jìn)行分析，并提出可行性建議，末尾由市場或企業(yè)來進(jìn)行工程化應(yīng)用研究。末尾市場化推廣的問題自然是企業(yè)來做了。中國的高校和研究機構(gòu)，做純理念和純基礎(chǔ)的并不多，中國大多是工程性項目研究。其理想模式為高校、研究所、企業(yè)三結(jié)合狀態(tài)，各司其職，各負(fù)其責(zé)。微納技術(shù)是繼JT、生物之后。21世紀(jì)較具發(fā)展?jié)摿Φ母咝录夹g(shù)，是未來十年高增長的新興產(chǎn)業(yè)。宜春半導(dǎo)體微納加工