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    搬運系統(tǒng)100也能夠應(yīng)用于除半導體制造領(lǐng)域以外的設(shè)備，物品2可以是由用于設(shè)置搬運系統(tǒng)100的設(shè)備處理的各種物品。在本實施方式中，搬運系統(tǒng)100在配置于第1、第二裝置區(qū)域ta1、ta2的第1、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp、以及后述的第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b之間搬運物品2。第1、第二處理裝置tl1、tl2例如是曝光裝置、涂布顯影裝置、制膜裝置、或者蝕刻裝置等，對收容于搬運系統(tǒng)100所搬運的物品2的半導體晶圓實施各種處理。各第1、第二處理裝置tl1、tl2分別具備兩處裝載端口lp。圖2是表示第1、第二處理裝置tl1、tl2和裝載端口lp的一個例子的圖。在圖2中表示從+x側(cè)觀察第1、第二處理裝置tl1、tl2和裝載端口lp的情況的一個例子。如圖1和圖2所示，第1處理裝置tl1在設(shè)定于制造工廠等的地板部的第1裝置區(qū)域ta1內(nèi)沿一個方向(y方向)排列配置。第二處理裝置tl2在第二裝置區(qū)域ta2內(nèi)沿一個方向(y方向)排列配置。第1、第二裝置區(qū)域ta1、tl2分別沿x方向配置多個。沿y方向排列的多個第1、第二處理裝置tl1、tl2沿x方向設(shè)置多列。此外，多個第1、第二處理裝置tl1、tl2的配置是一個例子，也可以是其他配置。另外。江寧區(qū)包裝袋真空搬運機推薦廠家！靜安區(qū)室內(nèi)深加工真空搬運機生產(chǎn)廠家

    本發(fā)明涉及搬運系統(tǒng)以及搬運方法。背景技術(shù)：在半導體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進行搬運，提出有使用沿著鋪設(shè)于頂棚的軌道行駛的高架搬運車、和沿著與高架搬運車的軌道地鋪設(shè)于地板面的軌道行駛的起重機的結(jié)構(gòu)(例如，參照文獻1)。文獻1:日本第5880693號公報文獻1中記載的高架搬運車和起重機均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛，因此需要與高架搬運車和起重機對應(yīng)地，分別設(shè)置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此，存在不僅對軌道的設(shè)置花費成本，需要用于鋪設(shè)各軌道的空間，而且需要使處理裝置或者保管部等的設(shè)置位置與兩個軌道對應(yīng)，因此對處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問題。技術(shù)實現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運車和起重機行駛的軌道共用化而減少軌道的設(shè)置成本，并且分擔高架搬運車與起重機的作用，由此高效地搬運物品的搬運系統(tǒng)以及搬運方法。本發(fā)明所涉及的搬運系統(tǒng)具備：第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道，其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著第1處理裝置的裝載端口設(shè)置；第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道。靜安區(qū)室內(nèi)深加工真空搬運機生產(chǎn)廠家六合區(qū)常見真空搬運機推薦廠家！

    第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二保管區(qū)域sa2。第1保管部20a和第1交接端口30a配置于第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的下方且側(cè)方。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的下方且側(cè)方。第1保管部20a和第1交接端口30a配置于在第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11能夠通過后述的第1起重機40a和高架搬運車50進行物品2的交接的范圍。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于在第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12能夠通過后述的第二起重機40b和高架搬運車50進行物品2的交接的范圍。圖3是表示第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2的第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b的一個例子的圖。在圖3中示出從+x側(cè)觀察第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b的情況的一個例子。如圖3所示，第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b使用能夠載置物品2的架部等。在載置物品2的架部也可以設(shè)置進入在物品2的底面設(shè)置的槽部的多個銷。該銷進入物品2的槽部，由此相對于架部定位物品2。各第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b例如被支承為從建筑物的頂棚等懸掛的狀態(tài)。第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b從頂棚懸掛。

    驅(qū)動部45b被控制裝置60等控制，使第1、第二升降臺43a、43b以規(guī)定的速度下降或者上升。另外，驅(qū)動部45b被控制裝置60等控制，將第1、第二升降臺43a、43b保持于目標高度。雖然第1、第二升降驅(qū)動部45a、45b設(shè)置于上部支承體47(第1、第二行駛部41a、41b)，但并不限定于該結(jié)構(gòu)。第1、第二升降驅(qū)動部45a、45b例如也可以設(shè)置于第1、第二升降臺43a、43b。作為在第1、第二升降臺43a、43b設(shè)置第1、第二升降驅(qū)動部45a、45b的結(jié)構(gòu)，例如可以利用搭載于第1、第二升降臺43a、43b的升降機等對從上部支承體47懸掛的帶狀物或者線材等進行卷起或者抽出而使第1、第二升降臺43a、43b升降。另外，也可以在第1、第二升降臺43a、43b搭載用于驅(qū)動小齒輪的電動馬達等，在第1、第二桅桿42a、42b形成供該小齒輪嚙合的齒條，驅(qū)動電動馬達等而使小齒輪旋轉(zhuǎn)由此使第1、第二升降臺43a、43b升降。如圖4所示，第1、第二起重機40a、40b在第1、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp、第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b之間搬運物品2。另外，第1、第二起重機40a、40b將物品2從當前的第1、第二保管部20a、20b向其他第1、第二保管部20a、20b搬運。例如。溧水區(qū)粉塵真空搬運機推薦廠家！

保持部53與線材或者帶狀物等懸掛部件53b連接。保持部53從升降驅(qū)動部54懸掛且以能夠擺動的狀態(tài)升降。保持部53可以與上述的第1、第二起重機40a、40b的保持部49是同一結(jié)構(gòu)，也可以是不同結(jié)構(gòu)。升降驅(qū)動部54例如是升降機，通過抽出懸掛部件53b而使保持部53下降，通過卷繞懸掛部件53b而使保持部53上升。升降驅(qū)動部54被控制裝置60等控制，使保持部53以規(guī)定的速度下降或者上升。另外，升降驅(qū)動部54被控制裝置60等控制，將保持部53保持于目標高度。橫向伸出機構(gòu)55例如具有在上下方向重疊配置的可動板?？蓜影迥軌蛳蛐旭偛?1的行駛方向的側(cè)方(與行駛方向正交的方向)移動。在可動板安裝有轉(zhuǎn)動部和升降驅(qū)動部54。主體部52具有引導橫向伸出機構(gòu)55的未圖示的引導件、和驅(qū)動橫向伸出機構(gòu)55的未圖示的驅(qū)動部等。橫向伸出機構(gòu)55通過來自電動馬達等驅(qū)動部的驅(qū)動力，使升降驅(qū)動部54和保持部53沿著引導件，在突出位置與收納位置之間移動。突出位置是從主體部52向側(cè)方突出的位置。收納位置是收納于主體部52內(nèi)的位置。轉(zhuǎn)動部具有未圖示的轉(zhuǎn)動部件和轉(zhuǎn)動驅(qū)動部。轉(zhuǎn)動部件被設(shè)置為能夠圍繞上下方向的軸進行轉(zhuǎn)動。轉(zhuǎn)動部件安裝于升降驅(qū)動部54或者保持部53。轉(zhuǎn)動驅(qū)動部使用電動馬達等。棲霞區(qū)糖袋真空搬運機推薦廠家！靜安區(qū)室內(nèi)深加工真空搬運機生產(chǎn)廠家

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第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二保管區(qū)域sa2。第1保管部20a和第1交接端口30a配置于第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的下方且側(cè)方。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的下方且側(cè)方。第1保管部20a和第1交接端口30a配置于在第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11能夠通過后述的第1起重機40a和高架搬運車50進行物品2的交接的范圍。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于在第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12能夠通過后述的第二起重機40b和高架搬運車50進行物品2的交接的范圍。圖3是表示第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2的第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b的一個例子的圖。在圖3中示出從+x側(cè)觀察第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b的情況的一個例子。如圖3所示，第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b使用能夠載置物品2的架部等。在載置物品2的架部也可以設(shè)置進入在物品2的底面設(shè)置的槽部的多個銷。該銷進入物品2的槽部，由此相對于架部定位物品2。各第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b例如被支承為從建筑物的頂棚等懸掛的狀態(tài)。第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b從頂棚懸掛。靜安區(qū)室內(nèi)深加工真空搬運機生產(chǎn)廠家

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