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第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二保管區(qū)域sa2。第1保管部20a和第1交接端口30a配置于第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的下方且側(cè)方。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的下方且側(cè)方。第1保管部20a和第1交接端口30a配置于在第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11能夠通過后述的第1起重機(jī)40a和高架搬運(yùn)車50進(jìn)行物品2的交接的范圍。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于在第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12能夠通過后述的第二起重機(jī)40b和高架搬運(yùn)車50進(jìn)行物品2的交接的范圍。圖3是表示第1、第二保管區(qū)域sa1、sa2的第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b的一個例子的圖。在圖3中示出從+x側(cè)觀察第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b的情況的一個例子。如圖3所示，第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b使用能夠載置物品2的架部等。在載置物品2的架部也可以設(shè)置進(jìn)入在物品2的底面設(shè)置的槽部的多個銷。該銷進(jìn)入物品2的槽部，由此相對于架部定位物品2。各第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b例如被支承為從建筑物的頂棚等懸掛的狀態(tài)。第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b從頂棚懸掛。棲霞區(qū)常見真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！泉山區(qū)糖袋真空搬運(yùn)機(jī)品牌

    能夠比第1、第二起重機(jī)40a、40b更快移動，因此通過高架搬運(yùn)車50進(jìn)行區(qū)段間(例如第1保管區(qū)域sa1與第二保管區(qū)域sa2之間)的物品2的搬運(yùn)，從而能夠在短時間內(nèi)搬運(yùn)物品2。這樣，將第1、第二起重機(jī)40a、40b與高架搬運(yùn)車50的作用分開，由此能夠使搬運(yùn)系統(tǒng)100整體的物品2的搬運(yùn)效率提高。另外，將第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11由第1起重機(jī)40a與高架搬運(yùn)車50共享，并將第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12由第二起重機(jī)40b與高架搬運(yùn)車50共享，因此無需另外設(shè)置頂棚軌道，能夠減少頂棚軌道10的鋪設(shè)所需要的成本。另外，高架搬運(yùn)車50能夠在第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11和第二區(qū)段間頂棚軌道14上行駛，因此如圖5的單點(diǎn)劃線所示，能夠在與第1、第二處理裝置tl1、tl2的裝載端口lp之間進(jìn)行物品2的交接。其結(jié)果是，在產(chǎn)生第1、第二起重機(jī)40a、40b的故障、或者產(chǎn)生第1、第二起重機(jī)40a、40b因其他物品2的搬運(yùn)而顧及不到等狀況的情況下，能夠暫時通過高架搬運(yùn)車50進(jìn)行與裝載端口lp之間的物品2的交接，能夠防止搬運(yùn)效率的降低。并且，高架搬運(yùn)車50在作為從其他區(qū)域搬運(yùn)來的物品2的搬運(yùn)目的地的裝載端口lp空置的情況下(能夠搬運(yùn)的情況)，保持原樣地將物品2搬運(yùn)至作為搬運(yùn)目的地的裝載端口lp，由此能夠提高物品2的搬運(yùn)效率。寶山區(qū)米袋真空搬運(yùn)機(jī)原理江寧區(qū)牛皮袋真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！

    本發(fā)明涉及搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體制造工廠等制造工廠中，為了將收容半導(dǎo)體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口、保管部以及交接端口之間進(jìn)行搬運(yùn)，提出有使用沿著鋪設(shè)于頂棚的軌道行駛的高架搬運(yùn)車、和沿著與高架搬運(yùn)車的軌道地鋪設(shè)于地板面的軌道行駛的起重機(jī)的結(jié)構(gòu)(例如，參照文獻(xiàn)1)。文獻(xiàn)1:日本第5880693號公報(bào)文獻(xiàn)1中記載的高架搬運(yùn)車和起重機(jī)均能夠訪問裝載端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的軌道行駛，因此需要與高架搬運(yùn)車和起重機(jī)對應(yīng)地，分別設(shè)置頂棚的軌道和地板面的軌道。因此，存在不僅對軌道的設(shè)置花費(fèi)成本，需要用于鋪設(shè)各軌道的空間，而且需要使處理裝置或者保管部等的設(shè)置位置與兩個軌道對應(yīng)，因此對處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問題。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運(yùn)車和起重機(jī)行駛的軌道共用化而減少軌道的設(shè)置成本，并且分擔(dān)高架搬運(yùn)車與起重機(jī)的作用，由此高效地搬運(yùn)物品的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法。本發(fā)明所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)具備：第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道，其從第1處理裝置的裝載端口的正上方錯開并且沿著第1處理裝置的裝載端口設(shè)置；第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道。

    本實(shí)用新型涉及自動化設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種新式真空搬運(yùn)式機(jī)械手。背景技術(shù)：在自動化設(shè)備實(shí)現(xiàn)自動化生產(chǎn)加工的過程中，很多時候需要借助相應(yīng)的機(jī)械手來實(shí)現(xiàn)工件抓取移送；其中，通過真空吸盤吸附抓取產(chǎn)品的機(jī)械手應(yīng)用于非常。其中，對于現(xiàn)有的機(jī)械手而言，一般通過X軸驅(qū)動線性模組、Y軸驅(qū)動線性模組相配合來實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品水平、豎向移動，或者通過水平氣缸、豎向氣缸相配合來實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品水平、豎向移動；對于上述機(jī)械手而言，結(jié)構(gòu)復(fù)雜、穩(wěn)定可靠性較差。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本實(shí)用新型的目的在于針對現(xiàn)有技術(shù)的不足而提供一種新式真空搬運(yùn)式機(jī)械手，該新式真空搬運(yùn)式機(jī)械手設(shè)計(jì)新穎、結(jié)構(gòu)簡單、穩(wěn)定可靠性好。為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)。一種新式真空搬運(yùn)式機(jī)械手，包括有機(jī)械手安裝架，機(jī)械手安裝架包括有呈豎向布置的固定安裝豎板，固定安裝豎板的下端側(cè)裝設(shè)有豎板固定座，豎板固定座的上端部與固定安裝豎板螺接；固定安裝豎板的前端側(cè)可相對活動地裝設(shè)有分別呈豎向布置的中間活動板、前端活動架，前端活動架位于中間活動板的前端側(cè)，中間活動板與固定安裝豎板之間裝設(shè)有呈水平橫向布置的水平導(dǎo)軌副。江寧區(qū)工業(yè)真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！

    但本發(fā)明并不限定于上述的說明，在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)能夠進(jìn)行各種變更。例如，在上述的搬運(yùn)系統(tǒng)100中，也可以在高架搬運(yùn)車50的移動路徑中配置儲料機(jī)(自動倉庫)等。儲料機(jī)例如可以設(shè)置于第1區(qū)段間頂棚軌道13和第二區(qū)段間頂棚軌道14中的任一方或者雙方。高架搬運(yùn)車50可以能夠針對該儲料機(jī)的交接端口進(jìn)行物品2的交接，例如，能夠在儲料機(jī)與第1、第二交接端口30a、30b之間搬運(yùn)物品2。另外，在法律法規(guī)允許的范圍內(nèi)，引用作為日本申請的日本特愿2017-128570、和在本說明書中引用的全部文獻(xiàn)的內(nèi)容作為本文記載的一部分。附圖標(biāo)記說明sa1…第1保管區(qū)域；sa2…第二保管區(qū)域；ta1…第1裝置區(qū)域；ta2…第二裝置區(qū)域；lp…裝載端口；tl1…第1處理裝置；tl2…第二處理裝置；2…物品；2a…凸緣部；10…頂棚軌道；11…第1區(qū)段內(nèi)頂棚軌道；12…第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道；13…第1區(qū)段間頂棚軌道；14…第二區(qū)段間頂棚軌道；15…第1連接軌道；16…第二連接軌道；20a…第1保管部；20b…第二保管部；30a…第1交接端口；30b…第二交接端口；40a…第1起重機(jī)；40b…第二起重機(jī)；41a…第1行駛部；41b…第二行駛部；42a…第1桅桿；42b…第二桅桿；43a…第1升降臺；43b…第二升降臺。江寧區(qū)粉塵真空搬運(yùn)機(jī)推薦廠家！普陀區(qū)工業(yè)真空搬運(yùn)機(jī)

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    在圖1至圖3中包括有：1——機(jī)械手安裝架11——固定安裝豎板111——活動槽12——豎板固定座2——中間活動板3——前端活動架4——水平導(dǎo)軌副41——水平導(dǎo)軌42——水平滑塊5——豎向?qū)к壐?1——豎向?qū)к?2——豎向滑塊61——吸盤安裝架62——真空吸盤71——活動架驅(qū)動塊72——活動架驅(qū)動軸73——軸承8——機(jī)械手驅(qū)動電機(jī)9——驅(qū)動軸撥動塊。具體實(shí)施方式下面結(jié)合具體的實(shí)施方式來對本實(shí)用新型進(jìn)行說明。如圖1至圖3所示，一種新式真空搬運(yùn)式機(jī)械手，包括有機(jī)械手安裝架1，機(jī)械手安裝架1包括有呈豎向布置的固定安裝豎板11，固定安裝豎板11的下端側(cè)裝設(shè)有豎板固定座12，豎板固定座12的上端部與固定安裝豎板11螺接。進(jìn)一步的，固定安裝豎板11的前端側(cè)可相對活動地裝設(shè)有分別呈豎向布置的中間活動板2、前端活動架3，前端活動架3位于中間活動板2的前端側(cè)，中間活動板2與固定安裝豎板11之間裝設(shè)有呈水平橫向布置的水平導(dǎo)軌副4，前端活動架3與中間活動板2之間裝設(shè)有呈豎向布置的豎向?qū)к壐?，前端活動架3的下端部裝設(shè)有吸盤安裝架61，吸盤安裝架61裝設(shè)有真空吸盤62。更進(jìn)一步的，固定安裝豎板11的前表面開設(shè)有呈“n”形狀的活動槽111，前端活動架3螺裝有活動架驅(qū)動塊71。泉山區(qū)糖袋真空搬運(yùn)機(jī)品牌

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